RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 12, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2022

 / 

Июль

←  →

Приборы и методы исследований


Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

†  а, ‡  б, в, г,  д,  в,  а
а Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация
б Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
в Wuhan University, Wuhan, Hubei Province, China
г Universidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal
д Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994
Ключевые слова: кластеры, газовые кластерные ионы, источники ионов, сверхзвуковые потоки, ионизация, масс-сепарация, распыление, самоорганизация, ионная имплантация, РФЭС, МСВИ
PACS: 29.25.Ni, 36.40.−c, 41.75.−i, 68.49.Sf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/
001100230300003
2-s2.0-85122825374
2022PhyU...65..677I
Цитата: Иешкин А Е, Толстогузов А Б, Коробейщиков Н Г, Пеленович В О, Черныш В С "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач" УФН 192 722–753 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, 7 июня 2021

English citation: Ieshkin A E, Tolstoguzov A B, Korobeishchikov N G, Pelenovich V O, Chernysh V S “Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied research” Phys. Usp. 65 677–705 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994

Список литературы (304) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (24) Похожие статьи (16)

  1. Brown I G (Ed.) The Physics and Technology of Ion Sources (New York: John Wiley and Sons, 1989); Пер. на русск. яз., Браун Я (Ред.) Физика и технология источников ионов (М.: Мир, 1998)
  2. Дудников В Г УФН 189 1315 (2019); Dudnikov V G Phys. Usp. 62 1233 (2019)
  3. Мажаров П А, Дудников В Г, Толстогузов А Б УФН 190 1293 (2020); Mazarov P, Dudnikov V G, Tolstoguzov A B Phys. Usp. 63 1219 (2020)
  4. Kantrowitz A, Grey J Rev. Sci. Instrum. 22 328 (1951)
  5. Kistiakowsky G B, Slichter W P Rev. Sci. Instrum. 22 333 (1951)
  6. Henkes W Z. Naturforsch. A 16 842 (1961)
  7. Bentley P G Nature 190 432 (1961)
  8. Hagena O-F, Henkes W Z. Naturforsch. A 20 1344 (1965)
  9. Becker E W et al "Development and construction of an injector using hydrogen cluster ions for nuclear fusion devices" Kernforschungszentrum Karlsruhe KFK 2016 (Karlsruhe: Gesellschaft für Kernforschung M.B.H., 1974), Status Report as of December 1973
  10. Henkes W P R, Klingelhöfer R J. Phys. Colloques 50 C2-159 (1989)
  11. Henkes P R W Rev. Sci. Instrum. 61 360 (1990)
  12. Yamada I AIP Conf. Proc. 1321 1 (2011)
  13. Anderson J B, Fenn J B Phys. Fluids 8 780 (1965)
  14. Елецкий А В, Смирнов Б М УФН 159 45 (1989); Eletskii A V, Smirnov B M Sov. Phys. Usp. 32 763 (1989)
  15. Макаров Г Н УФН 176 121 (2006); Makarov G N Phys. Usp. 49 117 (2006)
  16. Карпенко А Ю, Батурин В А Журн. нано- електрон. физ. 4 (3) 03015 (2012)
  17. Смирнов Б М УФН 173 609 (2003); Smirnov B M Phys. Usp. 46 589 (2003)
  18. Андреев А А и др Нанотехнологии 1 (1) 23 (2009)
  19. Авдуевский В С и др Газодинамика сверхзвуковых неизобарических струй (М.: Машиностроение, 1989)
  20. Pauly H Atom, Molecule, and Cluster Beams Vol. 2 (Berlin: Springer, 2000)
  21. Campargue R (Ed.) Atomic and Molecular Beams: the State of the Art 2000 (Berlin: Springer, 2001)
  22. Scoles G (Ed.) Atomic and Molecular Beam Methods Vol. 1 (New York: Oxford Univ. Press, 1988)
  23. Scoles G (Ed.) Atomic and Molecular Beam Methods Vol. 2 (New York: Oxford Univ. Press, 1992)
  24. Александров М Л, Куснер Ю С Газодинамические, молекулярные, ионные и кластированные пучки (Л.: Наука, 1989)
  25. Hagena O F, Obert W J. Chem. Phys. 56 1793 (1972)
  26. Lu H et al J. Chem. Phys. 132 124303 (2010)
  27. Chen G et al J. Appl. Phys. 108 064329 (2010)
  28. Korobeishchikov N G et al Vacuum 119 256 (2015)
  29. Дулов В Г, Лукьянов Г А Газодинамика процессов истечения (Новосибирск: Наука, 1984)
  30. Ashkenas H, Sherman F S Rarefied Gas Dynamics. Proc. of the Fourth Intern. Symp., Toronto, 1964 Vol. 2 (Ed. J H de Leeuw) (New York: Academic Press, 1965) p. 84
  31. Crist S, Sherman P M, Glass D R AIAA J. 4 68 (1966)
  32. Beijerinck H C W et al Chem. Phys. 96 153 (1985)
  33. van Eck H J N J. Appl. Phys. 105 063307 (2009)
  34. Зарвин А Е, Шарафутдинов Р Г Прикладная механика и техническая физика (6) 107 (1979); Zarvin A E, Sharafutdinov R G J. Appl. Mech. Tech. Phys. 20 744 (1979)
  35. Campargue R J. Phys. Chem. 88 4466 (1984)
  36. Weaver B D, Frankl D R Rev. Sci. Instrum. 58 2115 (1987)
  37. Lewis C H, Carlson D J AIAA J. 2 776 (1964)
  38. Hagena O F Rev. Sci. Instrum. 63 2374 (1992)
  39. Even U Adv. Chem. 2014 636042 (2014)
  40. Станкус Н В, Чекмарев С Ф ЖТФ 54 1576 (1984); Chekmarev S F, Stankus N V Sov. Phys. Tech. Phys. 29 920 (1984)
  41. Коробейщиков Н Г, Зарвин А Е, Мадирбаев В Ж ЖТФ 74 (8) 21 (2004); Korobeishchikov N G, Zarvin A E, Madirbaev V Z Tech. Phys. 49 973 (2004)
  42. Димов Г И ПТЭ (5) 168 (1968)
  43. Christen W, Rademann K, Even U J. Chem. Phys. 125 174307 (2006)
  44. Irimia D et al Rev. Sci. Instrum. 80 113303 (2009)
  45. Popok V N et al Rev. Sci. Instrum. 73 4283 (2002)
  46. Andreev A A et al Vacuum 91 47 (2013)
  47. Zeng X M et al Chinese Phys. C 41 087003 (2017)
  48. Иешкин А Е, Ермаков Ю А, Черныш В С Письма в ЖТФ 41 (22) 8 (2015); Ieshkin A E, Ermakov Y A, Chernysh V S Tech. Phys. Lett. 41 1072 (2015)
  49. Bier K, Schmidt B Z. Angew. Phys. 13 496 (1961)
  50. Зарвин А Е и др Письма в ЖТФ 41 (22) 74 (2015); Zarvin A E et al Tech. Phys. Lett. 41 1103 (2015)
  51. Ieshkin A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 795 395 (2015)
  52. Ieshkin A E et al J. Vis. 22 741 (2019)
  53. Кисляков Н И, Ребров А К, Шарафутдинов Р Г Прикладная механика и техническая физика (2) 42 (1975); Kislyakov N I, Rebrov A K, Sharafutdinov R G J. Appl. Mech. Tech. Phys. 16 187 (1975)
  54. Зарвин А Е, Яскин А С, Каляда В В Прикладная механика и техническая физика (1) 99 (2018); Zarvin A E, Yaskin A S, Kalyada V V J. Appl. Mech. Tech. Phys. 59 86 (2018)
  55. Wegner K et al J. Phys. D 39 R439 (2006)
  56. Hagena O F Phys. Fluids 17 894 (1974)
  57. Hagena O F Surf. Sci. 106 101 (1981)
  58. Hagena O F Z. Phys. D 4 291 (1987)
  59. Korobeishchikov N G, Roenko M A, Tarantsev G I J. Clust. Sci. 28 2529 (2017)
  60. Smith R A, Ditmire T, Tisch J W G Rev. Sci. Instrum. 69 3798 (1998)
  61. Sharma P K, Knuth E L, Young W S J. Chem. Phys. 64 4345 (1976)
  62. Buck U, Krohne R J. Chem. Phys. 105 5408 (1996)
  63. Karnbach R et al Rev. Sci. Instrum. 64 2838 (1993)
  64. Korobeishchikov N G et al Plasma Chem. Plasma Process. 25 319 (2005)
  65. Zarvin A E et al Eur. Phys. J. D 49 101 (2008)
  66. Winkler M, Harnes J, B<>уrve K J J. Phys. Chem. A 115 13259 (2011)
  67. Lundwall M et al J. Chem. Phys. 126 214706 (2007)
  68. Nagasaka M et al J. Chem. Phys. 137 214305 (2012)
  69. Pysanenko A et al Int. J. Mass Spectrom. 461 116514 (2021)
  70. Shyrokorad D, Kornich G, Buga S Mater. Today Commun. 23 101107 (2020)
  71. Yamada I et al Mater. Sci. Eng. A 253 249 (1998)
  72. Bell A J et al J. Phys. D 26 994 (1993)
  73. Bush A M et al J. Phys. Chem. A 102 6457 (1998)
  74. Ditmire T et al Phys. Rev. A 53 3379 (1996)
  75. Ramos A et al Phys. Rev. A 72 053204 (2005)
  76. Kim K Y, Kumarappan V, Milchberg H M Appl. Phys. Lett. 83 3210 (2003)
  77. Gupta K C et al J. Appl. Phys. 118 114308 (2015)
  78. Dorchies F et al Phys. Rev. A 68 023201 (2003)
  79. Wörmer J, Joppien M, Möller T Chem. Phys. Lett. 182 632 (1991)
  80. Tchaplyguine M et al J. Chem. Phys. 120 345 (2004)
  81. Amar F G, Smaby J, Preston T J J. Chem. Phys. 122 244717 (2005)
  82. Harnes J et al J. Phys. Chem. A 115 10408 (2011)
  83. Bonnamy A et al J. Chem. Phys. 118 3612 (2003)
  84. Bonnamy A et al Phys. Chem. Chem. Phys. 7 963 (2005)
  85. Farges J et al J. Chem. Phys. 84 3491 (1986)
  86. Данильченко А Г, Коваленко С И, Самоваров В Н ФНТ 35 1240 (2009); Danil'chenko A G, Kovalenko S I, Samovarov V N Low Temp. Phys. 35 965 (2009)
  87. De Martino A et al Z. Phys. D 27 185 (1993)
  88. Fedor J et al J. Chem. Phys. 135 104305 (2011)
  89. Korobeishchikov N G, Penkov O I Vacuum 125 205 (2016)
  90. Soler J M Phys. Rev. Lett. 49 1857 (1982)
  91. Schütte S, Buck U Int. J. Mass Spectrom. 220 183 (2002)
  92. Song J H et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 179 568 (2001)
  93. Ryuto H et al Vacuum 84 505 (2009)
  94. Echt O et al Z. Phys. B Cond. Matter 53 71 (1983)
  95. Söderlund J et al Phys. Rev. Lett. 80 2386 (1998)
  96. Rupp D et al J. Chem. Phys. 141 044306 (2014)
  97. Bobbert C et al Eur. Phys. J. D 19 183 (2002)
  98. Korobeishchikov N G, Nikolaev I V, Roenko M A J. Phys. Conf. Ser. 1115 032016 (2018)
  99. Gao X et al J. Appl. Phys. 114 034903 (2013)
  100. Jang D G et al Appl. Phys. Lett. 105 021906 (2014)
  101. Востриков А А, Дубов Д Ю ЖЭТФ 125 222 (2004); Vostrikov A A, Dubov D Yu J. Exp. Theor. Phys. 98 197 (2004)
  102. Анисимов М П Усп. химии 72 664 (2003); Anisimov M P Russ. Chem. Rev. 72 591 (2003)
  103. Boldarev A S et al Rev. Sci. Instrum. 77 083112 (2006)
  104. Korobeishchikov N G et al AIP Conf. Proc. 1628 885 (2014)
  105. Tao Y et al J. Appl. Phys. 119 164901 (2016)
  106. Nazarov V S et al J. Phys. Conf. Ser. 1250 012026 (2019)
  107. Even U EPJ Techn. Instrum. 2 17 (2015)
  108. Mack M E "Ionizer and method for gas-cluster ion-beam formation" Patent US 7,173,252 B2 (2007)
