Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии
Д.А. Золотов†а,
В.Е. Асадчикова,
А.В. Бузмакова,
В.В. Волкова,
И.Г. Дьячковаа,
П.В. Конарева,
В.А. Григорьева,б,
Э.В. Суворовв аФедеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» РАН, Ленинский просп. 59, Москва, 119333, Российская Федерация бНациональный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Каширское шоссе 31, Москва, 115409, Российская Федерация вИнститут физики твердого тела имени Ю.А. Осипьяна РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация
Представлены результаты обработки дифракционных изображений дислокационных полупетель в монокристалле кремния Si(111), полученных методом рентгеновской топо-томографии (РТТ) на Европейском источнике синхротронного излучения (ESRF). Предложен алгоритм предварительной обработки двумерных изображений методами автоматической фильтрации шумов, а также разработаны критерии достоверности решения, что позволило значительно улучшить качество трёхмерной реконструкции пространственного распределения исследуемых дефектов. Проведено сравнение экспериментальных изображений с численно смоделированными с использованием решения уравнений Такаги. Такой подход позволил не только определить геометрию дефектов, но и получить информацию о векторе Бюргерса.
Ключевые слова: синхротронное излучение, топо-томография, дислокационные полупетли, монокристалл кремния, уравнения Такаги PACS:07.85.−m, 61.72.−y, 61.72.Bb (все) DOI:10.3367/UFNr.2022.05.039199 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/ 001112661900006 2-s2.0-85182880932 2023PhyU...66..943Z Цитата: Золотов Д А, Асадчиков В Е, Бузмаков А В, Волков В В, Дьячкова И Г, Конарев П В, Григорьев В А, Суворов Э В "Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии" УФН193 1001–1009 (2023)
%0 Journal Article
%T Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии
%A Д. А. Золотов
%A В. Е. Асадчиков
%A А. В. Бузмаков
%A В. В. Волков
%A И. Г. Дьячкова
%A П. В. Конарев
%A В. А. Григорьев
%A Э. В. Суворов
%I Успехи физических наук
%D 2023
%J Усп. физ. наук
%V 193
%N 9
%P 1001-1009
%U https://ufn.ru/ru/articles/2023/9/f/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.2022.05.039199
Поступила: 28 марта 2022, доработана: 25 апреля 2022, одобрена в печать: 28 мая 2022