Author Index

/

2019

/

March



A

Abramenko D.B.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Antsiferov P.S.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Aseev S.A.
Astakhov D.I.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

B

Balykin V.I.
Boldyrev K.N.

C

Chekalin S.V.

D

Dianov E.M.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Dormidonov A.E.
Dorokhin L.A.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

E

G

Garnov S.V.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Gayazov R.R.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Grushin A.S.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

I

Ivanov V.V.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

K

Kagan M.Yu.
Kandidov V.P.
Khomich V.Yu.
Kim D.A.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Kompanets V.O.
Konov V.I.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Koshelev K.N.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Krainov P.V.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Krivokorytov M.S.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Krivtsun V.M.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

L

Lakatosh B.V.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Lash A.A.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

M

Makarov A.A.
Medvedev V.V.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Melentiev P.N.

N

Naumov A.V.

O

Osiko V.V.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

P

Pashinin P.P.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Pendry J.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Pitaevskii L.P.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Popova M.N.

R

Rubakov V.A.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Rudenko O.V.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Ryabov E.A.
Ryabtsev A.N.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

S

Shcherbakov I.A.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Shmakov V.A.
Sidel’nikov Yu.V.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Smith D.R.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Snegirev E.P.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Solomyannaya A.D.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Spiridonov M.V.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

T

Tretyakov S.
  • S.V. Garnov, E.M. Dianov, V.I. Konov, V.V. Osiko, P.P. Pashinin, J. Pendry, L.P. Pitaevskii, V.A. Rubakov, O.V. Rudenko, D.R. Smith, S. Tretyakov, I.A. Shcherbakov “In memory of Viktor Georgievich Veselago62 315–316 (2019)

Tsygvintsev I.P.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Turlapov A.V.

V

Vichev I.Yu.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Vinokhodov A.Yu.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Y

Yakushev O.F.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)

Yakushkin A.A.
  • D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidel’nikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection62 304–314 (2019)
© 1918–2019 Uspekhi Fizicheskikh Nauk
Email: ufn@ufn.ru Editorial office contacts About the journal Terms and conditions