  109. Lee S J et al Bull. Korean Chem. Soc. 40 877 (2019)
  110. Seki T et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 206 902 (2003)
  111. Swenson D R Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 222 61 (2004)
  112. Toyoda N, Yamada I Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 307 269 (2013)
  113. Scheier P, Märk T D J. Chem. Phys. 86 3056 (1987)
  114. Scheier P, Märk T D Chem. Phys. Lett. 136 423 (1987)
  115. Пеленович В О и др Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования (4) 84 (2019); Pelenovich V O et al J. Synch. Investig. 13 344 (2019)
  116. SIMION®, https://simion.com
  117. Ono L K "Study of secondary ion emission from Si target bombarded by large cluster ions" M.D. Thesis (Kyoto: Kyoto Univ., 2004)
  118. Бакун А Д и др Взаимодействие ионов с поверхностью. ВИП-2019. Труды XXIV Международной конф., 19 - 23 августа 2019 г., Москва, Россия Т. 1 (Ред. Е Ю Зыкова и др) (М.: НИЯУ МИФИ, 2019) с. 84
  119. Fujii M et al Rapid Commun. Mass Spectrom. 28 917 (2014)
  120. Mohammadi A S et al Anal. Bioanal. Chem. 408 6857 (2016)
  121. MacCrimmon R et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 242 427 (2006)
  122. Toyoda N, Isogai H, Yamada I AIP Conf. Proc. 1066 431 (2008)
  123. Paruch R J, Postawa Z, Garrison B J J. Vac. Sci. Technol. B 34 03H105 (2016)
  124. Toyoda N, Houzumi S, Yamada I Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 242 466 (2006)
  125. Seliger R L J. Appl. Phys. 43 2352 (1972)
  126. Соловьев А В, Толстогузов А Б ЖТФ 57 953 (1987); Solov'ev A V, Tolstoguzov A B Sov. Phys. Tech. Phys. 32 580 (1987)
  127. Moritani K et al Appl. Surf. Sci. 255 948 (2008)
  128. Ohwaki K et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 241 614 (2005)
  129. Moritani K et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 432 1 (2018)
  130. Anai Y et al E-J. Surf. Sci. Nanotechnol. 14 161 (2016)
  131. Niehuis E et al Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS V (Springer Series in Chemical Physics) Vol. 44 (Eds A Benninghoven et al) (Berlin: Springer-Verlag, 1986) p. 188
  132. Kayser S et al Surf. Interface Anal. 45 131 (2013)
  133. Yang L, Seah M P, Gilmore I S J. Phys. Chem. C 116 23735 (2012)
  134. Pelenovich V et al Vacuum 172 109096 (2020)
  135. https://www.exogenesis.us/naccel-100-specifications
  136. Kirkpatrick A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 307 281 (2013)
  137. De Vido M et al Opt. Mater. Express. 7 3303 (2017)
  138. https://www.phi.com/news/introducing-the-gas-cluster-ion-beam-ion-gun.html
  139. IONOPTIKA. GCIB 40, https://www.ionoptika.com/products/ion-beams/gas-cluster-ion-beams/gcib-40
  140. Winograd N Annu. Rev. Anal. Chem. 11 29 (2018)
  141. Zeng X M et al Acta Phys. Sin. 69 093601 (2020)
  142. Киреев Д С и др Вестн. Рязанского гос. радиотехнического (66-2) 40 (2018)
  143. SRIM, http://www.srim.org
  144. Matsuo J et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 121 459 (1997)
  145. Yamamura Y, Tawara H At. Data Nucl. Data Tables 62 149 (1996)
  146. Toyoda N et al Mater. Chem. Phys. 54 262 (1998)
  147. Chernysh V S et al Surf. Coat. Technol. 388 125608 (2020)
  148. Yamada I et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 164 944 (2000)
  149. Insepov Z, Yamada I, Sosnowski M Mater. Chem. Phys. 54 234 (1998)
  150. Каргин Н И и др Научная визуализация 9 (3) 28 (2017)
  151. Чайникова А С и др Труды ВИАМ (11) 4 (2015)
  152. Ieshkin A et al Surf. Topogr. Metrol. Prop. 7 025016 (2019)
  153. Chirkin M V, Molchanov A V, Serebryakov A E Proc. of the 5th Intern. Conf. on Optical Measurement Techniques for Structures and Systems (Eds J Dirckx, J Buytaert) (Maastricht: Shaker Publ. BV, 2013) p. 93
  154. Akizuki M et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 99 229 (1995)
  155. Henkes P R W, Krevet B J. Vac. Sci. Technol. A 13 2133 (1995)
  156. Yamada I et al Mater. Sci. Eng. R 34 231 (2001)
  157. Ieshkin A E et al Surf. Sci. 700 121637 (2020)
  158. Teo E J et al Nanoscale 6 3243 (2014)
  159. Teo E J et al Appl. Phys. A 117 719 (2014)
  160. Николаев И В и др Письма в ЖТФ 47 (6) 44 (2021); Nikolaev I V et al Tech. Phys. Lett. 47 305 (2021)
  161. Yin X et al Proc. SPIE 10697 106974R (2018)
  162. Li L et al Results Phys. 19 103356 (2020)
  163. Toyoda N et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 148 639 (1999)
  164. Иешкин А Е и др Вестн. МГУ. Физика. Астрономия 1 72 (2016); Ieshkin A E et al Moscow Univ. Phys. Bull. 71 87 (2016)
  165. Иешкин А Е и др Письма в ЖТФ 43 (2) 18 (2017); Ieshkin A E et al Tech. Phys. Lett. 43 50 (2017)
  166. Mashita T, Toyoda N, Yamada I Jpn. J. Appl. Phys. 49 06GH09 (2010)
  167. Коробейщиков Н Г, Николаев И В, Роенко М А Письма в ЖТФ 45 (6) 30 (2019); Korobeishchikov N G, Nikolaev I V, Roenko M A Tech. Phys. Lett. 45 274 (2019)
  168. Manenkov A A Opt. Eng. 53 010901 (2014)
  169. Korobeishchikov N G et al Surf. Interfaces 27 101520 (2021)
  170. Toyoda N, Yamada I Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 273 11 (2012)
  171. Takaoka G H et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 232 206 (2005)
  172. Aoki T, Matsuo J, Takaoka G Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 202 278 (2003)
  173. Nakayama Y et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 241 618 (2005)
  174. Seki T, Aoki T, Matsuo J AIP Conf. Proc. 1066 423 (2008)
  175. Kyoung Y K et al Surf. Interface Anal. 45 150 (2013)
  176. Shemukhin A A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 354 274 (2015)
  177. Isogai H et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 257 683 (2007)
  178. Shao L et al Appl. Phys. Lett. 102 101604 (2013)
  179. Занавескин М Л и др Кристаллография 53 740 (2008); Zanaveskin M L et al Crystallogr. Rep. 53 701 (2008)
  180. Toyoda N MRS Adv. 1 357 (2016)
  181. Aoki T, Matsuo J Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 261 639 (2007)
  182. Kakuta S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 257 677 (2007)
  183. Chu W K et al Appl. Phys. Lett. 72 246 (1998)
  184. Fathy D et al Mater. Lett. 44 248 (2000)
  185. Bourelle E et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 241 622 (2005)
  186. Suzuki A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 257 649 (2007)
  187. Kakekhani A, Ismail-Beigi S, Altman E I Surf. Sci. 650 302 (2016)
  188. Wang C et al Nature 562 101 (2018)
  189. Skryleva E A et al Surf. Interfaces 26 101428 (2021)
  190. Siew S Y et al Opt. Express 26 4421 (2018)
  191. Зорина М В и др Письма в ЖТФ 42 (16) 34 (2016); Zorina M V et al Tech. Phys. Lett. 42 844 (2016)
  192. Ieshkin A E et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 460 165 (2019)
  193. Svyakhovskiy S E, Maydykovsky A I, Murzina T V J. Appl. Phys. 112 013106 (2012)
  194. Ieshkin A E, Svyakhovskiy S E, Chernysh V S Vacuum 148 272 (2018)
  195. Toyoda N et al Jpn. J. Appl. Phys. 49 06GH13 (2010)
  196. Toyoda N et al J. Appl. Phys. 105 07C127 (2009)
  197. Nagato K et al IEEE Trans. Magn. 46 2504 (2010)
  198. Wu A T, Swenson D R, Insepov Z Phys. Rev. ST Accel. Beams 13 093504 (2010)
  199. Insepov Z et al AIP Conf. Proc. 1099 46 (2009)
  200. Swenson D R, Degenkolb E, Insepov Z Physica C 441 75 (2006)
  201. Chernysh V S et al J. Instrum. 16 T02007 (2021)
  202. Pelenovich V et al Acta Phys. Sin. 70 053601 (2021)
  203. Николаев И В и др Письма в ЖТФ 47 (6) 44 (2021); Nikolaev I V et al Tech. Phys. Lett. 47 301 (2021)
  204. Fenner D B et al Proc. SPIE 4468 17 (2001)
  205. Nishiyama A et al AIP Conf. Proc. 475 421 (1999)
  206. Bakun A D et al Appl. Surf. Sci. 523 146384 (2020)
  207. Aoki T et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 206 861 (2003)
  208. Ieshkin A E et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 421 27 (2018)
  209. Huang, Q et al Nat. Commun. 10 2437 (2019)
  210. Toyoda N, Mashita T, Yamada I Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 232 212 (2005)
  211. Toyoda N et al Appl. Phys. Rev. 6 020901 (2019)
  212. Norris S A, Aziz M J Appl. Phys. Rev. 6 011311 (2019)
  213. Cuerno R, Kim J S J. Appl. Phys. 128 180902 (2020)
  214. Maciazek D, Kanski M, Postawa Z Anal. Chem. 92 7349 (2020)
  215. Sumie K, Toyoda N, Yamada I Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 307 290 (2013)
  216. Lozano O et al AIP Adv. 3 062107 (2013)
  217. Tilakaratne B P, Chen Q Y, Chu W K Materials 10 1056 (2017)
  218. Zeng X et al Beilstein J. Nanotechnol. 11 383 (2020)
  219. Киреев Д С, Иешкин А Е, Шемухин А А Письма в ЖТФ 46 (9) 3 (2020); Kireev D S, Ieshkin A E, Shemukhin A A Tech. Phys. Lett. 46 409 (2020)
  220. Ieshkin A et al Mater. Lett. 272 127829 (2020)
  221. Saleem I et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 380 20 (2016)
  222. Saleem I, Chu W K Sens. Biosensing Res. 11 14 (2016)
  223. Saleem I, Widger W, Chu W K Appl. Surf. Sci. 411 205 (2017)
  224. Radny T, Gnaser H Nanoscale Res. Lett. 9 403 (2014)
  225. Sanatinia R et al Nanotechnol. 26 415304 (2015)
  226. Murdoch B J et al Appl. Phys. Lett. 111 081603 (2017)
  227. Takagi H, Kurashima Y, Suga T ECS Trans. 75 (9) 3 (2016)
  228. Toyoda N et al Jpn. J. Appl. Phys. 57 02BA02 (2018)
  229. Ikeda S, Sasaki T, Toyoda N 2017 5th Intern. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D, 16 - 18 May 2017 (Piscataway, NJ: IEEE, 2017) p. 66
  230. Toyoda N et al ECS Trans. 75 9 (2016)
  231. Shiau D K Surf. Coatings Technol. 365 173 (2019)
  232. Stewart C A C et al Appl. Surf. Sci. 456 701 (2018)
  233. Yamada I et al Curr. Opin. Solid State Mater. Sci. 19 12 (2015)
  234. https://www.exogenesis.us/biotechnology/publications
  235. Khoury J et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 307 630 (2013)
  236. Kirkpatrick S et al 2016 IEEE 16th Intern. Conf. on Nanotechnology, IEEE-NANO, 22 - 25 Aug. 2016 (Piscataway, NJ: IEEE, 2016) p. 710
  237. Yamada I, Khoury J MRS Proc. 1354 301 (2011)
  238. Cleveland C L, Landman U Science 257 355 (1992)
  239. Insepov Z, Yamada I Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 112 16 (1996)
  240. Ieshkin A E et al Surf. Coatings Technol. 404 126505 (2020)
  241. Toyoda N, Yamada I Phys. Procedia 66 556 (2015)
  242. Takaoka G H et al Surf. Coatings Technol. 206 869 (2011)
  243. Ryuto H et al Rev. Sci. Instrum. 85 02C301 (2014)
  244. Toyoda N et al Mater. Chem. Phys. 54 106 (1998)
  245. Ogawa A, Toyoda N, Yamada I Surf. Coatings Technol. 306 187 (2016)
  246. Yamaguchi A et al Jpn. J. Appl. Phys. 52 05EB05 (2013)
  247. Seki T et al Jpn. J. Appl. Phys. 55 06HB01 (2016)
  248. Seki T et al Jpn. J. Appl. Phys. 56 06HB02 (2017)
  249. Seki T et al Appl. Phys. Lett. 110 182105 (2017)
  250. Toyoda N, Ogawa A J. Phys. D 50 184003 (2017)
  251. Toyoda N, Uematsu K Jpn. J. Appl. Phys. 58 SEEA01 (2019)
  252. Borland J et al Electrochemical Society Proceedings Vol. 2004-07 (Eds D Harame et al) (Pennington: The Electrochemical Society, Inc., 2004) p. 769
  253. Hautala J et al AIP Conf. Proc. 866 174 (2006)
  254. Maciazek D, Postawa Z Acta Phys. Pol. A 136 260 (2019)
  255. Benninghoven A, Rüdenauer F G, Werner H W Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications, and Trends (Chemical Analysis) Vol. 86 (New York: J. Wiley, 1987)
  256. Толстогузов А Б "Перспективные направления развития метода вторично-ионной масс-спектрометрии" Обзоры по электронной технике. Сер. Технология, организация производства и оборудование Вып. 5 (1604) (М.: ЦНИИ Электроника, 1604) с. 67
  257. Черепин В Т Ионный микрозондовый анализ (Киев: Наукова думка, 1992)
  258. Толстогузов А Б и др Приборы и техника эксперимента (1) 5 (2015); Tolstogouzov A B et al Instrum. Exp. Tech. 58 1 (2015)
  259. Mahoney C M (Ed.) Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications (Hoboken, NJ: John Wiley and Sons, 2013)
  260. Ninomiya S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 256 493 (2007)
  261. Rzeznik L et al J. Phys. Chem. C 112 521 (2008)
  262. Cristaudo V et al Appl. Surf. Sci. 536 147716 (2021)
  263. Lee J L S et al Anal. Chem. 82 98 (2010)
  264. Mochiji K et al Rapid Commun. Mass Spectrom. 23 648 (2009)
  265. Delcorte A, Garrison B J, Hamraoui K Surf. Interface Anal. 43 16 (2011)
  266. Mochiji K J. Anal. Bioanal. Tech. S2 001 (2014)
  267. Rabbani S et al Anal. Chem. 83 3793 (2011)
  268. Benguerba M Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 420 27 (2018)
  269. Williams P, Mahoney C M Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications (Ed. C M Mahoney) (Hoboken, NJ: John Wiley and Sons, 2013) p. 313
