Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии
Д.А. Золотов†а,
В.Е. Асадчикова,
А.В. Бузмакова,
В.В. Волкова,
И.Г. Дьячковаа,
П.В. Конарева,
В.А. Григорьева,б,
Э.В. Суворовв аФедеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» РАН, Ленинский просп. 59, Москва, 119333, Российская Федерация бНациональный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Каширское шоссе 31, Москва, 115409, Российская Федерация вИнститут физики твердого тела РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация
Представлены результаты обработки дифракционных изображений дислокационных полупетель в монокристалле кремния Si(111), полученных методом рентгеновской топо-томографии (РТТ) на Европейском источнике синхротронного излучения (ESRF). Предложен алгоритм предварительной обработки двумерных изображений методами автоматической фильтрации шумов, а также разработаны критерии достоверности решения, что позволило значительно улучшить качество трёхмерной реконструкции пространственного распределения исследуемых дефектов. Проведено сравнение экспериментальных изображений с численно смоделированными с использованием решения уравнений Такаги. Такой подход позволил не только определить геометрию дефектов, но и получить информацию о векторе Бюргерса.
Ключевые слова: синхротронное излучение, топо-томография, дислокационные полупетли, монокристалл кремния, уравнения Такаги PACS:07.85.−m, 61.72.−y, 61.72.Bb (все) DOI:10.3367/UFNr.2022.05.039199 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/ Цитата: Золотов Д А, Асадчиков В Е, Бузмаков А В, Волков В В, Дьячкова И Г, Конарев П В, Григорьев В А, Суворов Э В "Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии" УФН193 1001–1009 (2023)
PT Journal Article
TI Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии
AU Золотов Д А
FAU Золотов ДА
AU Асадчиков В Е
FAU Асадчиков ВЕ
AU Бузмаков А В
FAU Бузмаков АВ
AU Волков В В
FAU Волков ВВ
AU Дьячкова И Г
FAU Дьячкова ИГ
AU Конарев П В
FAU Конарев ПВ
AU Григорьев В А
FAU Григорьев ВА
AU Суворов Э В
FAU Суворов ЭВ
DP 10 Sep, 2023
TA Усп. физ. наук
VI 193
IP 9
PG 1001-1009
RX 10.3367/UFNr.2022.05.039199
URL https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/
SO Усп. физ. наук 2023 Sep 10;193(9):1001-1009
Поступила: 28 марта 2022, доработана: 25 апреля 2022, одобрена в печать: 28 мая 2022