Выпуски

 / 

2010

 / 

Июнь

  

Обзоры актуальных проблем


Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью

,
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор основных применений диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах. Рассмотрены основы метода функционала электронной плотности и его реализации в различных программных пакетах. Проанализированы результаты первопринципных расчётов электронной структуры для трёх наиболее важных и перспективных диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью — Al2O3, HfO2 и TiO2.

Текст pdf (822 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587
PACS: 71.15.Mb, 77.55.D−, 85.30.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0180.201006b.0587
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2010/6/b/
000281644500002
2-s2.0-77958606853
2010PhyU...53..561P
Цитата: Перевалов Т В, Гриценко В А "Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью" УФН 180 587–603 (2010)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Perevalov T V, Gritsenko V A “Application and electronic structure of high-permittivity dielectricsPhys. Usp. 53 561–575 (2010); DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587

Список литературы (100) Статьи, ссылающиеся на эту (64) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Gismatulin A A, Novikov Yu N et al 125 (6) (2024)
  2. Malygin A A, Malkov A A, Sosnov E A Žurnal neorganičeskoj himii 69 294 (2024)
  3. Baraban A P, Dmitriev V A et al Crystallogr. Rep. 69 85 (2024)
  4. Malygin A A, Malkov A A, Sosnov E A Russ. J. Inorg. Chem. (2024)
  5. Барабан А П, Дмитриев В А и др Kristallografiâ 69 111 (2024)
  6. Dementeva E V, Dementev P A et al ACS Appl. Nano Mater. 6 16212 (2023)
  7. Shilov A O, Savchenko S S et al Journal of Luminescence 247 118908 (2022)
  8. Zainullina V, Korotin M Physica Status Solidi (b) 259 (1) (2022)
  9. Shilov A O, Vokhmintsev A S et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 86 771 (2022)
  10. Khachaturova T A, But’ko V G, Gusev A A Jetp Lett. 115 41 (2022)
  11. Zainullina V M, Korotin M A Jetp Lett. 114 296 (2021)
  12. Islamov D R, Gritsenko V A et al Materialia 15 100980 (2021)
  13. Novikov Yu N, Gritsenko V A J. Exp. Theor. Phys. 133 488 (2021)
  14. Gismatulin A A, Voronkovskii V A et al Nanotechnology 31 505704 (2020)
  15. Baraban A P, Dmitriev V A et al Opt. Spectrosc. 128 220 (2020)
  16. Kruchinin V N, Perevalov T V et al Opt. Spectrosc. 128 1577 (2020)
  17. Islamov D R, Gritsenko V A et al SSRN Journal (2020)
  18. Gard F S, Forlerer E Eur. Phys. J. Appl. Phys. 85 21302 (2019)
  19. Tikhov S V, Gorshkov O N et al Tech. Phys. 64 873 (2019)
  20. Xu Zh, Li L et al Ceramics International 45 17318 (2019)
  21. Gritsenko V A, Novikov Yu N et al Adv Elect Materials 4 (9) (2018)
  22. Gritsenko V A, Volodin V A et al Nanotechnology 29 425202 (2018)
  23. Karpushin A A, Gritsenko V A Jetp Lett. 108 127 (2018)
  24. Hu F, Chen X et al J Am Ceram Soc 101 4434 (2018)
  25. Islamov D R, Gritsenko V A et al Phys. Solid State 60 2050 (2018)
  26. Perevalov T V, Gritsenko V A et al Nanotechnology 29 264001 (2018)
  27. Dunaev A M, Motalov V B, Kudin L S Russ J Gen Chem 87 632 (2017)
  28. Gritsenko V A Успехи физических наук 187 971 (2017) [Gritsenko V A Phys.-Usp. 60 902 (2017)]
  29. Zhang L, Shang J, Cai G Mod. Phys. Lett. B 31 1750203 (2017)
  30. Islamov D R, Gritsenko V A, Lebedev M S Microelectronic Engineering 178 104 (2017)
  31. Shvets V A, Kruchinin V N, Gritsenko V A Opt. Spectrosc. 123 728 (2017)
  32. Kruchinin V N, Perevalov T V et al Journal of Elec Materi 46 6089 (2017)
  33. Gritsenko V A, Islamov D R et al J. Phys. Chem. C 120 19980 (2016)
  34. Gritsenko V A, Perevalov T V, Islamov D R Physics Reports 613 1 (2016)
  35. Liu J, Zhang J et al J Mater Sci: Mater Electron 27 7680 (2016)
  36. Kruchinin V N, Aliev V Sh et al Opt. Spectrosc. 121 241 (2016)
  37. Baraban A P, Dmitriev V A et al 119 (5) (2016)
  38. Pustovarov V A, Smirnova Т P et al Journal of Luminescence 170 161 (2016)
  39. Baraban A P, Dmitriev V A et al Tech. Phys. Lett. 42 341 (2016)
  40. CRC Concise Encyclopedia of Nanotechnology 0 (2016) p. 201
  41. Kruchinin V N, Aliev V Sh et al Microelectronic Engineering 147 165 (2015)
  42. Konyushenko M A, Filatova E O et al Tech. Phys. Lett. 41 922 (2015)
  43. Ivanova E V, Zamoryanskaya M V et al J. Exp. Theor. Phys. 120 710 (2015)
  44. Santos R C R, Longhinotti E et al Chemical Physics Letters 637 172 (2015)
  45. Gulyaev D V, Perevalov T V et al Phys. Solid State 57 1347 (2015)
  46. Filatova E O, Konashuk A S J. Phys. Chem. C 119 20755 (2015)
  47. Pugachevskii M A, Panfilov V I Inorg Mater 50 582 (2014)
  48. Gushchina E V, Dunaevskii M S et al Tech. Phys. 59 1540 (2014)
  49. Ievlev V M, Kushchev S B et al Inorg. Mater. Appl. Res. 5 14 (2014)
  50. Nekrashevich S S, Gritsenko V A Phys. Solid State 56 207 (2014)
  51. Perevalov T V, Dolbak A E et al Eur. Phys. J. Appl. Phys. 65 10702 (2014)
  52. Francis S A, Cress C D et al IEEE Trans. Nucl. Sci. 60 4087 (2013)
  53. Vartanyan T A, Logunov A E et al Opt. Spectrosc. 115 60 (2013)
  54. Nasyrov K A, Gritsenko V A Успехи физических наук 183 1099 (2013) [Nasyrov K A, Gritsenko V A Phys.-Usp. 56 999 (2013)]
  55. Vashchenko E V, Gladskikh I A et al J. Opt. Technol. 80 263 (2013)
  56. Milichko V A, Dzyuba V P, Kul’chin Yu N Quantum Electron. 43 567 (2013)
  57. Kaichev V V, Asanova T I et al J. Exp. Theor. Phys. 116 323 (2013)
  58. Ivanchenko M V, Gritsenko V A et al Tech. Phys. 57 693 (2012)
  59. Gritsenko V A Uspekhi Fizicheskikh Nauk 182 531 (2012)
  60. McMorrow Ju J, Cress C D, Affouda Ch A ACS Nano 6 5040 (2012)
  61. Gritsenko V A, Zhuravlev K S, Nadolinnyi V A Phys. Solid State 53 860 (2011)
  62. Ivanov M V, Perevalov T V et al J. Exp. Theor. Phys. 112 1035 (2011)
  63. Perevalov T V, Gritsenko V A J. Exp. Theor. Phys. 112 310 (2011)
  64. Pustovarov V A, Aliev V Sh et al J. Exp. Theor. Phys. 111 989 (2010)

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение