Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач
А.Е. Иешкин†а,
А.Б. Толстогузов‡б,в,г,
Н.Г. Коробейщиковд,
В.О. Пеленовичв,
В.С. Черныша аМосковский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация бРязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация вWuhan University, Wuhan, Hubei Province, China гUniversidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal дНовосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.
Ключевые слова: кластеры, газовые кластерные ионы, источники ионов, сверхзвуковые потоки, ионизация, масс-сепарация, распыление, самоорганизация, ионная имплантация, РФЭС, МСВИ PACS:29.25.Ni, 36.40.−c, 41.75.−i, 68.49.Sf (все) DOI:10.3367/UFNr.2021.06.038994 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/ 001100230300003 2-s2.0-85122825374 2022PhyU...65..677I Цитата: Иешкин А Е, Толстогузов А Б, Коробейщиков Н Г, Пеленович В О, Черныш В С "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач" УФН192 722–753 (2022)
%0 Journal Article
%T Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач
%A А. Е. Иешкин
%A А. Б. Толстогузов
%A Н. Г. Коробейщиков
%A В. О. Пеленович
%A В. С. Черныш
%I Успехи физических наук
%D 2022
%J Усп. физ. наук
%V 192
%N 7
%P 722-753
%U https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.06.038994
Поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, одобрена в печать: 7 июня 2021