Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития

В.М. Петров^†^а, П.М. Агрузов^‡^б, В.В. Лебедев^§^б, И.В. Ильичев^*^б, А.В. Шамрай^#^б
^аНациональный исследовательский университет ИТМО, Кронверкский просп. 49, лит. А, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация
^бФизико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Российская Федерация

Широкополосные интегрально-оптические модуляторы являются ключевыми элементами современных оптических информационных систем. Рассмотрены три основные материальные технологические платформы для их изготовления: ниобат лития, полупроводники A₃B₅ и кремний. Анализируется достигнутый прогресс в создании интегрально-оптических модуляторов и даётся сопоставление полученных для разных материалов основных параметров модуляторов с требованиями практических применений. Обсуждаются направления дальнейшего развития технологии рассматриваемых модуляторов применительно к новым задачам в оптических информационных системах.

Ключевые слова: электрооптический эффект, сверхвысокочастотные интегрально-оптические модуляторы
PACS: 42.79.−e, 42.79.Hp, 78.20.Ls (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2020.11.038871
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2021/7/d/
Цитата: Петров В М, Агрузов П М, Лебедев В В, Ильичев И В, Шамрай А В "Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития" УФН 191 760–780 (2021)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 20 мая 2020, доработана: 16 ноября 2020, одобрена в печать: 18 ноября 2020

English citation: Petrov V M, Agruzov P M, Lebedev V V, Il’ichev I V, Shamray A V “Broadband integrated optical modulators: achievements and prospects” Phys. Usp. 64 722–739 (2021); DOI: 10.3367/UFNe.2020.11.038871