RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2022

 / 

Июль

←  →

Приборы и методы исследований


Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

†  а, ‡  б, в, г,  д,  в,  а
а Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация
б Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
в Wuhan University, Wuhan, Hubei Province, China
г Universidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal
д Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994
Ключевые слова: кластеры, газовые кластерные ионы, источники ионов, сверхзвуковые потоки, ионизация, масс-сепарация, распыление, самоорганизация, ионная имплантация, РФЭС, МСВИ
PACS: 29.25.Ni, 36.40.−c, 41.75.−i, 68.49.Sf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/
001100230300003
2-s2.0-85122825374
2022PhyU...65..677I
Цитата: Иешкин А Е, Толстогузов А Б, Коробейщиков Н Г, Пеленович В О, Черныш В С "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач" УФН 192 722–753 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, 7 июня 2021

English citation: Ieshkin A E, Tolstoguzov A B, Korobeishchikov N G, Pelenovich V O, Chernysh V S “Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied research” Phys. Usp. 65 677–705 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994

Список литературы (304) Статьи, ссылающиеся на эту (23) Похожие статьи (16) ↓

  1. П.А. Мажаров, В.Г. Дудников, А.Б. Толстогузов «Электрогидродинамические источники ионных пучков» УФН 190 1293–1333 (2020)
  2. Н.Н. Кудрявцев, О.А. Мазяр, А.М. Сухов «Методы генерации молекулярных пучков» УФН 163 (6) 75–93 (1993)
  3. Е.Н. Рагозин, Е.А. Вишняков и др. «Спектрометры для мягкого рентгеновского диапазона на основе апериодических отражательных решёток и их применение» УФН 191 522–542 (2021)
  4. В.Г. Дудников «Поверхностно-плазменный метод получения пучков отрицательных ионов» УФН 189 1315–1351 (2019)
  5. В.М. Петров, П.М. Агрузов и др. «Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития» УФН 191 760–780 (2021)
  6. М. Ганева, П.В. Каштанов и др. «Кластеры как инструмент для диагностики газовых потоков» УФН 185 619–629 (2015)
  7. В.А. Ванке «Поперечные волны электронного потока в микроволновой электронике» УФН 175 957–978 (2005)
  8. В.И. Крауз, Ю.В. Мартыненко и др. «Наноструктуры в установках управляемого термоядерного синтеза» УФН 180 1055–1080 (2010)
  9. М.Н. Медведев «Детекторы ядерного излучения на основе электроннооптических усилителей света» УФН 90 143–161 (1966)
  10. М.А. Проскурнин, В.Р. Хабибуллин и др. «Фототермическая и оптоакустическая спектроскопия: современное состояние и перспективы» УФН 192 294–340 (2022)
  11. А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Н.А. Дюжев «Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности» УФН 192 754–771 (2022)
  12. В.А. Гаспаров «Исследования поверхности Ферми металлов с помощью высокочастотных размерных эффектов» УФН 188 311–324 (2018)
  13. А.Д. Погребняк, Ю.Н. Тюрин «Модификация свойств материалов и осаждение покрытий с помощью плазменных струй» УФН 175 515–544 (2005)
  14. В.С. Гречишкин, Н.Я. Синявский «Новые физические технологии: обнаружение взрывчатых и наркотических веществ методом ядерного квадрупольного резонанса» УФН 167 413–427 (1997)
  15. В.С. Вавилов, А.Р. Челядинский «Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения» УФН 165 347–358 (1995)
  16. В.С. Вавилов «Возможности и ограничения ионной имплантации в алмаз и их сопоставление с другими методами введения электрически активных примесей» УФН 164 429–433 (1994)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение