Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии

Д.А. Золотов^†^а, В.Е. Асадчиков^а, А.В. Бузмаков^а, В.В. Волков^а, И.Г. Дьячкова^а, П.В. Конарев^а, В.А. Григорьев^а, б, Э.В. Суворов^в
^аФедеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» РАН, Ленинский просп. 59, Москва, 119333, Российская Федерация
^бНациональный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Каширское шоссе 31, Москва, 115409, Российская Федерация
^вИнститут физики твердого тела имени Ю.А. Осипьяна РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация

Представлены результаты обработки дифракционных изображений дислокационных полупетель в монокристалле кремния Si(111), полученных методом рентгеновской топо-томографии (РТТ) на Европейском источнике синхротронного излучения (ESRF). Предложен алгоритм предварительной обработки двумерных изображений методами автоматической фильтрации шумов, а также разработаны критерии достоверности решения, что позволило значительно улучшить качество трёхмерной реконструкции пространственного распределения исследуемых дефектов. Проведено сравнение экспериментальных изображений с численно смоделированными с использованием решения уравнений Такаги. Такой подход позволил не только определить геометрию дефектов, но и получить информацию о векторе Бюргерса.

Ключевые слова: синхротронное излучение, топо-томография, дислокационные полупетли, монокристалл кремния, уравнения Такаги
PACS: 07.85.−m, 61.72.−y, 61.72.Bb (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2022.05.039199
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/
Web of Science

001112661900006
Scopus

2-s2.0-85182880932
ADS NASA

2023PhyU...66..943Z
Цитата: Золотов Д А, Асадчиков В Е, Бузмаков А В, Волков В В, Дьячкова И Г, Конарев П В, Григорьев В А, Суворов Э В "Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии" УФН 193 1001–1009 (2023)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 28 марта 2022, доработана: 25 апреля 2022, одобрена в печать: 28 мая 2022

English citation: Zolotov D A, Asadchikov V E, Buzmakov A V, Volkov V V, D’yachkova I G, Konarev P V, Grigorev V A, Suvorov E V “New approaches to three-dimensional dislocation reconstruction in silicon from X-ray topo-tomography data” Phys. Usp. 66 943–950 (2023); DOI: 10.3367/UFNe.2022.05.039199