Выпуски

 / 

2013

 / 

Июль

  

Обзоры актуальных проблем


Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии


Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация

Существенное отличие фундаментальных свойств наночастиц и наноматериалов от свойств отдельных составляющих их атомов или молекул и свойств макроскопического вещества обусловливает громадный научный и практический интерес к наночастицам и ансамблям (функциональным материалам) на их основе. В последние примерно 20 лет наблюдается бурное развитие исследований с наночастицами. Значительный прогресс в науке о наночастицах и нанотехнологии достигнут благодаря применению лазеров. Представлен обзор направлений и результатов исследований в области лазерной нанотехнологии. Обсуждаются параметры, свойства, применение, физические и химические методы получения и исследования наночастиц. Подробно рассмотрены получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии. а также физические основы и принципы указанных методов. Показано, что с помощью лазерного излучения можно получать, плавить и испарять наночастицы, изменять их форму, структуру, размер и распределение по размерам, изучать их динамику, создавать периодические массивы, а также различные структуры и ансамбли из наночастиц. Кратко рассматриваются история развития исследований с наночастицами и наноматериалами и применение методов лазерной нанотехнологии в различных областях.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
English fulltext is available at IOP
PACS: 36.40.−c, 42.62.Fi, 61.46.−w, 81.05.ue, 81.07.−b, 81.16.−c, 81.16.Nd (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0183.201307a.0673
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2013/7/a/
Цитата: Макаров Г Н "Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии" УФН 183 673–718 (2013)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 25 июля 2012, доработана: 17 января 2013, 22 января 2013

English citation: Makarov G N “Laser applications in nanotechnology: nanofabrication using laser ablation and laser nanolithographyPhys. Usp. 56 643–682 (2013); DOI: 10.3367/UFNe.0183.201307a.0673

Список литературы (529) Статьи, ссылающиеся на эту (61) Похожие статьи (20) ↓

  1. Г.Н. Макаров «Лазерная ИК-фрагментация молекулярных кластеров: роль каналов ввода и релаксации энергии, влияние окружения, динамика фрагментации» 187 241–276 (2017)
  2. Г.Н. Макаров «Экспериментальные методы определения температуры и теплоты плавления кластеров и наночастиц» 180 185–207 (2010)
  3. Г.Н. Макаров «Кинетические методы определения температуры кластеров и наночастиц в молекулярных пучках» 181 365–387 (2011)
  4. Г.Н. Макаров «Управление параметрами и составом молекулярных и кластерных пучков с помощью инфракрасных лазеров» 188 689–719 (2018)
  5. П.Б. Сорокин, Л.А. Чернозатонский «Полупроводниковые наноструктуры на основе графена» 183 113–132 (2013)
  6. Г.Н. Макаров «Спектроскопия кластеров интенсивными импульсами вакуумного ультрафиолетового излучения лазеров на свободных электронах» 179 487–516 (2009)
  7. А.В. Елецкий, И.М. Искандарова и др. «Графен: методы получения и теплофизические свойства» 181 233–268 (2011)
  8. Г.Н. Макаров «Экстремальные процессы в кластерах при столкновении с твердой поверхностью» 176 121–174 (2006)
  9. С.И. Анисимов, Б.С. Лукьянчук «Избранные задачи теории лазерной абляции» 172 301–333 (2002)
  10. Г.Н. Макаров «Низкоэнергетические методы молекулярного лазерного разделения изотопов» 185 717–751 (2015)
  11. А.А. Ионин, С.И. Кудряшов, А.А. Самохин «Абляция поверхности материалов под действием ультракоротких лазерных импульсов» 187 159–172 (2017)
  12. Г.Н. Макаров «Кластерная температура. Методы ее измерения и стабилизации» 178 337–376 (2008)
  13. А.В. Елецкий «Сорбционные свойства углеродных наноструктур» 174 1191–1231 (2004)
  14. А.В. Елецкий «Углеродные нанотрубки и их эмиссионные свойства» 172 401–438 (2002)
  15. П.В. Ратников, А.П. Силин «Двумерная графеновая электроника: современное состояние и перспективы» 188 1249–1287 (2018)
  16. А.В. Елецкий «Эндоэдральные структуры» 170 113–142 (2000)
  17. М.В. Харламова «Электронные свойства одностенных углеродных нанотрубок и их производных» 183 1145–1174 (2013)
  18. Б.М. Смирнов «Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе» 181 713–745 (2011)
  19. Г.Н. Макаров «О возможности селекции молекул, внедренных в нанокапельки (кластеры) сверхтекучего гелия» 176 1155–1176 (2006)
  20. А.В. Елецкий «Холодные полевые эмиттеры на основе углеродных нанотрубок» 180 897–930 (2010)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение