Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2–60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (1020 — 1023 Вт см−2) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.
PACS:41.50.+h, 42.79.−e, 95.55.Ka (все) DOI:10.3367/UFNr.0182.201207c.0727 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/7/c/ Цитата: Барышева М М, Пестов А Е, Салащенко Н Н, Торопов М Н, Чхало Н И "Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов" УФН182 727–747 (2012)