52.77.−j Plasma applications
-
А.Д. Погребняк, Ю.Н. Тюрин «Модификация свойств материалов и осаждение покрытий с помощью плазменных струй» 175 515–544 (2005)
52.77.−j, 81.15.−z, 81.65.−b, 82.45.Bb (все)
-
Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов», принята к публикации
42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.−f, 52.70.−m, 52.77.−j (все)
|