 |
RSS-ленты |
|
|||||
| Выпуск 5, 2022 |
|
||||||
|
|
|
||||||
Указатель PACS
52.77.−j Plasma applications
-
Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» 189 323–334 (2019)
42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.−f, 52.70.−m, 52.77.−j () -
А.Д. Погребняк, Ю.Н. Тюрин «Модификация свойств материалов и осаждение покрытий с помощью плазменных струй» 175 515–544 (2005)
52.77.−j, 81.15.−z, 81.65.−b, 82.45.Bb ()
|
© Успехи физических наук, 1918–2022 Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение |