RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 9, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2022

 / 

июль

←  →

Приборы и методы исследований


Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

†  а, ‡  б, в, г,  д,  в,  а
а Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация
б Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
в Wuhan University, Wuhan, Hubei Province, China
г Universidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal
д Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994
Адреса для корреспонденции:
Ключевые слова: кластеры, газовые кластерные ионы, источники ионов, сверхзвуковые потоки, ионизация, масс-сепарация, распыление, самоорганизация, ионная имплантация, РФЭС, МСВИ
PACS: 29.25.Ni, 36.40.−c, 41.75.−i, 68.49.Sf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/
001100230300003
2-s2.0-85122825374
2022PhyU...65..677I
Цитата: Иешкин А Е, Толстогузов А Б, Коробейщиков Н Г, Пеленович В О, Черныш В С "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач" УФН 192 722–753 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, 7 июня 2021

English citation: Ieshkin A E, Tolstoguzov A B, Korobeishchikov N G, Pelenovich V O, Chernysh V S “Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied research” Phys. Usp. 65 677–705 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994

Список литературы (304) Статьи, ссылающиеся на эту (33) Похожие статьи (20) ↓

  1. П.А. Мажаров, В.Г. Дудников, А.Б. Толстогузов «Электрогидродинамические источники ионных пучков» УФН 190 1293–1333 (2020)
  2. Н.Н. Кудрявцев, О.А. Мазяр, А.М. Сухов «Методы генерации молекулярных пучков» УФН 163 (6) 75–93 (1993)
  3. А.Б. Толстогузов, П.Ю. Бабенко, А.Н. Зиновьев «Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий» УФН 196 48–82 (2026)
  4. Е.Н. Рагозин, Е.А. Вишняков и др. «Спектрометры для мягкого рентгеновского диапазона на основе апериодических отражательных решёток и их применение» УФН 191 522–542 (2021)
  5. В.Г. Дудников «Поверхностно-плазменный метод получения пучков отрицательных ионов» УФН 189 1315–1351 (2019)
  6. М. Ганева, П.В. Каштанов и др. «Кластеры как инструмент для диагностики газовых потоков» УФН 185 619–629 (2015)
  7. В.М. Петров, П.М. Агрузов и др. «Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития» УФН 191 760–780 (2021)
  8. В.А. Ванке «Поперечные волны электронного потока в микроволновой электронике» УФН 175 957–978 (2005)
  9. П.В. Зинин, К.М. Булатов и др. «Дистанционное измерение распределения температуры на поверхности твёрдых тел при воздействии мощного лазерного излучения» УФН 192 913–925 (2022)
  10. В.В. Лидер «Метод накачки и рентгеновского зондирования» УФН 195 962–981 (2025)
  11. Е.Б. Левичев «Накопители электронов с малым эмиттансом» УФН 188 31–54 (2018)
  12. М.Н. Медведев «Детекторы ядерного излучения на основе электроннооптических усилителей света» УФН 90 143–161 (1966)
  13. А.Б. Александров, М.С. Владимиров и др. «Метод мюонной радиографии для фундаментальных и прикладных исследований» УФН 187 1375–1392 (2017)
  14. В.В. Лидер «Рентгеновские кристаллические интерферометры» УФН 184 1217–1236 (2014)
  15. В.В. Бусарев, В.В. Прокофьева-Михайловская, В.В. Бочков «Спектральный и спектрально-частотный методы исследования безатмосферных тел Солнечной системы» УФН 177 663–675 (2007)
  16. М.И. Ломаев, В.С. Скакун и др. «Эксилампы — эффективные источники спонтанного УФ- и ВУФ-излучения» УФН 173 201–217 (2003)
  17. В.И. Крауз, Ю.В. Мартыненко и др. «Наноструктуры в установках управляемого термоядерного синтеза» УФН 180 1055–1080 (2010)
  18. И.Р. Набиев, Р.Г. Ефремов, Г.Д. Чуманов «Гигантское комбинационное рассеяние и его применение к изучению биологических молекул» УФН 154 459–496 (1988)
  19. В.А. Гаспаров «Исследования поверхности Ферми металлов с помощью высокочастотных размерных эффектов» УФН 188 311–324 (2018)
  20. В.Г. Лукин, О.Г. Хвостенко «Влияние поверхностной адсорбции отрицательных ионов в ионном источнике на результаты измерений их времени жизни» УФН 187 981–1002 (2017)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение