Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

Д.Б. Абраменко^а, П.С. Анциферов^а, Д.И. Астахов^а, А.Ю. Виноходов^б, И.Ю. Вичев^в, Р.Р. Гаязов^а, А.С. Грушин^в, Л.А. Дорохин^а, В.В. Иванов^а, Д.А. Ким^в, К.Н. Кошелев^а, П.В. Крайнов^г, М.С. Кривокорытов^а, В.М. Кривцун^а, Б.В. Лакатош^г, А.А. Лаш^б, В.В. Медведев^а, А.Н. Рябцев^а, Ю.В. Сидельников^а, Е.П. Снегирёв^а, А.Д. Соломянная^в, М.В. Спиридонов^д, е, И.П. Цыгвинцев^в, О.Ф. Якушев^е, А.А. Якушкин^б
^аИнститут спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
^бООО "ЭУФ Лабс", Сиреневый бульв. 1, Троицк, Москва, 142191, Российская Федерация
^вИнститут прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, Миусская пл. 4, Москва, 125047, Российская Федерация
^гМосковский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Институтский пер. 9, Долгопрудный, Московская обл., 141701, Российская Федерация
^дИнститут общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, ул. Вавилова 38, Москва, 119991, Российская Федерация
^еФизический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Описаны результаты исследований, посвящённых разработке плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения для литографии нового поколения и разработке методов спектральной диагностики таких источников.

Текст pdf (1,5 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2018.06.038447

Ключевые слова: ЭУФ-литография, лазерная плазма, источники излучения
PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.−f, 52.70.−m, 52.77.−j (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2018.06.038447
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/3/k/
Web of Science

000469214700010
Scopus

2-s2.0-85070730766
ADS NASA

2019PhyU...62..304A
Цитата: Абраменко Д Б, Анциферов П С, Астахов Д И, Виноходов А Ю, Вичев И Ю, Гаязов Р Р, Грушин А С, Дорохин Л А, Иванов В В, Ким Д А, Кошелев К Н, Крайнов П В, Кривокорытов М С, Кривцун В М, Лакатош Б В, Лаш А А, Медведев В В, Рябцев А Н, Сидельников Ю В, Снегирёв Е П, Соломянная А Д, Спиридонов М В, Цыгвинцев И П, Якушев О Ф, Якушкин А А "Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)" УФН 189 323–334 (2019)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 28 августа 2018, одобрена в печать: 20 июня 2018

English citation: Abramenko D B, Antsiferov P S, Astakhov D I, Vinokhodov A Yu, Vichev I Yu, Gayazov R R, Grushin A S, Dorokhin L A, Ivanov V V, Kim D A, Koshelev K N, Krainov P V, Krivokorytov M S, Krivtsun V M, Lakatosh B V, Lash A A, Medvedev V V, Ryabtsev A N, Sidel’nikov Yu V, Snegirev E P, Solomyannaya A D, Spiridonov M V, Tsygvintsev I P, Yakushev O F, Yakushkin A A “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection” Phys. Usp. 62 304–314 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2018.06.038447

Список литературы (71) Статьи, ссылающиеся на эту (16) ↓ Похожие статьи (20)

Guseva V E, Korepanov M A et al Instrum Exp Tech 66 702 (2023)
Гусева В Е, Корепанов М А и др Pribory i tehnika èksperimenta (4) 145 (2023)
ZOU Kai, ZHANG Wenbin et al Journal of Inorganic Materials 38 987 (2023)
Reunov D G, Malyshev I V et al Poverhnostʹ. Rentgenovskie, sinhrotronnye i nejtronnye issledovaniâ (8) 16 (2023)
Guseva V E, Garakhin S A et al Bull. Lebedev Phys. Inst. 50 S1042 (2023)
Guseva V E, Nechay A N et al Appl. Phys. B 129 (10) (2023)
Chkhalo N I, Salashchenko N N J. Surf. Investig. 17 307 (2023)
Chkhalo N I, Durov K V et al J. Surf. Investig. 17 S226 (2023)
Nechay A N, Perekalov A A et al Appl. Phys. B 129 (3) (2023)
Reunov D G, Malyshev I V et al J. Surf. Investig. 17 859 (2023)
Kalinin N V, Timshina M V Tech. Phys. Lett. 48 119 (2022)
Vodop’yanov A V, Garakhin S A et al Quantum Electron. 51 700 (2021)
Nechay A N, Perekalov A A et al Opt. Spectrosc. 129 185 (2021)
Khokhlov V A, Ashitkov S I et al J. Phys.: Conf. Ser. 1787 012022 (2021)
Vichev I Yu, Kim D A et al KIAM Prepr. (56) 1 (2020)
Grigoryev S Yu, Lakatosh B V et al Phys. Rev. Applied 10 (6) (2018)