RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2019

 / 

март

←  →

Конференции и симпозиумы


Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

 а,  а,  а,  б,  в,  а,  в,  а,  а,  в,  а,  г,  а,  а,  г,  б,  а,  а,  а,  а,  в,  д, е,  в,  е,  б
а Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
б ООО "ЭУФ Лабс", Сиреневый бульв. 1, Троицк, Москва, 142191, Российская Федерация
в Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, Миусская пл. 4, Москва, 125047, Российская Федерация
г Московский физико-технический институт (Национальный исследовательский университет), Институтский пер. 9, Долгопрудный, Московская обл., 141700, Российская Федерация
д Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, ул. Вавилова 38, Москва, 119991, Российская Федерация
е Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Описаны результаты исследований, посвящённых разработке плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения для литографии нового поколения и разработке методов спектральной диагностики таких источников.

Текст pdf (1,5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2018.06.038447
Ключевые слова: ЭУФ-литография, лазерная плазма, источники излучения
PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.−f, 52.70.−m, 52.77.−j (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2018.06.038447
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/3/k/
000469214700010
2-s2.0-85070730766
2019PhyU...62..304A
Цитата: Абраменко Д Б, Анциферов П С, Астахов Д И, Виноходов А Ю, Вичев И Ю, Гаязов Р Р, Грушин А С, Дорохин Л А, Иванов В В, Ким Д А, Кошелев К Н, Крайнов П В, Кривокорытов М С, Кривцун В М, Лакатош Б В, Лаш А А, Медведев В В, Рябцев А Н, Сидельников Ю В, Снегирёв Е П, Соломянная А Д, Спиридонов М В, Цыгвинцев И П, Якушев О Ф, Якушкин А А "Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)" УФН 189 323–334 (2019)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 28 августа 2018, 20 июня 2018

English citation: Abramenko D B, Antsiferov P S, Astakhov D I, Vinokhodov A Yu, Vichev I Yu, Gayazov R R, Grushin A S, Dorokhin L A, Ivanov V V, Kim D A, Koshelev K N, Krainov P V, Krivokorytov M S, Krivtsun V M, Lakatosh B V, Lash A A, Medvedev V V, Ryabtsev A N, Sidel’nikov Yu V, Snegirev E P, Solomyannaya A D, Spiridonov M V, Tsygvintsev I P, Yakushev O F, Yakushkin A A “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection” Phys. Usp. 62 304–314 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2018.06.038447

Список литературы (71) Статьи, ссылающиеся на эту (27) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко и др. «Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия» УФН 190 92–106 (2020)
  2. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин, Н.Н. Салащенко «Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии» УФН 177 777 (2007)
  3. Н.И. Чхало, И.В. Малышев и др. «Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения» УФН 190 74–91 (2020)
  4. А.Н. Рябцев, С.С. Чурилов «Спектроскопия ионизованных атомов для астрофизики и нанотехнологии» УФН 179 305–309 (2009)
  5. М.Ю. Глявин, Г.Г. Денисов и др. «Источники мощного терагерцевого излучения для спектроскопии и диагностики различных сред» УФН 186 667–677 (2016)
  6. В.Л. Братман «Быстро движущиеся излучатели и их использование в высокочастотной электронике» УФН 177 317–323 (2007)
  7. А.И. Морозов «Разработка принципов квазистационарного плазменного ускорителя с собственным магнитным полем мощностью 109–1011 Вт» УФН 160 (7) 147–150 (1990)
  8. В.И. Балыкин, А.Н. Рябцев и др. «К 40-летию Института спектроскопии Российской академии наук. Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 8 октября 2008 г.» УФН 179 297–334 (2009)
  9. Л.Е. Воробьев, Д.А. Фирсов и др. «Перспективы создания источников излучения среднего ИК диапазона на основе внутризонных межуровневых переходов носителей заряда в инжекционных лазерных гетероструктурах с квантовыми точками и ямами» УФН 169 459–464 (1999)
  10. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» УФН 177 777–780 (2007)
  11. Л.И. Киселевский «Вопросы спектроскопии низкотемпературной плазмы» УФН 108 767–768 (1972)
  12. Д.И. Иудин, С.С. Давыденко и др. «Физика молнии: новые подходы к моделированию и перспективы спутниковых наблюдений» УФН 188 850–864 (2018)
  13. А.М. Быков «Источники космического излучения высоких энергий» УФН 194 384–403 (2024)
  14. «Совместное заседание редакционной коллегии журнала "Известия вузов. Радиофизика" и Ученого совета Института прикладной физики Российской академии наук, посвященное 90-летию со дня рождения Виталия Лазаревича Гинзбурга (4 октября 2006 г.)» УФН 177 315–317 (2007)
  15. Б.М. Болотовский «Работы И.М. Франка по излучению движущихся источников в преломляющих средах ("оптика движущихся источников")» УФН 179 405–415 (2009)
  16. А.Н. Рябцев «Спектроскопия ионов с 5d -электронами в основном состоянии» УФН 169 350–351 (1999)
  17. А.А. Коломенский, М.С. Рабинович, Я.Б. Файнберг «Коллективные методы ускорения частиц в плазме и в сильноточных электронных пучках» УФН 107 326–327 (1972)
  18. С.Н. Фабрика, К.Е. Атапин, А.С. Винокуров «О природе ультраярких рентгеновских источников» УФН 189 1240–1248 (2019)
  19. И.Ю. Костюков, A.M. Пухов «Плазменные методы ускорения электронов: современное состояние и перспективы» УФН 185 89–96 (2015)
  20. В.Н. Руденко «Гравитационно-волновой эксперимент в России» УФН 187 892–905 (2017)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение