 |
RSS-ленты |
|
|||||
| Выпуск 12, 2018 |
|
||||||
|
|
|
||||||
Указатель PACS
52.77.−j Plasma applications
-
А.Д. Погребняк, Ю.Н. Тюрин «Модификация свойств материалов и осаждение покрытий с помощью плазменных струй» 175 515–544 (2005)
52.77.−j, 81.15.−z, 81.65.−b, 82.45.Bb () -
В.В. Медведев, А.С. Грушин и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов», принята к публикации
42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.−f, 52.70.−m, 52.77.−j ()
|
© Успехи физических наук, 1918–2018 Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение |