RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2012

 / 

Июль

←  →

Приборы и методы исследований


Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов

, , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2–60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (1020 — 1023 Вт см−2) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.

Текст pdf (2,3 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727
PACS: 41.50.+h, 42.79.−e, 95.55.Ka (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201207c.0727
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/7/c/
000309960400003
2-s2.0-84867566149
Цитата: Барышева М М, Пестов А Е, Салащенко Н Н, Торопов М Н, Чхало Н И "Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов" УФН 182 727–747 (2012)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 27 июня 2011, 17 августа 2011

English citation: Barysheva M M, Pestov A E, Salashchenko N N, Toropov M N, Chkhalo N I “Precision imaging multilayer optics for soft X-rays and extreme ultraviolet bands” Phys. Usp. 55 681–699 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727

Список литературы (126) Статьи, ссылающиеся на эту (53) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Lider V V Opt. Spectrosc. 131 1016 (2023)
  2. Guseva V E, Nechay A N et al Opt. Spectrosc. 131 391 (2023)
  3. Polkovnikov V N, Shaposhnikov R A et al Opt. Express 30 19332 (2022)
  4. Toropov M, Chkhalo N et al Opt. Lett. 47 3459 (2022)
  5. Mazuritskiy M I, Kozakov A T et al Surfaces and Interfaces 33 102258 (2022)
  6. Romashevskiy S A, Khokhlov V A et al Jetp Lett. 113 308 (2021)
  7. Khokhlov V A, Ashitkov S I et al J. Phys.: Conf. Ser. 1787 012022 (2021)
  8. Nechay A N, Perekalov A A et al Opt. Spectrosc. 129 185 (2021)
  9. Polkovnikov V N, Salashchenko N N et al Phys.-Usp. 63 83 (2020)
  10. Chkhalo N I, Malyshev I V et al Phys.-Usp. 63 67 (2020)
  11. Wang Ch, Zhang T, Wang W Applied Sciences 10 4621 (2020)
  12. Kuzin S V, Reva A A et al Tech. Phys. 65 1736 (2020)
  13. Sáenz-Trevizo A, Hodge A M Nanotechnology 31 292002 (2020)
  14. Mikhaylenko M S, Pestov A E et al J. Synch. Investig. 13 182 (2019)
  15. Akhsakhalyan A A, Gavrilin D A et al Tech. Phys. 64 1698 (2019)
  16. Ivanova E P Opt. Spectrosc. 127 69 (2019)
  17. Nechay A N, Perekalov A A et al J. Synch. Investig. 13 862 (2019)
  18. Chkhalo N I, Salashchenko N N Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 83 105 (2019)
  19. Lider V V Успехи физических наук 189 1137 (2019) [Lider V V Phys.-Usp. 62 1063 (2019)]
  20. Barysheva M M, Chkhalo N I et al XST 27 857 (2019)
  21. Garakhin S A, Polkovnikov V N, Chkhalo N I J. Synch. Investig. 13 173 (2019)
  22. Qi R, Huang Q et al Materials 12 2936 (2019)
  23. Akhsakhalyan A A, Vainer Yu A et al J. Synch. Investig. 13 1 (2019)
  24. Vishnyakov E A, Kopylets I A et al Unconventional Optical Imaging, (2018) p. 94
  25. Chkhalo N I, Kirsanov A V et al Appl. Opt. 57 6911 (2018)
  26. Drozdov M N, Drozdov Y N et al Thin Solid Films 661 65 (2018)
  27. Chkhalo N I, Malyshev I V et al J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4 1 (2018)
  28. Goponov Yu A, Shatokhin R A et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment 885 134 (2018)
  29. Chkhalo N I, Kaskov I A et al Precision Engineering 48 338 (2017)
  30. Chkhalo N I, Mikhailenko M S et al Surface and Coatings Technology 311 351 (2017)
  31. Huang Q, Medvedev V et al 4 (1) (2017)
  32. Malyshev I V, Chkhalo N I et al Journal of Modern Optics 64 413 (2017)
  33. Garbaruk A V, Gritskevich M S et al J. Phys. D: Appl. Phys. 50 025201 (2017)
  34. Akhsakhalyan A D, Kluenkov E B et al J. Synch. Investig. 11 1 (2017)
  35. (EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V) Vol. EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V High-aperture monochromator-reflectometer and its usefulness for CCD calibration RenéHudecLadislavPinaEugene A.VishnyakovAlexander V.ShcherbakovAndrei A.PertsovVladimir N.PolkovnikovAlexey E.PestovDmitry E.ParievNikolai I.Chkhalo10235 (2017) p. 102350W
  36. Huang Q, Fei J et al Opt. Lett. 41 701 (2016)
  37. Chkhalo N I, Churin S A et al Appl. Opt. 55 1249 (2016)
  38. (Space Telescopes and Instrumentation 2016: Ultraviolet to Gamma Ray) Vol. Space Telescopes and Instrumentation 2016: Ultraviolet to Gamma Ray Spectral calibration of CCDs and multilayer filters intended for future space applications Jan-Willem A.den HerderTadayukiTakahashiMarshallBautzEugene A.VishnyakovAlexey S.KirichenkoAnton A.RevaArtem A.RizvanovJurii A.PlastininSergei V.Kuzin9905 (2016) p. 99053B
  39. Brychikhin M N, Chkhalo N I et al Appl. Opt. 55 4430 (2016)
  40. Bogachev S A, Chkhalo N I et al Appl. Opt. 55 2126 (2016)
  41. Chkhalo N I, Malyshev I V et al Appl. Opt. 55 619 (2016)
  42. Akhsakhalyan A A, Akhsakhalyan A D et al J. Synch. Investig. 9 741 (2015)
  43. Drozdov M N, Drozdov Y N et al Thin Solid Films 577 11 (2015)
  44. Shevelev M, Konkov A, Aryshev A Phys. Rev. A 92 (5) (2015)
  45. Dogadin V O, Zuev S Yu et al J. Synch. Investig. 9 726 (2015)
  46. Pirozhkov A S, Ragozin E N Успехи физических наук 185 1203 (2015) [Pirozhkov A S, Ragozin E N Phys.-Usp. 58 1095 (2015)]
  47. Chkhalo N I, Pestov A E et al 86 (6) (2015)
  48. Akhsakhalyan A A, Akhsakhalyan A D et al J. Synch. Investig. 9 771 (2015)
  49. Chkhalo N I, Churin S A et al Opt. Express 22 20094 (2014)
  50. Vainer Yu A, Zorina M V et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 78 57 (2014)
  51. Zabrodskii V V, Zadiranov Yu M et al Tech. Phys. Lett. 40 648 (2014)
  52. Barysheva M M, Vainer Yu A et al Tech. Phys. 58 1371 (2013)
  53. Vishnyakov E A, Voronov D L et al Quantum Electron. 43 666 (2013)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение