Представлены результаты обработки дифракционных изображений дислокационных полупетель в монокристалле кремния Si(111), полученных методом рентгеновской топо-томографии (РТТ) на Европейском источнике синхротронного излучения (ESRF). Предложен алгоритм предварительной обработки двумерных изображений методами автоматической фильтрации шумов, а также разработаны критерии достоверности решения, что позволило значительно улучшить качество трёхмерной реконструкции пространственного распределения исследуемых дефектов. Проведено сравнение экспериментальных изображений с численно смоделированными с использованием решения уравнений Такаги. Такой подход позволил не только определить геометрию дефектов, но и получить информацию о векторе Бюргерса.

Ключевые слова: синхротронное излучение, топо-томография, дислокационные полупетли, монокристалл кремния, уравнения Такаги PACS: 07.85.−m, 61.72.−y, 61.72.Bb (все) DOI: 10.3367/UFNr.2022.05.039199 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/ 001112661900006 2-s2.0-85182880932 2023PhyU...66..943Z Цитата: Золотов Д А, Асадчиков В Е, Бузмаков А В, Волков В В, Дьячкова И Г, Конарев П В, Григорьев В А, Суворов Э В "Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии" УФН 193 1001–1009 (2023) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Поступила: 28 марта 2022, доработана: 25 апреля 2022, одобрена в печать: 28 мая 2022 English citation: Zolotov D A, Asadchikov V E, Buzmakov A V, Volkov V V, D’yachkova I G, Konarev P V, Grigorev V A, Suvorov E V “New approaches to three-dimensional dislocation reconstruction in silicon from X-ray topo-tomography data” Phys. Usp. 66 943–950 (2023); DOI: 10.3367/UFNe.2022.05.039199