Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

А.Е. Иешкин^†^а, А.Б. Толстогузов^‡^б, в, г, Н.Г. Коробейщиков^д, В.О. Пеленович^в, В.С. Черныш^а
^аМосковский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация
^бРязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
^вWuhan University, Wuhan, Hubei Province, China
^гUniversidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal
^дНовосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

Ключевые слова: кластеры, газовые кластерные ионы, источники ионов, сверхзвуковые потоки, ионизация, масс-сепарация, распыление, самоорганизация, ионная имплантация, РФЭС, МСВИ
PACS: 29.25.Ni, 36.40.−c, 41.75.−i, 68.49.Sf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/
Web of Science

001100230300003
Scopus

2-s2.0-85122825374
ADS NASA

2022PhyU...65..677I
Цитата: Иешкин А Е, Толстогузов А Б, Коробейщиков Н Г, Пеленович В О, Черныш В С "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач" УФН 192 722–753 (2022)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, одобрена в печать: 7 июня 2021

English citation: Ieshkin A E, Tolstoguzov A B, Korobeishchikov N G, Pelenovich V O, Chernysh V S “Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied research” Phys. Usp. 65 677–705 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994

Список литературы (304) Статьи, ссылающиеся на эту (23) ↓ Похожие статьи (16)

Nikolaev I V, Korobeishchikov N G J. Surf. Investig. 18 313 (2024)
Korobeishchikov N G, Nikolaev I V et al Appl. Phys. A 130 (11) (2024)
Korobeishchikov N G, Nikolaev I V, Lapega A V Materials Letters 368 136710 (2024)
Bessmertniy D R, Ieshkin A E VMU (№1_2024) 2410302–1 (2024)
Novopashin S A, Kalyada V V Jetp Lett. 119 501 (2024)
Chernysh V S, Ieshkin A E et al Tech. Phys. 69 160 (2024)
Bykov N Y, Fyodorov S A, Gorbachev Yu E 36 (8) (2024)
Ji P, Tang W et al Opt. Express 32 31965 (2024)
Nikolaev I V, Korobeishchikov N G, Lapega A V VMU (№3_2024) 2430301–1 (2024)
Nikolaev I V, Korobeishchikov N G, Lapega A V Moscow Univ. Phys. 79 330 (2024)
Bessmertniy D R, Ieshkin A E Moscow Univ. Phys. 79 20 (2024)
Chernysh V S, Ieshkin A E et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 554 165463 (2024)
Korobeishchikov N G, Nikolaev I V et al Materials Research Bulletin 158 112082 (2023)
Pelenovich V, Zeng X et al Coatings 13 942 (2023)
Tolstoguzov A, Ieshkin A E et al Vacuum 213 112070 (2023)
Zarvin A Е, Galashov E N et al jour 18 83 (2023)
Patel M, Geethika B R et al Sci Rep 13 (1) (2023)
Nazarov A V, Zavilgelskiy A D et al Vacuum 212 112061 (2023)
Korobeishchikov N G, Nikolaev I V et al J. Surf. Investig. 17 163 (2023)
Nikolaev I V, Stishenko P V et al Journal of Non-Crystalline Solids 619 122590 (2023)
Patel M, Thomas J, Chandra J H 94 (10) (2023)
Kireev D S, Pelenovich V O et al Vacuum 216 112473 (2023)
Korobeishchikov N G, Stishenko P V et al Plasma Chem Plasma Process 42 1223 (2022)