Выпуски

 / 

2010

 / 

Июнь

  

Обзоры актуальных проблем


Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью

,
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор основных применений диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах. Рассмотрены основы метода функционала электронной плотности и его реализации в различных программных пакетах. Проанализированы результаты первопринципных расчётов электронной структуры для трёх наиболее важных и перспективных диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью — Al2O3, HfO2 и TiO2.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
English fulltext is available at IOP
PACS: 71.15.Mb, 77.55.D−, 85.30.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0180.201006b.0587
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2010/6/b/
Цитата: Перевалов Т В, Гриценко В А "Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью" УФН 180 587–603 (2010)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Perevalov T V, Gritsenko V A “Application and electronic structure of high-permittivity dielectricsPhys. Usp. 53 561–575 (2010); DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587

Список литературы (100) Статьи, ссылающиеся на эту (55) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Zainullina V, Korotin M Physica Status Solidi (b) 2100355 (2021)
  2. Novikov Yu N, Gritsenko V A J. Exp. Theor. Phys. 133 488 (2021)
  3. Zainullina V M, Korotin M A Jetp Lett. 114 296 (2021)
  4. Islamov D R, Gritsenko V A et al Materialia 15 100980 (2021)
  5. Kruchinin V N, Perevalov T V et al Opt. Spectrosc. 128 1577 (2020)
  6. Baraban A P, Dmitriev V A et al Opt. Spectrosc. 128 220 (2020)
  7. Gismatulin A A, Voronkovskii V A et al Nanotechnology 31 505704 (2020)
  8. Islamov D R, Gritsenko V A et al SSRN Journal (2020)
  9. Tikhov S V, Gorshkov O N et al Tech. Phys. 64 873 (2019)
  10. Gard F S, Forlerer E Eur. Phys. J. Appl. Phys. 85 21302 (2019)
  11. Xu Zh, Li L et al Ceramics International 45 17318 (2019)
  12. Gritsenko V A, Novikov Yu N et al Adv. Electron. Mater. 4 1700592 (2018)
  13. Hu F, Chen X et al J Am Ceram Soc 101 4434 (2018)
  14. Perevalov T V, Gritsenko V A et al Nanotechnology 29 264001 (2018)
  15. Islamov D R, Gritsenko V A et al Phys. Solid State 60 2050 (2018)
  16. Karpushin A A, Gritsenko V A Jetp Lett. 108 127 (2018)
  17. Gritsenko V A, Volodin V A et al Nanotechnology 29 425202 (2018)
  18. Islamov D R, Gritsenko V A, Lebedev M S Microelectronic Engineering 178 104 (2017)
  19. Shvets V A, Kruchinin V N, Gritsenko V A Opt. Spectrosc. 123 728 (2017)
  20. Kruchinin V N, Perevalov T V et al Journal of Elec Materi 46 6089 (2017)
  21. Dunaev A M, Motalov V B, Kudin L S Russ J Gen Chem 87 632 (2017)
  22. Gritsenko V A Успехи физических наук 187 971 (2017)
  23. Zhang L, Shang J, Cai G Mod. Phys. Lett. B 31 1750203 (2017)
  24. Baraban A P, Dmitriev V A et al Tech. Phys. Lett. 42 341 (2016)
  25. Gritsenko V A, Perevalov T V, Islamov D R Physics Reports 613 1 (2016)
  26. Liu J, Zhang J et al J Mater Sci: Mater Electron 27 7680 (2016)
  27. CRC Concise Encyclopedia of Nanotechnology 0 (2016) p. 201
  28. Pustovarov V A, Smirnova Т P et al Journal of Luminescence 170 161 (2016)
  29. Gritsenko V A, Islamov D R et al J. Phys. Chem. C 120 19980 (2016)
  30. Baraban A P, Dmitriev V A et al Journal of Applied Physics 119 055307 (2016)
  31. Kruchinin V N, Aliev V Sh et al Opt. Spectrosc. 121 241 (2016)
  32. Kruchinin V N, Aliev V Sh et al Microelectronic Engineering 147 165 (2015)
  33. Filatova E O, Konashuk A S J. Phys. Chem. C 119 20755 (2015)
  34. Konyushenko M A, Filatova E O et al Tech. Phys. Lett. 41 922 (2015)
  35. Ivanova E V, Zamoryanskaya M V et al J. Exp. Theor. Phys. 120 710 (2015)
  36. Gulyaev D V, Perevalov T V et al Phys. Solid State 57 1347 (2015)
  37. Santos R C R, Longhinotti E et al Chemical Physics Letters 637 172 (2015)
  38. Pugachevskii M A, Panfilov V I Inorg Mater 50 582 (2014)
  39. Gushchina E V, Dunaevskii M S et al Tech. Phys. 59 1540 (2014)
  40. Perevalov T V, Dolbak A E et al Eur. Phys. J. Appl. Phys. 65 10702 (2014)
  41. Nekrashevich S S, Gritsenko V A Phys. Solid State 56 207 (2014)
  42. Ievlev V M, Kushchev S B et al Inorg. Mater. Appl. Res. 5 14 (2014)
  43. Vartanyan T A, Logunov A E et al Opt. Spectrosc. 115 60 (2013)
  44. Francis S A, Cress C D et al IEEE Trans. Nucl. Sci. 60 4087 (2013)
  45. Vashchenko E V, Gladskikh I A et al J. Opt. Technol. 80 263 (2013)
  46. Nasyrov K A, Gritsenko V A Успехи физических наук 183 1099 (2013) [Nasyrov K A, Gritsenko V A Phys.-Usp. 56 999 (2013)]
  47. Kaichev V V, Asanova T I et al J. Exp. Theor. Phys. 116 323 (2013)
  48. Milichko V A, Dzyuba V P, Kul’chin Yu N Quantum Electron. 43 567 (2013)
  49. Ivanchenko M V, Gritsenko V A et al Tech. Phys. 57 693 (2012)
  50. Gritsenko V A Uspekhi Fizicheskikh Nauk 182 531 (2012)
  51. McMorrow Ju J, Cress C D, Affouda Ch A ACS Nano 6 5040 (2012)
  52. Ivanov M V, Perevalov T V et al J. Exp. Theor. Phys. 112 1035 (2011)
  53. Gritsenko V A, Zhuravlev K S, Nadolinnyi V A Phys. Solid State 53 860 (2011)
  54. Perevalov T V, Gritsenko V A J. Exp. Theor. Phys. 112 310 (2011)
  55. Pustovarov V A, Aliev V Sh et al J. Exp. Theor. Phys. 111 989 (2010)

© Успехи физических наук, 1918–2022
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение