RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 12, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2013

 / 

Июль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии


Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация

Существенное отличие фундаментальных свойств наночастиц и наноматериалов от свойств отдельных составляющих их атомов или молекул и свойств макроскопического вещества обусловливает громадный научный и практический интерес к наночастицам и ансамблям (функциональным материалам) на их основе. В последние примерно 20 лет наблюдается бурное развитие исследований с наночастицами. Значительный прогресс в науке о наночастицах и нанотехнологии достигнут благодаря применению лазеров. Представлен обзор направлений и результатов исследований в области лазерной нанотехнологии. Обсуждаются параметры, свойства, применение, физические и химические методы получения и исследования наночастиц. Подробно рассмотрены получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии. а также физические основы и принципы указанных методов. Показано, что с помощью лазерного излучения можно получать, плавить и испарять наночастицы, изменять их форму, структуру, размер и распределение по размерам, изучать их динамику, создавать периодические массивы, а также различные структуры и ансамбли из наночастиц. Кратко рассматриваются история развития исследований с наночастицами и наноматериалами и применение методов лазерной нанотехнологии в различных областях.

Текст pdf (4,3 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0183.201307a.0673
PACS: 36.40.−c, 42.62.Fi, 61.46.−w, 81.05.ue, 81.07.−b, 81.16.−c, 81.16.Nd (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0183.201307a.0673
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2013/7/a/
000325716100001
2-s2.0-84886049725
2013PhyU...56..643M
Цитата: Макаров Г Н "Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии" УФН 183 673–718 (2013)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 25 июля 2012, доработана: 17 января 2013, 22 января 2013

English citation: Makarov G N “Laser applications in nanotechnology: nanofabrication using laser ablation and laser nanolithography” Phys. Usp. 56 643–682 (2013); DOI: 10.3367/UFNe.0183.201307a.0673

Список литературы (529) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (83) Похожие статьи (20)

  1. Андриевский Р А Российский хим. журн. 46 (5) 50 (2002)
  2. Морохов И Д и др. УФН 133 653 (1981); Morokhov I D et al. Sov. Phys. Usp. 24 295 (1981)
  3. Roco M C, Williams R S, Alivisatos P (Eds) Nanotechnology Research Directions: IWGN Workshop Report: Vision for Nanotechnology R & D in the Next Decade (Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 2000); Роко М К, Уильямс Р С, Аливисатос П (Ред.) Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления исследований (Пер. с англ. под ред. Р А Андриевского) (М.: Мир, 2002)
  4. Harris P J F Carbon Nanotubes and Related Structures. New Materials for the Twenty-First Century (Cambridge, UK: Cambridge Univ. Press, 1999); Харрис П Углеродные нанотрубы и родственные структуры. Новые материалы XXI века (Пер. с англ. под ред. и с доп. Л А Чернозатонского) (М.: Техносфера, 2003)
  5. Андриевский Р А, Рагуля А В Наноструктурные материалы (М.: Академия, 2005)
  6. Гусев А И Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии (М.: Физматлит, 2007)
  7. Климов В В Наноплазмоника (М.: Физматлит, 2009); Klimov V Nanoplasmonics (Singapore: Pan Stanford Publ., 2013)
  8. Rao C N R, Thomas P J, Kulkarni G U Nanocrystals: Synthesis, Properties and Applications (Berlin: Springer, 2007)
  9. Liz-Marzán L M Mater. Today 7 (2) 26 (2004)
  10. Власов В Г "Селен" Новый энциклопедический словарь изобразительного искусства Т. 7 (СПб.: Азбука-классика, 2007)
  11. Barber D J, Freestone I C Archaeometry 32 33 (1990)
  12. José-Yacamán M et al. Science 273 223 (1996)
  13. Faraday M Philos. Trans. R. Soc. London 147 145 (1857)
  14. Mie G Ann. Physik 25 377 (1908)
  15. Gans R Ann. Physik 31 881 (1912)
  16. Gans R Ann. Physik 47 270 (1915)
  17. Fröhlich H Physica 4 406 (1937)
  18. Kubo R J. Phys. Soc. Jpn. 17 975 (1962)
  19. Ostwald W Die Welt der Vernachlässigten Dimensionen (Dresden: Theodor Steinkopf, 1915)
  20. Bredig G Z. Angew. Chem. 11 951 (1898)
  21. Donau J Monatshefte Chem. 26 525 (1905)
  22. Zsigmondy R Z. Phys. Chem. 56 65 (1906)
  23. Feynman R P "There's plenty of room at the bottom" Eng. Sci. 23 (5) 22 (1960); Feynman R P http://calteches.library.caltech.edu/1976/; Перевод с сокращениями, Фейнман Р Химия и жизнь (12) 20 (2002)
  24. Drexler K E Engines of Creation. The Coming Era of Nanotechnology (Garden City, N.Y.: Anchor Press/Doubleday, 1986)
  25. Gleiter H Acta Mater. 48 (1) 1 (2000)
