Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

А.Е. Иешкин^†^а, А.Б. Толстогузов^‡^б, в, г, Н.Г. Коробейщиков^д, В.О. Пеленович^в, В.С. Черныш^а
^аМосковский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация
^бРязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
^вWuhan University, Wuhan, Hubei Province, China
^гUniversidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal
^дНовосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

Ключевые слова: кластеры, газовые кластерные ионы, источники ионов, сверхзвуковые потоки, ионизация, масс-сепарация, распыление, самоорганизация, ионная имплантация, РФЭС, МСВИ
PACS: 29.25.Ni, 36.40.−c, 41.75.−i, 68.49.Sf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/
Web of Science

001100230300003
Scopus

2-s2.0-85122825374
ADS NASA

2022PhyU...65..677I
Цитата: Иешкин А Е, Толстогузов А Б, Коробейщиков Н Г, Пеленович В О, Черныш В С "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач" УФН 192 722–753 (2022)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач
A1 Иешкин,А.Е.
A1 Толстогузов,А.Б.
A1 Коробейщиков,Н.Г.
A1 Пеленович,В.О.
A1 Черныш,В.С.
PB Успехи физических наук
PY 2022
FD 10 Jul, 2022
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 192
IS 7
SP 722-753
DO 10.3367/UFNr.2021.06.038994
LK https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/

Поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, одобрена в печать: 7 июня 2021

English citation: Ieshkin A E, Tolstoguzov A B, Korobeishchikov N G, Pelenovich V O, Chernysh V S “Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied research” Phys. Usp. 65 677–705 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994