  270. Mahoney C M et al Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications (Ed. C M Mahoney) (Hoboken, NJ: John Wiley and Sons, 2013) p. 117
  271. Gillen G, Bennett J Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications (Ed. C M Mahoney) (Hoboken, NJ: John Wiley and Sons, 2013) p. 247
  272. Rading D et al Surf. Interface Anal. 45 171 (2013)
  273. Depth profile analysis of organic materials by GCIB-TOF-SIMS, https://www.toray-research.co.jp/en/technicaldata/pdf/TechData_P00905E.pdf
  274. Noda et al J. Vac. Sci. Technol. B 38 034003 (2020)
  275. Delcorte A, Poleunis C J. Phys. Chem. C 123 19704 (2019)
  276. Delmez V et al J. Phys. Chem. Lett. 12 952 (2021)
  277. Mouhib T et al Surf. Interface Anal. 45 46 (2013)
  278. Rabbani S S Anal. Chem. 87 2367 (2015)
  279. Wucher A, Tian H, Winograd N Rapid Commun. Mass Spectrom. 28 396 (2014)
  280. Razo I B Rapid Commun. Mass Spectrom. 29 1851 (2015)
  281. Tian H, Wucher A, Winograd N J. Am. Soc. Mass Spectrom. 27 285 (2016)
  282. Lee S J et al Appl. Surf. Sci. 572 151467 (2022)
  283. Tolstogouzov A B "Combined source of mixed-composition gas cluster ion beam" Patent ZL 2018,1,1165407,4 (2018)
  284. Wucher A, Fisher G L, Mahoney C M Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications (Ed. C M Mahoney) (Hoboken, NJ: John Wiley and Sons, 2013) p. 207
  285. Vickerman J, Winograd N Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications (Ed. C M Mahoney) (Hoboken, NJ: John Wiley and Sons, 2013) p. 269
  286. IONOPTIKA. J105 SIMS, https://ionoptika.com/products/j105sims/
  287. Fletcher J S et al Anal. Chem. 80 9058 (2008)
  288. Hill R et al Surf. Interface Anal. 43 506 (2011)
  289. Нефедов В И Рентгеноэлектронная спектроскопия химических соединений (М.: Химия, 1984)
  290. Friedbacher H, Bubert G (Eds) Surface and Thin Film Analysis: A Compendium of Principles, Instrumentation, and Applications (Weinheim: Wiley-VCH, 2011)
  291. Stevie F A, Donley C L J. Vac. Sci. Technol. A 38 063204 (2020)
  292. Toray Research Center. XPS analysis using the GCIB etching, https://www.toray-research.co.jp/en/technicaldata/pdf/TechData_P01179E.pdf
  293. Miisho A, Inaba M J. Surf. Anal. 24 47 (2017)
  294. Romanyuk O et al Appl. Surf. Sci. 514 145903 (2020)
  295. Finšgar M Corros. Sci. 169 108632 (2020)
  296. Theodosiou A et al Appl. Surf. Sci. 506 144764 (2020)
  297. SPECSGROUP. EnviroESCA, https://www.specs-group.com/nc/enviro/products/detail/enviroesca/
  298. Insepov Z et al Phys. Rev. B 61 8744 (2000)
  299. Kinslow R (Ed.) High-Velocity Impact Phenomena (New York: Academic Press, 1970)
  300. Toyoda N 2016 IEEE 16th Intern. Conf. on Nanotechnology, IEEE-NANO, 22 - 25 Aug. 2016 (Piscataway, NJ: IEEE, 2016) p. 381
  301. Onorati E et al Thin Solid Films 625 35 (2017)
  302. Mochiji K et al Rapid Commun. Mass Spectrom. 28 2141 (2014)
  303. Poleunis C, Cristaudo V, Delcorte A J. Am. Soc. Mass Spectrom. 29 4 (2018)
  304. Chundak M et al Appl. Surf. Sci. 533 147473 (2020)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение