Выпуски

 / 

2012

 / 

Июль

  

Приборы и методы исследований


Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов

, , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2–60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (1020 — 1023 Вт см−2) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 41.50.+h, 42.79.−e, 95.55.Ka (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201207c.0727
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/7/c/
Цитата: Барышева М М, Пестов А Е, Салащенко Н Н, Торопов М Н, Чхало Н И "Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов" УФН 182 727–747 (2012)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 27 июня 2011, 17 августа 2011

English citation: Barysheva M M, Pestov A E, Salashchenko N N, Toropov M N, Chkhalo N I “Precision imaging multilayer optics for soft X-rays and extreme ultraviolet bandsPhys. Usp. 55 681–699 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение