RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2019

 / 

Март

←  →

Конференции и симпозиумы


Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

 а,  а,  а,  б,  в,  а,  в,  а,  а,  в,  а,  г,  а,  а,  г,  б,  а,  а,  а,  а,  в,  д, е,  в,  е,  б
а Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
б ООО "ЭУФ Лабс", Сиреневый бульв. 1, Троицк, Москва, 142191, Российская Федерация
в Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, Миусская пл. 4, Москва, 125047, Российская Федерация
г Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Институтский пер. 9, Долгопрудный, Московская обл., 141701, Российская Федерация
д Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, ул. Вавилова 38, Москва, 119991, Российская Федерация
е Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Описаны результаты исследований, посвящённых разработке плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения для литографии нового поколения и разработке методов спектральной диагностики таких источников.

Текст pdf (1,5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2018.06.038447
Ключевые слова: ЭУФ-литография, лазерная плазма, источники излучения
PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.−f, 52.70.−m, 52.77.−j (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2018.06.038447
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/3/k/
000469214700010
2-s2.0-85070730766
2019PhyU...62..304A
Цитата: Абраменко Д Б, Анциферов П С, Астахов Д И, Виноходов А Ю, Вичев И Ю, Гаязов Р Р, Грушин А С, Дорохин Л А, Иванов В В, Ким Д А, Кошелев К Н, Крайнов П В, Кривокорытов М С, Кривцун В М, Лакатош Б В, Лаш А А, Медведев В В, Рябцев А Н, Сидельников Ю В, Снегирёв Е П, Соломянная А Д, Спиридонов М В, Цыгвинцев И П, Якушев О Ф, Якушкин А А "Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)" УФН 189 323–334 (2019)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 28 августа 2018, 20 июня 2018

English citation: Abramenko D B, Antsiferov P S, Astakhov D I, Vinokhodov A Yu, Vichev I Yu, Gayazov R R, Grushin A S, Dorokhin L A, Ivanov V V, Kim D A, Koshelev K N, Krainov P V, Krivokorytov M S, Krivtsun V M, Lakatosh B V, Lash A A, Medvedev V V, Ryabtsev A N, Sidel’nikov Yu V, Snegirev E P, Solomyannaya A D, Spiridonov M V, Tsygvintsev I P, Yakushev O F, Yakushkin A A “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection” Phys. Usp. 62 304–314 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2018.06.038447

Список литературы (71) Статьи, ссылающиеся на эту (16) Похожие статьи (20) ↓

  1. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин, Н.Н. Салащенко «Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии» 177 777 (2007)
  2. В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко и др. «Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия» 190 92–106 (2020)
  3. А.Н. Рябцев, С.С. Чурилов «Спектроскопия ионизованных атомов для астрофизики и нанотехнологии» 179 305–309 (2009)
  4. Н.И. Чхало, И.В. Малышев и др. «Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения» 190 74–91 (2020)
  5. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» 177 777–780 (2007)
  6. В.Л. Братман «Быстро движущиеся излучатели и их использование в высокочастотной электронике» 177 317–323 (2007)
  7. А.А. Андронов, В.Л. Братман и др. «Совместное заседание редакционной коллегии журнала «Известия вузов. Радиофизика» и Ученого совета Института прикладной физики Российской академии наук, посвященное 90-летию со дня рождения Виталия Лазаревича Гинзбурга (4 октября 2006 г.)» 177 315–317 (2007)
  8. Ю.Е. Лозовик, А.М. Попов «Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок» 177 786–799 (2007)
  9. В.И. Балыкин «Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур» 177 780–786 (2007)
  10. А.И. Морозов «Разработка принципов квазистационарного плазменного ускорителя с собственным магнитным полем мощностью 109-1011 Вт» 160 (7) 147–150 (1990)
  11. В.И. Балыкин, А.Н. Рябцев и др. «К 40-летию Института спектроскопии Российской академии наук. Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 8 октября 2008 г.» 179 297–334 (2009)
  12. А.Н. Рябцев «Спектроскопия ионов с 5d -электронами в основном состоянии» 169 350–351 (1999)
  13. А.Г. Ситенко «Всесоюзная конференция по теории плазмы (Киев, 19 — 23 октября 1971 г.)» 107 161–171 (1972)
  14. Л.С. Богданкевич, А.А. Рухадзе «Проблемы сильноточных релятивистских электронных пучков» 107 327–328 (1972)
  15. Л.В. Дубовой, А.Г. Смирнов, Д.И. Стаселько «Использование голографии для исследования процессов в термоядерной плазме и движущемся дуговом разряде» 108 597–598 (1972)
  16. Л.И. Киселевский «Вопросы спектроскопии низкотемпературной плазмы» 108 767–768 (1972)
  17. А.А. Коломенский, М.С. Рабинович, Я.Б. Файнберг «Коллективные методы ускорения частиц в плазме и в сильноточных электронных пучках» 107 326–327 (1972)
  18. В.Е. Голант «Сверхвысокочастотные методы нагрева плазмы» 104 678–680 (1971)
  19. Д.И. Иудин, С.С. Давыденко и др. «Физика молнии: новые подходы к моделированию и перспективы спутниковых наблюдений» 188 850–864 (2018)
  20. Н.А. Винокуров, А.М. Барняков и др. «Электронные пушки в ИЯФ им. Г.И. Будкера СО РАН и перспективы их оснащения фотокатодами с лазерными драйверами нано- и субпикосекундной длительности» 187 1116–1120 (2017)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение