81.16.Nd Micro- and nanolithography
-
П.А. Мажаров, В.Г. Дудников, А.Б. Толстогузов «Электрогидродинамические источники ионных пучков» 190 1293–1333 (2020)
29.25.Ni, 41.75.−i, 81.16.Nd (все)
-
Г.Н. Макаров «Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии» 183 673–718 (2013)
36.40.−c, 42.62.Fi, 61.46.−w, 81.05.ue, 81.07.−b, 81.16.−c, 81.16.Nd (все)
|