  26. Сергеев Г Б Нанохимия (М.: Изд-во МГУ, 2003)
  27. Бучаченко А Л Успехи химии 72 419 (2003); Buchachenko A L Russ. Chem. Rev. 72 375 (2003)
  28. Taniguchi N Proc. of the Intern. Conf. on Production Engineering, Tokyo, 1974 Vol. 2 (Tokyo: Japan Soc. of Precision Eng., 1974)
  29. Eigler D M, Schweizer E K Nature 344 524 (1990)
  30. Лахно В Д Кластеры в физике, химии и биологии (М. - Ижевск: РХД, 2001)
  31. Головин Ю И Введение в нанотехнологию (М.: Машиностроение-1, 2003)
  32. Суздалев И П Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов (М.: КомКнига, 2006)
  33. Абрамчук Н С и др. Нанотехнологии. Азбука для всех (Под ред. Ю Д Третьякова) (М.: Физматлит, 2008)
  34. Елисеев А А, Лукашин А В Функциональные наноматериалы (Под ред. Ю Д Третьякова) (М.: Физматлит, 2010)
  35. Siegel R W, Hu E, Roco M C (Eds) WTEC Panel on Nanostructure Science and Technology. R&D Status and Trends in Nanoparticles, Nanostructured Materials, and Nanodevices (Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 1999)
  36. Schmid G (Ed.) Nanoparticles. From Theory to Application (Weinheim: Wiley-VCH, 2004)
  37. Renn O, Roco M C J. Nanopart. Res. 8 153 (2006)
  38. Henglein A J. Phys. Chem. 97 5457 (1993)
  39. Mulvaney P Langmuir 12 788 (1996)
  40. Kerker M J. Colloid Interface Sci. 105 297 (1985)
  41. Creighton J A, Eadon D G J. Chem. Soc. Faraday Trans. 87 3881 (1991)
  42. Hughes A E, Jain S C Adv. Phys. 28 717 (1979)
  43. Гейм А К УФН 181 1284 (2011); Geim A K Rev. Mod. Phys. 83 851 (2011)
  44. Новоселов К С УФН 181 1299 (2011); Novoselov K S Rev. Mod. Phys. 83 837 (2011)
  45. Jortner J, Rao C N R Pure Appl. Chem. 74 1491 (2002)
  46. Алферов Ж И УФН 172 1068 (2002); Alferov Zh I Rev. Mod. Phys. 73 767 (2001)
  47. Крёмер Г УФН 172 1087 (2002); Kroemer H Rev. Mod. Phys. 73 783 (2001)
  48. Смолли Р Е УФН 168 323 (1998); Smalley R E Rev. Mod. Phys. 69 723 (1997)
  49. Керл Р Ф УФН 168 331 (1998); Curl R F Rev. Mod. Phys. 69 691 (1997)
  50. Крото Г УФН 168 343 (1998); Kroto H Rev. Mod. Phys. 69 703 (1997)
  51. Iijima S Nature 354 56 (1991)
  52. Елецкий А В УФН 167 945 (1997); Eletskii A V Phys. Usp. 40 899 (1997)
  53. Edelstein A S, Cammarata R C (Eds) Nanomaterials. Synthesis, Properties, and Applications (Bristol: Institute of Physics Publ., 1998)
  54. Елецкий А В УФН 172 401 (2002); Eletskii A V Phys. Usp. 45 369 (2002)
  55. Раков Э Г Нанотрубки и фуллерены (М.: Физматкнига. Логос, 2006)
  56. Cao G, Brinker C J (Eds) Annual Review of Nano Research Vol. 1 (Singapore: World Scientific, 2006)
  57. Cao G, Brinker C J (Eds) Annual Review of Nano Research Vol. 2 (Singapore: World Scientific, 2008)
  58. Sattler K D (Ed.) Handbook of Nanophysics. Nanotubes and Nanowires (Boca Raton: CRC Press. Taylor & Francis, 2010)
  59. Tan S J et al. Nature Nanotechnol. 6 268 (2011)
  60. Swihart M T Curr. Opin. Colloid Interface Sci. 8 127 (2003)
  61. Papaefthymiou V et al. J. Appl. Phys. 67 4487 (1990)
  62. Du Y et al. J. Appl. Phys. 61 3314 (1987)
  63. Baker C, Hasanain S K, Ismat Shah S J. Appl. Phys. 96 6657 (2004)
  64. Lee K-M, Lee D-J, Ahn H Mater. Lett. 58 3122 (2004)
  65. Agata M et al. Solid State Commun. 76 1061 (1990)
  66. Maisels A et al. Appl. Phys. Lett. 77 4431 (2000)
  67. Balasubramanian C et al. Nanotechnology 15 370 (2004)
  68. Weber A P, Seipenbusch M, Kasper G J. Phys. Chem. A 105 8958 (2001)
  69. Urban F K et al. J. Vac. Sci. Technol. B 20 995 (2002)
  70. Ledoux G et al. Appl. Phys. Lett. 80 4834 (2002)
  71. Ehbrecht M, Huisken F Phys. Rev. B 59 2975 (1999)
  72. Zhao X Q et al. Phys. Rev. B 71 024106 (2005)
  73. Kim J H et al. Adv. Mater. 14 518 (2002)
  74. Ahonen P P et al. J. Aerosol Sci. 32 615 (2001)
  75. Amirav L, Amirav A, Lifshitz E J. Phys. Chem. B 109 9857 (2005)
  76. Didenko Yu T, Suslick K S J. Am. Chem. Soc. 127 12196 (2005)
  77. Miani F, Maurigh F Dekker Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology (Eds J A Schwarz, C I Contescu, K Putyera) (New York: M. Dekker, 2004) p. 1787
  78. Dietz T G et al. J. Chem. Phys. 74 6511 (1981)
  79. Hopkins J B et al. J. Chem. Phys. 78 1627 (1983)
  80. Smalley R E Laser Chem. 2 167 (1983)
  81. Смирнов Б М УФН 173 609 (2003); Smirnov B M Phys. Usp. 46 589 (2003)
  82. Макаров Г Н УФН 176 121 (2006); Makarov G N Phys. Usp. 49 117 (2006)
  83. Макаров Г Н УФН 180 185 (2010); Makarov G N Phys. Usp. 53 179 (2010)
  84. Макаров Г Н УФН 181 365 (2011); Makarov G N Phys. Usp. 54 351 (2011)
  85. Макаров Г Н УФН 174 225 (2004); Makarov G N Phys. Usp. 47 217 (2004)
  86. Burda C et al. Chem. Rev. 105 1025 (2005)
  87. Cushing B L, Kolesnichenko V L, O'Connor C J Chem. Rev. 104 3893 (2004)
  88. Daniel M-C, Astruc D Chem. Rev. 104 293 (2004)
  89. Turkevich J, Stevenson P C, Hillier J Discuss. Faraday Soc. 11 55 (1951)
  90. Schlesinger H I et al. J. Am. Chem. Soc. 75 215 (1953)
  91. Brown H C, Brown C A J. Am. Chem. Soc. 84 1493 (1962)
  92. Brust M et al. J. Chem. Soc. Chem. Commun. 801 (1994)
  93. Hauser E A, Lynn J E Experiments in Colloid Chemistry (New York: McGraw-Hill, 1940) p. 18
  94. Furlong D N et al. J. Chem. Soc. Farad. Trans. 1 80 571 (1984)
  95. Harriman A et al. J. Phys. Chem. 92 1286 (1988)
  96. Fievet F et al. Solid State Ionics 32-33 198 (1989)
  97. Ducamp-Sanguesa C, Herrera-Urbina R, Figlarz M J. Solid State Chem. 100 272 (1992)
  98. Mucalo M R, Cooney R P J. Chem. Soc. Chem. Commun. 94 (1989)
  99. Rajamathi M, Seshadri R Curr. Opinion Sololid State Mater. Sci. 6 337 (2002)
  100. Belloni J, Mostafavi M Metal Clusters in Chemistry Vol. 2 (Eds P Braunstein, L A Oro, P R Raithby) (Weinheim: Wiley-VCH, 1999)
  101. Becker J A et al. J. Chem. Phys. 103 2520 (1995)
  102. Reetz M T, Helbig W, Quaiser S A Chem. Mater. 7 2227 (1995)
  103. Bönnemann H, Richards R M Eur. J. Inorg. Chem. 2001 2455 (2001)
  104. Fischer C H, Henglein A J. Phys. Chem. 93 5578 (1989)
  105. Vossmeyer T et al. J. Phys. Chem. 98 7665 (1994)
  106. Rossetti R et al. J. Chem. Phys. 82 552 (1985)
  107. Gutierrez M, Henglein A, Dohrmann J K J. Phys. Chem. 91 6687 (1987)
  108. Pileni M-P Nature Mater. 2 145 (2003)
  109. Pileni M P J. Phys. Chem. 97 6961 (1993)
  110. Boutonnet M et al. Colloids Surf. 5 209 (1982)
  111. Holmes J D, Lyons D M, Ziegler K J Chem. Eur. J. 9 2144 (2003)
  112. Rao C N R et al. Current Sci. 85 1041 (2003)
  113. Agrawal V V, Kulkarni G U, Rao C N R J. Phys. Chem. B 109 7300 (2005)
  114. Sakamoto M, Fujistuka M, Majima T J. Photochem. Photobiol. C 10 33 (2009)
  115. Mwakikunga B W et al. Nanoscale Res. Lett. 5 389 (2010)
  116. Nkosi S S et al. Nanotechnol. Sci. Appl. 5 27 (2012)
  117. Chen X et al. Acc. Chem. Res. 40 393 (2007)
  118. Голоудина С И и др. Журн. приклад. химии 78 1499 (2005); Goloudina S I et al. Russ. J. Appl. Chem. 78 1474 (2005)
  119. Ma Y et al. J. Am. Chem. Soc. 126 7097 (2004)
  120. Gu Q, Haynie D T Annual Review of Nano Research Vol. 2 (Eds G Cao, C J Brinker) (Singapore: World Scientific, 2008) p. 217
  121. Lo P K, Altvater F, Sleiman H F J. Am. Chem. Soc. 132 10212 (2010)
  122. Lee J-H, Kim G-H, Nam J-M J. Am. Chem. Soc. 134 5456 (2012)
  123. Afonin K A et al. Nature Nanotechnol. 5 676 (2010)
  124. Hosea M et al. Inorg. Chem. Acta 123 161 (1986)
  125. Beveridge T J, Doyle R J (Eds) Metal Ions and Bacteria (New York: Wiley-Interscience, 1989)
  126. Aiking H et al. Appl. Environ. Microbiol. 44 938 (1982)
  127. Reese R N, Winge D R J. Biol. Chem. 263 12832 (1988)
  128. Dameron C T et al. Nature 338 596 (1989)
  129. Temple K L, Le Roux N W Economic Geology 59 647 (1964)
  130. Blakemore R P, Maratea D, Wolfe R S J. Bacteriol. 140 720 (1979)
  131. Sastry M et al. Current Sci. 85 162 (2003)
  132. Slocik J M, Govorov A O, Naik R R Supramol. Chem. 18 415 (2006)
  133. Verma V C et al. Nanoscale Res. Lett. 6 16 (2011)
  134. Panda T, Deepa K J. Nanosci. Nanotechnol. 11 10279 (2011)
  135. Zhang J Z, Grant C D Annual Review of Nano Research Vol. 2 (Eds G Cao, C J Brinker) (Singapore: World Scientific, 2008) p. 1
  136. Rao C N R, Biswas K Annu. Rev. Anal. Chem. 2 435 (2009)
  137. Zhang J Z et al. Self-assembled Nanostructures (New York: Kluwer Acad./Plenum Publ., 2003)
  138. Cao G Nanostructures & Nanomaterials: Synthesis, Properties & Applications (London: Imperial College Press, 2004)
  139. Liu G-Y, Xu S, Qian Y Acc. Chem. Res. 33 457 (2000)
  140. Wang Z L J. Phys. Chem. B 104 1153 (2000)
  141. Wang Z L, Poncharal P, de Heer W A Microscopy Microanalysis 6 224 (2000)
  142. Kaufmann E N (Ed.-in-Chief) Characterization of Materials Vol. 2 (Hoboken, NJ: John Wiley and Sons, 2003)
  143. Hosokawa M et al. (Eds) Nanoparticle Technology Handbook (Amsterdam: Elsevier, 2007) p. 269
  144. Rietveld H M J. Appl. Cryst. 2 65 (1969)
  145. Alivisatos A P Science 271 933 (1996)
  146. Murray C B, Kagan C R, Bawendi M G Annu. Rev. Mater. Sci. 30 545 (2000)
  147. Whetten R L et al. Adv. Mater. 8 428 (1996)
  148. Murray C B, Kagan C R, Bawendi M G Science 270 1335 (1995)
  149. Barr T L Modern ESCA: the Principles and Practice of X-Ray Photoelectron Spectroscopy (Boca Raton: CRC Press, 1994)
  150. Koningsberger D C, Prins R (Eds) X-Ray Absorption: Prinsiples, Applications, Techniques of EXAFS, SEXAFS, and XANES (Chemical Analysis) Vol. 92 (New York: Wiley, 1988)
  151. Goldstein J I et al. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis 3rd ed. (New York: Kluwer Acad./Plenum Publ., 2003)
  152. Sen R et al. Chem. Phys. Lett. 287 671 (1998)
  153. Wang Z L Characterization of Nanophase Materials (Weinheim: Wiley-VCH, 2000)
  154. Williams D B, Carter C B Transmission Electron Microscopy: a Textbook for Materials Science (New York: Plenum Press, 1996)
  155. Wang Z L Adv. Mater. 10 13 (1998)
  156. Park J et al. Nature Mater. 3 891 (2004)
  157. Manna L, Scher E C, Alivisatos A P J. Am. Chem. Soc. 122 12700 (2000)
  158. Iijima S, Ichihashi T Nature 363 603 (1993)
  159. Hirahara K et al. Phys. Rev. Lett. 85 5384 (2000)
  160. Novoselov K S et al. Proc. Natl. Acad. Sci. USA 102 10451 (2005)
  161. Meyer J C et al. Nature 446 60 (2007)
  162. Goldstein J I et al. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis 2nd ed. (New York: Plenum Press, 1992)
  163. Binnig G, Quate C F, Gerber Ch Phys. Rev. Lett. 56 930 (1986)
  164. Миронов В Л Основы сканирующей зондовой микроскопии (Н. Новгород: Институт физики наноструктур РАН, 2004)
  165. Binnig G et al. Appl. Phys. Lett. 40 178 (1982)
  166. Бинниг Г, Рорер Г УФН 154 261 (1988); Binnig G, Rohrer H Rev. Mod. Phys. 59 615 (1987)
  167. Руска Э УФН 154 243 (1988); Ruska E Rev. Mod. Phys. 59 627 (1987)
  168. Güntherodt H-J, Anselmetti D, Meyer E (Eds) Forces in Scanning Probe Methods (NATO ASI Series. Ser. E) Vol. 286 (Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 1995)
  169. Frisbie C D et al. Science 265 2071 (1994)
  170. Egerton R F Electron Energy-Loss Spectroscopy in the Electron Microscope 2nd ed. (New York: Plenum Press, 1996)
  171. Egerton R F Rep. Prog. Phys. 72 016502 (2009)
  172. Chu M-W et al. Nano Lett. 9 399 (2009)
  173. Zhang J Z J. Phys. Chem. B 104 7239 (2000)
  174. Billinge S J L, Kanatzidis M G Chem. Commun. 2004 749 (2004)
  175. Geim A K, Novoselov K S Nature Mater. 6 183 (2007)
  176. Stolyarova E et al. Proc. Natl. Acad. Sci. USA 104 9209 (2007)
  177. Rao C N R et al. J. Mater. Chem. 19 2457 (2009)
  178. Subrahmanyam K S et al. J. Mater. Chem. 18 1517 (2008)
  179. Gupta A et al. Nano Lett. 6 2667 (2006)
  180. Pawley J (Ed.) Handbook of Biological Confocal Microscopy 3rd ed. (New York: Springer, 2006)
  181. Cremer C, Cremer T Microsc. Acta 81 31 (1978)
  182. Patel D V, McGhee C N J Clin. Exp. Ophthalmol. 35 71 (2007)
  183. Edwards P P, Johnston R L, Rao C N R Metal Clusters in Chemistry (Eds P Braunstein, L A Oro, P R Raithby) (Weinheim: Wiley-VCH, 1999)
  184. Kirkland A I et al. Proc. R. Soc. Lond. A 440 589 (1993)
  185. Martin T P et al. J. Phys. Chem. 95 6421 (1991)
  186. Макаров Г Н УФН 178 337 (2008); Makarov G N Phys. Usp. 51 319 (2008)
  187. Chini P Gazz. Chim. Ital. 109 225 (1979)
  188. Chini P J. Organomet. Chem. 200 37 (1980)
  189. Martin T P Phys. Rep. 273 199 (1996)
  190. de Heer W A Rev. Mod. Phys. 65 611 (1993)
  191. Эфрос Ал Л, Эфрос А Л ФТП 16 1209 (1982); Efros Al L, Efros A L Sov. Phys. Semicond. 16 772 (1982)
  192. Brus L E J. Chem. Phys. 80 4403 (1984)
  193. Zaitseva N et al. J. Am. Chem. Soc. 127 10221 (2005)
  194. Link S, El-Sayed M A Int. Rev. Phys. Chem. 19 409 (2000)
  195. Li Y, El-Sayed M A J. Phys. Chem. B 105 8938 (2001)
  196. Papavassilliou G C Prog. Solid State Chem. 12 185 (1980)
  197. Link S, El-Sayed M A Annu. Rev. Phys. Chem. 54 331 (2003)
  198. Kerker M The Scattering of Light, and Other Electromagnetic Radiation (New York: Academic Press, 1969)
  199. Bohren C F, Huffman D R Absorption and Scattering of Light by Small Particles (New York: Wiley, 1983)
  200. Kreibig U, Vollmer M Optical Properties of Metal Clusters (Berlin: Springer, 1995)
  201. Johnson P B, Christy R W Phys. Rev. B 6 4370 (1972)
  202. Look D C J. Colloid Interface Sci. 56 386 (1976)
  203. Guzatov D V, Klimov V V, Pikhota M Yu Laser Phys. 20 85 (2010)
  204. Gaponenko S V Optical Properties of Semiconductor Nanocrystals (Cambridge: Cambridge Univ. Press, 1998)
  205. Wolcott A et al. J. Phys. Chem. B 110 5779 (2006)
  206. Gratzel M Heterogeneous Photochemical Electron Transfer (Boca Raton: CRC Press, 1989)
  207. Colvin V L, Goldstein A N, Alivisatos A P J. Am. Chem. Soc. 114 5221 (1992)
  208. Duonghong D, Ramsden J J, Gratzel M J. Am. Chem. Soc. 104 2977 (1982)
  209. Zhang J Z, O'Neil R H, Roberti T W J. Phys. Chem. 98 3859 (1994)
  210. Adam Z, Peng X J. Am. Chem. Soc. 123 183 (2001)
  211. Rao C N R et al. Chem. Eur. J. 8 29 (2002)
  212. Spanhel L et al. J. Am. Chem. Soc. 109 5649 (1987)
  213. Kamat P V, Dimitrijevic N M J. Phys. Chem. 93 4259 (1989)
  214. Gao M Y et al. J. Phys. Chem. B 102 8360 (1998)
  215. Roberty T W, Cherepy N J, Zhang J Z J. Chem. Phys. 108 2143 (1998)
  216. Peng X G et al. J. Am. Chem. Soc. 119 7019 (1997)
  217. Hines M A, Guyot-Sionnest P J. Phys. Chem. 100 468 (1996)
  218. Schlamp M C, Peng X G, Alivisatos A P J. Appl. Phys. 82 5837 (1997)
  219. Palinginis P, Hailin W Appl. Phys. Lett. 78 1541 (2001)
  220. Hines M A, Guyot-Sionnest P J. Phys. Chem. B 102 3655 (1998)
  221. Patel A A et al. J. Phys. Chem. B 104 11598 (2000)
  222. Sengupta A et al. J. Phys. Chem. B 103 3128 (1999)
  223. Brelle M C et al. Pure Appl. Chem. 72 101 (2000)
  224. Brelle M C et al. J. Phys. Chem. A 103 10194 (1999)
  225. Nirmal M et al. Nature 383 802 (1996)
  226. Javier A, Strouse G F Chem. Phys. Lett. 391 60 (2004)
  227. Rostron R J et al. J. Phys. Condens. Matter 21 235301 (2009)
  228. Осадько И С УФН 176 23 (2006); Osad'ko I S Phys. Usp. 49 19 (2006)
  229. Bae Y, Myung N, Bard A J Nano Lett. 4 1153 (2004)
  230. Wang Z P et al. J. Phys. Chem. B 109 23304 (2005)
  231. Ligman R K et al. Appl. Phys. Lett. 90 061116 (2007)
  232. Lee C Y et al. Appl. Phys. Lett. 89 231116 (2006)
  233. Xuan Y et al. Nanotechnology 17 4966 (2006)
  234. Henglein A et al. Chem. Phys. Lett. 132 133 (1986)
  235. Kang K I et al. Phys. Rev. B 48 15449 (1993)
  236. Klimov V, Hunsche S, Kurz H Phys. Rev. B 50 8110 (1994)
  237. Dneprovskii V S et al. Phys. Lett. A 204 59 (1995)
  238. Dneprovskii V S et al. Phys. Status Solidi B 188 297 (1995)
  239. Henari F Z et al. Appl. Phys. Lett. 67 323 (1995)
  240. Luther J M et al. Nano Lett. 7 1779 (2007)
  241. Luque A, Marti A, Nozik A J MRS Bull. 32 236 (2007)
  242. Allan G, Delerue C Phys. Rev. B 73 205423 (2006)
  243. Murphy J E et al. J. Am. Chem. Soc. 128 3241 (2006)
  244. Ellingson R J et al. Nano Lett. 5 865 (2005)
  245. Klimov V I J. Phys. Chem. B 110 16827 (2006)
  246. Beard M C et al. Nano Lett. 7 2506 (2007)
  247. Nozik A J et al. Chem. Phys. Lett. 457 3 (2008)
  248. Beard M C et al. Nano Lett. 9 836 (2009)
  249. Nozik A J et al. Chem. Rev. 110 6873 (2010)
  250. Semonin O E et al. Science 334 1530 (2011)
  251. Stewart J T et al. Nano Lett. 12 622 (2012)
  252. Schaller R D, Agranovich V M, Klimov V I Nature Phys. 1 189 (2005)
  253. Silvestri L, Agranovich V M Phys. Rev. B 81 205302 (2010)
  254. Mansoori G A et al. Annual Review of Nano Research Vol. 2 (Eds G Cao, C J Brinker) (Singapore: World Scientific, 2008) p. 439
  255. Zeng T et al. Annual Review of Nano Research Vol. 2 (Eds G Cao, C J Brinker) (Singapore: World Scientific, 2008) p. 593
  256. Agranovich V M, Gartstein Y N, Litinskaya M Chem. Rev. 111 5179 (2011)
  257. Dreaden E C et al. Chem. Soc. Rev. 41 2740 (2012)
  258. Medintz I L et al. Nature Mater. 4 435 (2005)
  259. Goncalves G et al. Chem. Mater. 21 4796 (2009)
  260. Chang C C et al. Analyt. Chim. Acta. 709 91 (2012)
  261. Upender G et al. J. Mol. Struct. 1012 56 (2012)
  262. Иванов А А, Алфимов М В, Желтиков А М УФН 174 743 (2004); Ivanov A A, Alfimov M V, Zheltikov A M Phys. Usp. 47 687 (2004)
  263. Желтиков А М УФН 177 737 (2007); Zheltikov A M Phys. Usp. 50 705 (2007)
  264. O'Regan B, Grätzel M Nature 353 737 (1991)
  265. Khaselev O, Turner J A Science 280 425 (1998)
  266. Turner J A Science 285 687 (1999)
  267. Parsons S A et al. J. Phys. Chem. 94 3381 (1990)
  268. Grätzel M J. Photochem. Photobiol. C 4 145 (2003)
  269. Wolcott A et al. J. Phys. Chem. B 110 25288 (2006)
  270. Grätzel M Nature 414 338 (2001)
  271. Uchida S et al. Electrochem. 70 418 (2002)
  272. Huynh W U et al. Adv. Funct. Mater. 13 73 (2003)
  273. Gould P Mater. Today 9 (4) 18 (2006)
  274. Law M et al. J. Phys. Chem. B 110 22652 (2006)
  275. Lee T Y, Alegaonkar P S, Yoo J B Thin Solid Films 515 5131 (2007)
  276. Robbie K, Sit J C, Brett M J J. Vac. Sci. Technol. B 16 1115 (1998)
  277. Zhao Y-P et al. Nano Lett. 2 351 (2002)
  278. Dunn W W, Aikava Y, Bardin A J J. Am. Chem. Soc. 103 6893 (1981)
  279. Harada H, Ueda T, Sakata T J. Phys. Chem. 93 1542 (1989)
  280. Willner I, Patolsky F, Wasserman J Angew. Chem. Int. Ed. 40 1861 (2001)
  281. Nasr C, Kamat P V, Hotchandani S J. Electroanal. Chem. 420 201 (1997)
  282. Hickey S G, Riley D J, Tull E J J. Phys. Chem. B 104 7623 (2000)
  283. Keis K et al. J. Electrochem. Soc. 148 A149 (2001)
  284. Ren Y et al. J. Appl. Electrochem. 31 445 (2001)
  285. Qian X M et al. Thin Solid Films 385 152 (2001)
  286. Yoshida T et al. Adv. Mater. 12 1214 (2000)
  287. Suyver J F et al. Phys. Status Solidi B 224 307 (2001)
  288. Santato C, Ulmann M, Augustynski J J. Phys. Chem. B 105 936 (2001)
  289. Vinodgopal K, Bedja I, Kamat P V Chem. Mater. 8 2180 (1996)
  290. Poznyak S K, Talapin D V, Kulak A I J. Phys. Chem. B 105 4816 (2001)
  291. Cherepy N J et al. J. Phys. Chem. B 101 9342 (1997)
  292. Fox M A, Dulay M T Chem. Rev. 93 341 (1993)
  293. Hoffmann M R et al. Chem. Rev. 95 69 (1995)
  294. Mills A, Davies R H, Worsley D Chem. Soc. Rev. 22 417 (1993)
  295. Murray S B, Norris D J, Bawendi M G J. Am. Chem. Soc. 115 8706 (1993)
  296. Gerion D et al. J. Phys. Chem. B 105 8861 (2001)
  297. Chan W C W, Nie S M Science 281 2016 (1998)
  298. Gaponik N et al. J. Phys. Chem. B 106 7177 (2002)
  299. Kim S et al. Nature Biotechnol. 22 93 (2004)
  300. Goldman E R et al. Analyt. Chem. 76 684 (2004)
  301. Medintz I L et al. Nature Mater. 5 581 (2006)
  302. Agrawal A et al. Analyt. Chem. 78 1061 (2006)
  303. Zharov V P et al. Opt. Lett. 31 3623 (2006)
  304. Kim J W et al. Nature Nanotechnol. 4 688 (2009)
  305. Huang M H et al. Science 292 1897 (2001)
  306. Klimov V I et al. Nature 447 441 (2007)
  307. Mirin R, Gossard A, Bowers J Electron. Lett. 32 1732 (1996)
  308. Fafard S et al. Mat. Sci. Eng. B 51 114 (1998)
  309. Hinzer K et al. J. Vac. Sci. Technol. A 18 578 (2000)
  310. Hinzer K et al. J. Appl. Phys. 87 1496 (2000)
  311. Tanaka S et al. Appl. Phys. Lett. 71 1299 (1997)
  312. Zundel M K et al. J. Cryst. Growth 202 1121 (1999)
  313. Colvin V L, Schlamp M C, Alivisatos A P Nature 370 354 (1994)
  314. Greenham N C, Peng X G, Alivisatos A P Phys. Rev. B 54 17628 (1996)
  315. Nakamura S et al. Electron. Lett. 34 2435 (1998)
  316. Brus L J. Phys. Chem. 98 3575 (1994)
  317. Manna L, Scher E C, Alivisatos A P J. Am. Chem. Soc. 122 12700 (2000)
  318. Adam Z, Peng X J. Am. Chem. Soc. 123 183 (2001)
  319. Pan Z W, Dai Z R, Wang Z L Science 291 1947 (2001)
  320. Darnault C et al. Water Environ. Res. 177 2576 (2005)
  321. Andersson M et al. J. Phys. Chem. B 106 10674 (2002)
  322. Ponder S M et al. Environ. Sci. Technol. 34 2564 (2000)
  323. Елецкий А В УФН 174 1191 (2004); Eletskii A V Phys. Usp. 47 1119 (2004)
  324. Li Y H et al. Water Res. 39 605 (2005)
  325. Lu C, Chiu H Chem. Eng. Sci. 61 1138 (2006)
  326. Li Y H et al. Chem. Phys. Lett. 350 412 (2001)
  327. Yang G W Prog. Mater. Sci. 52 648 (2007)
  328. Semaltianos N G Critic. Rev. Solid State Mater. Sci. 35 105 (2010)
  329. Chichkov B N et al. Appl. Phys. A 63 109 (1996)
  330. Kabashin A V Laser Phys. 19 1136 (2009)
  331. Bauerle D Appl. Phys. A 101 447 (2010)
  332. Barсikowski S, Devesa F, Moldenhauer K J. Nanopart. Res. 11 1883 (2009)
  333. Wang X Y et al. Phys. Rev. B 50 8016 (1994)
  334. Fann W S et al. Phys. Rev. B 46 13593 (1992)
  335. Preuss S, Demchuk A, Stuke M Appl. Phys. A 61 33 (1995)
  336. Afanasiev Y V, Krokhin O N, Sklizkov G V IEEE J. Quantum Electron. 2 483 (1966)
  337. Prokhorov A M et al. Laser Heating of Metals (Bristol: A. Hilger, 1990)
  338. Ashfold M N R et al. J. Chem. Soc. Rev. 33 23 (2004)
  339. Chrisley D B, Hubler G K Pulsed Laser Deposition of Thin Solid Films (New York: Wiley-Intersci., 1994)
  340. Lowndes D H et al. Science 273 896 (1996)
  341. Berthe L et al. J. Phys. D Appl. Phys. 33 2142 (2000)
  342. Peyer P et al. J. Phys. D Appl. Phys. 30 498 (2000)
  343. Patil P P Phys. Rev. Lett. 58 238 (1987)
  344. Yang L et al. J. Nanopart. Res. 9 1181 (2007)
  345. Compagnini G, Scalisi A A, Puglisi O Phys. Chem. Chem. Phys. 4 2787 (2002)
  346. Saito K et al. Appl. Surf. Sci. 197 56 (2002)
  347. Wang J B Chem. Phys. Lett. 361 86 (2002)
  348. Ogale S B et al. Solid State Commun. 84 371 (1992)
  349. Pearce S R J et al. Diamond Relat. Mater. 13 661 (2004)
  350. Perriere J et al. Appl. Phys. Lett. 78 2949 (2001)
  351. Chen Y-H, Yeh C-S Colloids Surf. A 197 133 (2002)
  352. Kumat P V, Flumiani M, Hartland G V J. Phys. Chem. B 102 3123 (1998)
  353. Takami A, Kurita H, Koda S J. Chem. Phys. B 103 1226 (1999)
  354. Tsuji T et al. Appl. Surf. Sci. 202 80 (2002)
  355. Besner S, Kabashin A V, Meunier M Appl. Phys. A 88 269 (2007)
  356. Simakin A V et al. Chem. Phys. Lett. 348 182 (2001)
  357. Dolgaev S I et al. Appl. Surf. Sci. 186 5436 (2002)
  358. Compagnini G et al. J. Mater. Res. 19 2795 (2004)
  359. Sylvestre J P et al. J. Phys. Chem. B 108 16864 (2004)
  360. Mafune F et al. J. Phys. Chem. B 105 5114 (2001)
  361. Mafune F et al. J. Phys. Chem. B 107 12589 (2003)
  362. Pyatenko A et al. Appl. Phys. A 79 803 (2004)
  363. Mafune F et al. J. Phys. Chem. B 104 9111 (2000)
  364. Bae C H, Nam S H, Park S M Appl. Surf. Sci. 197-198 628 (2002)
  365. Hirasawa M, Orii T, Seto T Appl. Phys. A 79 1421 (2004)
  366. El-Shall M S et al. J. Phys. Chem. B 99 17805 (1995)
  367. Geohegan D B et al. Appl. Phys. Lett. 72 2987 (1998)
  368. Marine W et al. Appl. Surf. Sci. 154-155 345 (2000)
  369. Nata K et al. Appl. Phys. Lett. 79 692 (2001)
  370. Nakata Y et al. J. Appl. Phys. 91 1640 (2002)
  371. Tornan V et al. Opt. Laser Eng. 34 309 (2000)
  372. Lu Y F et al. Appl. Phys. A 65 9 (1997)
  373. Kruusing A Opt. Laser Eng. 41 329 (2004)
  374. Tam A C, Park H K, Grigoropoulos C P Appl. Surf. Sci. 721 (1998)
  375. Mosbacher M et al. Appl. Phys. A 70 669 (2000)
  376. Arnold N Appl. Surf. Sci. 197 904 (2002)
  377. Wang J, Niino H, Yabe A Appl. Phys. A 68 111 (1999)
  378. Yasui Y et al. Appl. Surf. Sci. 186 552 (2002)
  379. Kim D, Lee H J. Appl. Phys. 89 5703 (2001)
  380. Shafeev G A Appl. Phys. A 65 23 (1997)
  381. Blatter A et al. Wear 232 226 (1999)
  382. Fukumura H et al. J. Phys. Chem. 97 13761 (1993)
  383. Fukumura H, Masuhara H Chem. Phys. Lett. 221 373 (1994)
  384. Tong L M et al. Opt. Commun. 259 626 (2006)
  385. Carey J E et al. Opt. Lett. 30 1773 (2005)
  386. Crouch C H et al. Appl. Phys. Lett. 84 1850 (2004)
  387. Schaffer C B, Jamison A O, Mazur E Appl. Phys. Lett. 84 1441 (2004)
  388. Shen M Y et al. Appl. Phys. Lett. 82 1715 (2003)
  389. Georgius S, Koubenakis F Chem. Rev. 103 317 (2003)
  390. Luk'yanchuk B (Ed.) Laser Cleaning (Singapore: World Scientific, 2000)
  391. Zapka W, Ziemlich W, Tam A C Appl. Phys. Lett. 58 2217 (1991)
  392. Mafune F et al. J. Phys. Chem. B 106 7575 (2002)
  393. Semaltianos N G et al. Appl. Phys. A 94 999 (2009)
  394. Simakin A V et al. Appl. Phys. A 79 1127 (2004)
  395. Khan S Z et al. J. Nanopart. Res. 11 1421 (2008)
  396. Compagnini G et al. Chem. Phys. Lett. 457 386 (2008)
  397. Kazakevich P V Appl. Surf. Sci. 252 4373 (2006)
  398. Semaltianos N G et al. Appl. Phys. Lett. 95 033302 (2009)
  399. Zeng H et al. J. Phys. Chem. B 109 18260 (2005)
  400. Сейсян Р П ЖТФ 81 (8) 1 (2011); Seisyan R P Tech. Phys. 56 1061 (2011)
  401. Wallraff G M, Hinsberg W D Chem. Rev. 99 1801 (1999)
  402. Ito T, Okazaki S Nature 406 1027 (2000)
  403. Pease R F, Chou S Y Proc. IEEE 96 248 (2008)
  404. Wu B, Kumar A Opt. Photon. Focus 7 4 (2009)
  405. Bloomstein T M et al. J. Vac. Sci. Technol. B 15 2112 (1997)
  406. Rothschild M et al. J. Vac. Sci. Technol. B 17 3262 (1999)
  407. Moore G E (1975) p. 11
  408. Yost D et al. J. Vac. Sci. Technol. B 20 191 (2002)
  409. Fritze M et al. J. Vac. Sci. Technol. B 19 2366 (2001)
  410. Lercel M Future Fab Intl. (28) (2009)
  411. Smith B W et al. Proc. SPIE 5377 273 (2004)
  412. Smith B W et al. J. Vac. Sci. Technol. B 22 3439 (2004)
  413. Levinson H J Principles of Lithography (Bellingham, Wash.: SPIE Press, 2001)
  414. Levenson M D, Viswanathan N S, Simpson R A IEEE Trans. Electr. Dev. 29 1628 (1982)
  415. Kuhlmann T Appl. Opt. 41 2048 (2002)
  416. Wolf S Microchip Manufacturing (Sunset Beach: Lattice Press, 2003)
  417. Березин Г Н, Никитин А В, Сурис Р А Оптические основы контактной литографии (М.: Радио и связь, 1982)
  418. Wua B Q, Kumar A J. Vac. Sci. Technol. B 25 1743 (2007)
  419. Hawryluk A M, Seppala L G J. Vac. Sci. Technol. B 6 2162 (1988)
  420. Stulen R H, Sweeney D W IEEE J. Quantum Electron. 35 694 (1999)
  421. Кошелев К Н, Банин В Е, Салащенко Н Н УФН 177 777 (2007); Koshelev K N, Banine V E, Salashchenko N N Phys. Usp. 50 741 (2007)
  422. Kaiser W, Kuerz P Opt. Photon. (2) (2008)
  423. Socol Y et al. Phys. Rev. ST Accel. Beams 14 040702 (2011)
  424. Pagani C et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Rev. A 475 391 (2001)
  425. Макаров Г Н УФН 179 487 (2009); Makarov G N Phys. Usp. 52 461 (2009)
  426. Banine V Y, Koshelev K N, Swinkels G H P M J. Phys. D Appl. Phys. 44 253001 (2011)
  427. Hawryluk A M, Seglio N M, Markle D A Solid State Technol. 40 151 (1997)
  428. Kinoshita H, Watanabe T J. Photopolim. Sci. Technol. 10 369 (1997)
  429. Gwyn C W et al. J. Vac. Sci. Technol. B 16 3142 (1998)
  430. Rakowski R et al. Appl. Phys. B 101 773 (2010)
  431. Борисов В М и др. Физ. плазмы 36 237 (2010); Borisov V M et al. Plasma Phys. Rep. 36 216 (2010)
  432. Churilov S S, Ryabtsev A N Phys. Scripta 73 614 (2006)
  433. Fomenkov I V et al. Proc. SPIE 6517 65173j (2007)
  434. Harilal S S et al. Appl. Phys. Lett. 96 111503 (2010)
  435. Kuhlmann T et al. Proc. SPIE 4688 509 (2002)
  436. Kaiser N et al. Proc. SPIE 5250 109 (2003)
  437. Wagner C, Harned N Nature Photon. 4 24 (2010)
  438. Otsuka T Appl. Phys. Lett. 97 111503 (2010)
  439. Tallents G, Wagenaars E, Pert G Nature Photon. 4 809 (2010)
  440. Xia D et al. Adv. Mater. 23 147 (2011)
  441. Lu C, Lipson R H Laser Photon. Rev. 4 568 (2010)
  442. Tan C et al. Adv. Nanotechnol. 4 179 (2010)
  443. Brueck S R J Proc. IEEE 93 1704 (2005)
  444. Brueck S R J Frontiers in Electronics (Selected Topics in Electronics and Systems) Vol. 50 (Eds S Christoloveanu, M S Shur) (Singapore: World Scientific, 2009)
  445. International Technology Roadmap for Semiconductors, http://www.public.itrs.net, accessed 12/2009
  446. Guo L J Adv. Mater. 19 495 (2007)
  447. Groves T R et al. Microelectron. Eng. 61 285 (2002)
  448. Tseng A A Small 1 924 (2005)
  449. Burnett J H, Kaplan S G J Microlithogr. Microfab. Microsyst. 3 68 (2004)
  450. Peng S et al. Proc. SPIE 5754 427 (2005)
  451. Heyderman L J et al. Appl. Phys. Lett. 85 4989 (2004)
  452. Solak H H J. Phys. D Appl. Phys. 39 R171 (2006)
  453. de Boor J et al. Opt. Lett. 34 1783 (2009)
  454. Yang Y, Li Q, Wang G P Opt. Express 16 11275 (2008)
  455. Smith H I Physica E 11 104 (2001)
  456. Pati G S J. Vac. Sci. Technol. B 20 2617 (2002)
  457. Rodriguez A et al. Microelectron. Eng. 86 937 (2009)
  458. Britten J A et al. Lawrence Livermore Informal Report UCRL-ID-127161 (1997)
  459. Raub A et al. J. Vac. Sci. Technol. B 25 2224 (2007)
  460. Xia D et al. Adv. Mater. 16 1427 (2004)
  461. Dziomkina N V, Hempenius M A, Vansco G J Adv. Mater. 17 237 (2005)
  462. Choi C-H, Kim C-J Nanotechnology 17 5326 (2006)
  463. Wachulak P W et al. Opt. Express 15 3465 (2007)
  464. Zuppella P et al. Nanotechnology 16 2799 (2005)
  465. Ritucci A et al. J. Appl. Phys. 102 034313 (2007)
  466. Auzelyte V et al. J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 8 (2) 021204 (2009)
  467. Fang H et al. ACS Nano 5 1476 (2011)
  468. Penner R M ACS Nano 5 690 (2011)
  469. Heynes C L, Van Duyne R P J. Phys. Chem. B 105 5599 (2001)
  470. Hulteen J C, Van Duyne R P J. Vac. Sci. Technol. A 13 1553 (1995)
  471. Fischer U C, Zingsheim H P J. Vac. Sci. Technol. 19 881 (1981)
  472. Deckman H W, Dunsmuir J H Appl. Phys. Lett. 41 377 (1982)
  473. Deckman H W, Dunsmuir J H J. Vac. Sci. Technol. B 1 1109 (1983)
  474. Roxio C B, Deckman H W, Ables B Phys. Rev. Lett. 57 2462 (1986)
  475. Deckman H W, Moustakas T D J. Vac. Sci. Technol. B 6 316 (1988)
  476. Deckman H W et al. J. Vac. Sci. Technol. B 6 333 (1988)
  477. Hulteen J C et al. J. Phys. Chem. B 103 3854 (1999)
  478. Haynes C L et al. J. Phys. Chem. B 106 1898 (2002)
  479. Shi J et al. Science 271 937 (1996)
  480. Rugar D et al. J. Appl. Phys. 68 1169 (1990)
  481. Krause F et al. Thin Solid Films 264 141 (1995)
  482. Haynes C L, Van Duyne R P Nano Lett. 3 939 (2003)
  483. Ma W H, Hesse D, Gosele U Small 1 837 (2005)
  484. Wang K et al. Acta Phys. Sinica 57 3862 (2008)
  485. Wang W T et al. Thin Solid Films 517 6050 (2009)
  486. Li Y et al. ACS Appl. Mater. Interfaces 1 2580 (2009)
  487. Ma Y et al. J. Phys. D Appl. Phys. 42 065417 (2009)
  488. Wang K et al. Chin. Phys. Lett. 27 124204 (2010)
  489. Wang K et al. Acta Phys. Sinica 60 034209 (2011)
  490. Lu P et al. Opt. Express 18 13874 (2010)
  491. Chong T C, Hong M H, Shi L P Laser Photon. Rev. 4 123 (2010)
  492. Lin Y et al. Appl. Phys. A 80 461 (2004)
  493. Huang S M J. Vac. Sci. Technol. B 20 1118 (2002)
  494. Huang S M et al. Appl. Phys. A 77 293 (2003)
  495. Huang S M et al. Appl. Phys. Lett. 82 4809 (2003)
  496. Piparia R, Rothe E W, Baird R J Appl. Phys. Lett. 89 223113 (2006)
  497. Lu Y, Chen S C Nanotechnology 14 505 (2003)
  498. Hong M H et al. J. Laser Micro/Nanoengin. 1 65 (2006)
  499. Lu Y F, Theppakuttai S, Chen S C Appl. Phys. Lett. 82 4143 (2003)
  500. Wang Z B et al. J. Appl. Phys. 96 6845 (2004)
  501. Khan A et al. J. Phys. D Appl. Phys. 43 305302 (2010)
  502. Guo W et al. Appl. Phys. Lett. 90 243101 (2007)
  503. Huang S M et al. Appl. Phys. Lett. 86 161911 (2005)
  504. Wang Z B Opt. Express 16 19706 (2008)
  505. Piner R D et al. Science 283 661 (1999)
  506. Salaita K, Wang Y, Mirkin S A Nature Nanotechnol. 2 145 (2007)
  507. Tseng A A, Notargiacomo A, Chen T P J. Vac. Sci. Technol. B 23 877 (2005)
  508. Wu C C et al. Small 7 989 (2011)
  509. Narui Y, Salaita K S Chem. Sci. 3 794 (2012)
  510. Li L et al. CIRP Ann. Manufacturing Technol. 60 735 (2011)
  511. Лозовик Ю Е, Меркулова С П УФН 169 348 (1999); Lozovik Yu E, Merkulova S P Phys. Usp. 42 284 (1999)
  512. Chimmalgi A et al. Appl. Phys. Lett. 82 1146 (2003)
  513. Lu Y F et al. Jpn. J. Appl. Phys. 40 4395 (2001)
  514. Huang S M et al. J. Appl. Phys. 91 3268 (2002)
  515. Wang Z B et al. Appl. Phys. A 89 363 (2007)
  516. Chimmalgi A, Grigoropoulos C P, Komvopoulos K J. Appl. Phys. 97 104319 (2005)
  517. Hong M H et al. Sens. Actuators A 108 69 (2003)
  518. Betzig E et al. Appl. Phys. Lett. 61 142 (1992)
  519. Saiki T, Narita Y Jpn. Soc. Appl. Phys. Int. 5 22 (2002)
  520. Осадько И С УФН 180 83 (2010); Osad'ko I S Phys. Usp. 53 77 (2010)
  521. Sun S, Leggett G J Nano Lett. 4 1381 (2004)
  522. Korte F et al. Appl. Phys. A 69 S7 (1999)
  523. Lieberman K et al. J. Microsc. 194 537 (1999)
  524. Lin Y et al. Sens. Actuators A 133 311 (2007)
  525. Tarun A et al. Appl. Phys. Lett. 80 3400 (2002)
  526. Riehn R et al. Appl. Phys. Lett. 82 526 (2003)
  527. Lin Y et al. Appl. Phys. A 80 461 (2005)
  528. Soni A, Sundaram V M, Wen S B J. Phys D Appl. Phys. 43 145301 (2010)
  529. DuBay N M et al. Opt. Express 16 2584 (2008)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение