Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития
В.М. Петров†а,
П.М. Агрузов‡б,
В.В. Лебедев§б,
И.В. Ильичев*б,
А.В. Шамрай#б аНациональный исследовательский университет ИТМО, Кронверкский просп. 49, лит. А, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация бФизико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Российская Федерация
Широкополосные интегрально-оптические модуляторы являются ключевыми элементами современных оптических информационных систем. Рассмотрены три основные материальные технологические платформы для их изготовления: ниобат лития, полупроводники A3B5 и кремний. Анализируется достигнутый прогресс в создании интегрально-оптических модуляторов и даётся сопоставление полученных для разных материалов основных параметров модуляторов с требованиями практических применений. Обсуждаются направления дальнейшего развития технологии рассматриваемых модуляторов применительно к новым задачам в оптических информационных системах.
Ключевые слова: электрооптический эффект, сверхвысокочастотные интегрально-оптические модуляторы PACS:42.79.−e, 42.79.Hp, 78.20.Ls (все) DOI:10.3367/UFNr.2020.11.038871 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2021/7/d/ Цитата: Петров В М, Агрузов П М, Лебедев В В, Ильичев И В, Шамрай А В "Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития" УФН191 760–780 (2021)