Выпуски

 / 

2010

 / 

Июнь

  

Обзоры актуальных проблем


Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью

,
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор основных применений диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах. Рассмотрены основы метода функционала электронной плотности и его реализации в различных программных пакетах. Проанализированы результаты первопринципных расчётов электронной структуры для трёх наиболее важных и перспективных диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью — Al2O3, HfO2 и TiO2.

Текст pdf (822 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587
PACS: 71.15.Mb, 77.55.D−, 85.30.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0180.201006b.0587
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2010/6/b/
000281644500002
2-s2.0-77958606853
2010PhyU...53..561P
Цитата: Перевалов Т В, Гриценко В А "Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью" УФН 180 587–603 (2010)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Perevalov T V, Gritsenko V A “Application and electronic structure of high-permittivity dielectricsPhys. Usp. 53 561–575 (2010); DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587

Список литературы (100) Статьи, ссылающиеся на эту (67) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Luo Y, He W et al Ceramics International 51 (23) 39353 (2025)
  2. Atuchin V V, Lebedev M S et al J. Electron. Mater. 54 (6) 4832 (2025)
  3. Gismatulin A A, Novikov Yu N et al Applied Physics Letters 125 (6) (2024)
  4. Baraban A P, Dmitriev V A et al Crystallogr. Rep. 69 (1) 85 (2024)
  5. Malygin A A, Malkov A A, Sosnov E A Russ. J. Inorg. Chem. 69 (3) 304 (2024)
  6. Malygin A A, Malkov A A, Sosnov E A Žurnal neorganičeskoj himii 69 (3) 294 (2024)
  7. Барабан А П, Дмитриев В А и др Kristallografiâ 69 (1) 111 (2024)
  8. Grigoryan L N, Petrosyan P G J. Contemp. Phys. 59 (3) 294 (2024)
  9. Dementeva E V, Dementev P A et al ACS Appl. Nano Mater. 6 (18) 16212 (2023)
  10. Shilov A O, Vokhmintsev A S et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 86 (7) 771 (2022)
  11. Zainullina V, Korotin M Physica Status Solidi (b) 259 (1) (2022)
  12. Shilov A O, Savchenko S S et al Journal of Luminescence 247 118908 (2022)
  13. Khachaturova T A, But’ko V G, Gusev A A Jetp Lett. 115 (1) 41 (2022)
  14. Zainullina V M, Korotin M A Jetp Lett. 114 (5) 296 (2021)
  15. Islamov D R, Gritsenko V A et al Materialia 15 100980 (2021)
  16. Novikov Yu N, Gritsenko V A J. Exp. Theor. Phys. 133 (4) 488 (2021)
  17. Gismatulin A A, Voronkovskii V A et al Nanotechnology 31 (50) 505704 (2020)
  18. Baraban A P, Dmitriev V A et al Opt. Spectrosc. 128 (2) 220 (2020)
  19. Islamov D R, Gritsenko V A et al SSRN Journal (2020)
  20. Kruchinin V N, Perevalov T V et al Opt. Spectrosc. 128 (10) 1577 (2020)
  21. Xu Zh, Li L et al Ceramics International 45 (14) 17318 (2019)
  22. Tikhov S V, Gorshkov O N et al Tech. Phys. 64 (6) 873 (2019)
  23. Gard F S, Forlerer E Eur. Phys. J. Appl. Phys. 85 (2) 21302 (2019)
  24. Gritsenko V A, Volodin V A et al Nanotechnology 29 (42) 425202 (2018)
  25. Islamov D R, Gritsenko V A et al Phys. Solid State 60 (10) 2050 (2018)
  26. Karpushin A A, Gritsenko V A Jetp Lett. 108 (2) 127 (2018)
  27. Hu F, Chen X et al J Am Ceram Soc 101 (10) 4434 (2018)
  28. Perevalov T V, Gritsenko V A et al Nanotechnology 29 (26) 264001 (2018)
  29. Gritsenko V A, Novikov Yu N et al Adv Elect Materials 4 (9) (2018)
  30. Islamov D R, Gritsenko V A, Lebedev M S Microelectronic Engineering 178 104 (2017)
  31. Dunaev A M, Motalov V B, Kudin L S Russ J Gen Chem 87 (3) 632 (2017)
  32. Gritsenko V A Успехи физических наук 187 (09) 971 (2017) [Gritsenko V A Phys.-Usp. 60 (9) 902 (2017)]
  33. Zhang L, Shang J, Cai G Mod. Phys. Lett. B 31 (18) 1750203 (2017)
  34. Shvets V A, Kruchinin V N, Gritsenko V A Opt. Spectrosc. 123 (5) 728 (2017)
  35. Kruchinin V N, Perevalov T V et al Journal of Elec Materi 46 (10) 6089 (2017)
  36. Gritsenko V A, Islamov D R et al J. Phys. Chem. C 120 (36) 19980 (2016)
  37. Gritsenko V A, Perevalov T V, Islamov D R Physics Reports 613 1 (2016)
  38. Liu J, Zhang J et al J Mater Sci: Mater Electron 27 (7) 7680 (2016)
  39. Kruchinin V N, Aliev V Sh et al Opt. Spectrosc. 121 (2) 241 (2016)
  40. Baraban A P, Dmitriev V A et al Journal of Applied Physics 119 (5) (2016)
  41. Pustovarov V A, Smirnova Т P et al Journal of Luminescence 170 161 (2016)
  42. Baraban A P, Dmitriev V A et al Tech. Phys. Lett. 42 (4) 341 (2016)
  43. CRC Concise Encyclopedia of Nanotechnology 0 (2016) p. 201
  44. Kruchinin V N, Aliev V Sh et al Microelectronic Engineering 147 165 (2015)
  45. Konyushenko M A, Filatova E O et al Tech. Phys. Lett. 41 (10) 922 (2015)
  46. Ivanova E V, Zamoryanskaya M V et al J. Exp. Theor. Phys. 120 (4) 710 (2015)
  47. Santos R C R, Longhinotti E et al Chemical Physics Letters 637 172 (2015)
  48. Gulyaev D V, Perevalov T V et al Phys. Solid State 57 (7) 1347 (2015)
  49. Filatova E O, Konashuk A S J. Phys. Chem. C 119 (35) 20755 (2015)
  50. Pugachevskii M A, Panfilov V I Inorg Mater 50 (6) 582 (2014)
  51. Gushchina E V, Dunaevskii M S et al Tech. Phys. 59 (10) 1540 (2014)
  52. Ievlev V M, Kushchev S B et al Inorg. Mater. Appl. Res. 5 (1) 14 (2014)
  53. Nekrashevich S S, Gritsenko V A Phys. Solid State 56 (2) 207 (2014)
  54. Perevalov T V, Dolbak A E et al Eur. Phys. J. Appl. Phys. 65 (1) 10702 (2014)
  55. Francis S A, Cress C D et al IEEE Trans. Nucl. Sci. 60 (6) 4087 (2013)
  56. Vartanyan T A, Logunov A E et al Opt. Spectrosc. 115 (1) 60 (2013)
  57. Nasyrov K A, Gritsenko V A Успехи физических наук 183 (10) 1099 (2013) [Nasyrov K A, Gritsenko V A Phys.-Usp. 56 (10) 999 (2013)]
  58. Vashchenko E V, Gladskikh I A et al J. Opt. Technol. 80 (5) 263 (2013)
  59. Milichko V A, Dzyuba V P, Kul’chin Yu N Quantum Electron. 43 (6) 567 (2013)
  60. Kaichev V V, Asanova T I et al J. Exp. Theor. Phys. 116 (2) 323 (2013)
  61. Ivanchenko M V, Gritsenko V A et al Tech. Phys. 57 (5) 693 (2012)
  62. Gritsenko V A Uspekhi Fizicheskikh Nauk 182 (5) 531 (2012)
  63. McMorrow Ju J, Cress C D, Affouda Ch A ACS Nano 6 (6) 5040 (2012)
  64. Gritsenko V A, Zhuravlev K S, Nadolinnyi V A Phys. Solid State 53 (4) 860 (2011)
  65. Ivanov M V, Perevalov T V et al J. Exp. Theor. Phys. 112 (6) 1035 (2011)
  66. Perevalov T V, Gritsenko V A J. Exp. Theor. Phys. 112 (2) 310 (2011)
  67. Pustovarov V A, Aliev V Sh et al J. Exp. Theor. Phys. 111 (6) 989 (2010)

© Успехи физических наук, 1918–2025
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение