Выпуски

 / 

2010

 / 

июнь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью

,
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор основных применений диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах. Рассмотрены основы метода функционала электронной плотности и его реализации в различных программных пакетах. Проанализированы результаты первопринципных расчётов электронной структуры для трёх наиболее важных и перспективных диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью — Al2O3, HfO2 и TiO2.

Текст pdf (822 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587
PACS: 71.15.Mb, 77.55.D−, 85.30.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0180.201006b.0587
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2010/6/b/
000281644500002
2-s2.0-77958606853
2010PhyU...53..561P
Цитата: Перевалов Т В, Гриценко В А "Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью" УФН 180 587–603 (2010)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Perevalov T V, Gritsenko V A “Application and electronic structure of high-permittivity dielectrics” Phys. Usp. 53 561–575 (2010); DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587

Список литературы (100) Статьи, ссылающиеся на эту (69) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.А. Гриценко «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» УФН 178 727–737 (2008)
  2. В.А. Гриценко «Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид» УФН 179 921–930 (2009)
  3. В.А. Гриценко «Горячие электроны в оксиде кремния» УФН 187 971–979 (2017)
  4. Е.Г. Максимов, В.И. Зиненко, Н.Г. Замкова «Расчеты физических свойств ионных кристаллов из первых принципов» УФН 174 1145–1170 (2004)
  5. Р.С. Берри, Б.М. Смирнов «Моделирование конфигурационных переходов в атомных системах» УФН 183 1029–1057 (2013)
  6. Е.Г. Максимов, Д.Ю. Саврасов, С.Ю. Саврасов «Электрон-фононное взаимодействие и физические свойства металлов» УФН 167 353–376 (1997)
  7. А.В. Елецкий, И.М. Искандарова и др. «Графен: методы получения и теплофизические свойства» УФН 181 233–268 (2011)
  8. Е.Г. Максимов, М.В. Магницкая, В.Е. Фортов «Непростое поведение простых металлов при высоких давлениях» УФН 175 793–813 (2005)
  9. Г.В. Шпатаковская «Квазиклассическая модель строения вещества» УФН 182 457–494 (2012)
  10. А.С. Мищенко «Электрон-фононное взаимодействие в недодопированных высокотемпературных сверхпроводниках» УФН 179 1259–1280 (2009)
  11. Э.З. Кучинский, И.А. Некрасов, М.В. Садовский «Обобщённая теория динамического среднего поля в физике сильнокоррелированных систем» УФН 182 345–378 (2012)
  12. О.Е. Квятковский, Е.Г. Максимов «Микроскопическая теория динамики решетки и природа сегнетоэлектрической неустойчивости в кристаллах» УФН 154 3–48 (1988)
  13. Б.М. Смирнов «Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе» УФН 181 713–745 (2011)
  14. А.А. Лебедев, П.А. Иванов и др. «Электроника на основе SiC (к 100-летию Физико-технического института им. А.Ф. Иоффе РАН)» УФН 189 803–848 (2019)
  15. Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос «Теория протекания и проводимость сильно неоднородных сред» УФН 117 401–435 (1975)
  16. С.И. Садовников, А.И. Гусев «Анизотропия упругих свойств сильно нестехиометрических неупорядоченных кубических карбидов MCy (M = Ti, Zr, Hf, Nb, Ta) и монооксидов MOy (M = Ti, V, Nb)» УФН 196 149–172 (2026)
  17. Е.В. Холопов «Проблемы сходимости кулоновских и мультипольных сумм в кристаллах» УФН 174 1033–1060 (2004)
  18. Е.Г. Максимов, А.Е. Каракозов «О неадиабатических эффектах в фононных спектрах металлов» УФН 178 561–576 (2008)
  19. Р.А. Андриевский «Тугоплавкие соединения: новые подходы и результаты» УФН 187 296–310 (2017)
  20. А.В. Елецкий «Углеродные нанотрубки и их эмиссионные свойства» УФН 172 401–438 (2002)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение