Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

  

Конференции и симпозиумы


Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

, , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка
PACS: 07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН 190 92–106 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 18 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Svechnikov M V, Chkhalo N I “Beryllium-based multilayer X-ray opticsPhys. Usp. 63 (1) (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение