Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии

Д.А. Золотов^†^а, В.Е. Асадчиков^а, А.В. Бузмаков^а, В.В. Волков^а, И.Г. Дьячкова^а, П.В. Конарев^а, В.А. Григорьев^а, б, Э.В. Суворов^в
^аФедеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» РАН, Ленинский просп. 59, Москва, 119333, Российская Федерация
^бНациональный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Каширское шоссе 31, Москва, 115409, Российская Федерация
^вИнститут физики твердого тела имени Ю.А. Осипьяна РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация

Представлены результаты обработки дифракционных изображений дислокационных полупетель в монокристалле кремния Si(111), полученных методом рентгеновской топо-томографии (РТТ) на Европейском источнике синхротронного излучения (ESRF). Предложен алгоритм предварительной обработки двумерных изображений методами автоматической фильтрации шумов, а также разработаны критерии достоверности решения, что позволило значительно улучшить качество трёхмерной реконструкции пространственного распределения исследуемых дефектов. Проведено сравнение экспериментальных изображений с численно смоделированными с использованием решения уравнений Такаги. Такой подход позволил не только определить геометрию дефектов, но и получить информацию о векторе Бюргерса.

Ключевые слова: синхротронное излучение, топо-томография, дислокационные полупетли, монокристалл кремния, уравнения Такаги
PACS: 07.85.−m, 61.72.−y, 61.72.Bb (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2022.05.039199
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/
Web of Science

001112661900006
Scopus

2-s2.0-85182880932
ADS NASA

2023PhyU...66..943Z
Цитата: Золотов Д А, Асадчиков В Е, Бузмаков А В, Волков В В, Дьячкова И Г, Конарев П В, Григорьев В А, Суворов Э В "Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии" УФН 193 1001–1009 (2023)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии
A1 Золотов,Д.А.
A1 Асадчиков,В.Е.
A1 Бузмаков,А.В.
A1 Волков,В.В.
A1 Дьячкова,И.Г.
A1 Конарев,П.В.
A1 Григорьев,В.А.
A1 Суворов,Э.В.
PB Успехи физических наук
PY 2023
FD 10 Sep, 2023
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 193
IS 9
SP 1001-1009
DO 10.3367/UFNr.2022.05.039199
LK https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/

Поступила: 28 марта 2022, доработана: 25 апреля 2022, одобрена в печать: 28 мая 2022

English citation: Zolotov D A, Asadchikov V E, Buzmakov A V, Volkov V V, D’yachkova I G, Konarev P V, Grigorev V A, Suvorov E V “New approaches to three-dimensional dislocation reconstruction in silicon from X-ray topo-tomography data” Phys. Usp. 66 943–950 (2023); DOI: 10.3367/UFNe.2022.05.039199