RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2012

 / 

Июль

←  →

Приборы и методы исследований


Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов

, , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2–60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (1020 — 1023 Вт см−2) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.

Текст pdf (2,3 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727
PACS: 41.50.+h, 42.79.−e, 95.55.Ka (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201207c.0727
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/7/c/
000309960400003
2-s2.0-84867566149
Цитата: Барышева М М, Пестов А Е, Салащенко Н Н, Торопов М Н, Чхало Н И "Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов" УФН 182 727–747 (2012)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 27 июня 2011, 17 августа 2011

English citation: Barysheva M M, Pestov A E, Salashchenko N N, Toropov M N, Chkhalo N I “Precision imaging multilayer optics for soft X-rays and extreme ultraviolet bands” Phys. Usp. 55 681–699 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727

Список литературы (126) Статьи, ссылающиеся на эту (55) Похожие статьи (20) ↓

  1. А.С. Пирожков, Е.Н. Рагозин «Апериодические многослойные структуры в оптике мягкого рентгеновского излучения» УФН 185 1203–1214 (2015)
  2. В.В. Лидер «Рентгеновская микроскопия» УФН 187 201–219 (2017)
  3. В.В. Лидер «Рентгеновская флуоресцентная визуализация» УФН 188 1081–1102 (2018)
  4. А.С. Бугаев, П.А. Ерошкин и др. «Маломощные рентгеновские трубки (современное состояние)» УФН 183 727–740 (2013)
  5. И.Б. Боровский, Р.В. Ведринский и др. «EXAFS-спектроскопия — новый метод структурных исследований» УФН 149 275–324 (1986)
  6. Е.Г. Бессонов, А.В. Виноградов «Ондуляторные и лазерные источники мягкого рентгеновского излучения» УФН 159 143–154 (1989)
  7. В.В. Лидер «Рентгеновские интерферометры Тальбота и Тальбота—Лау» УФН 193 1047–1070 (2023)
  8. В.В. Лидер «Рентгеновские кристаллические интерферометры» УФН 184 1217–1236 (2014)
  9. В.Ю. Хомич, В.А. Шмаков «Крупногабаритные зеркала в силовой оптике» УФН 189 263–270 (2019)
  10. Е.Н. Рагозин, Е.А. Вишняков и др. «Спектрометры для мягкого рентгеновского диапазона на основе апериодических отражательных решёток и их применение» УФН 191 522–542 (2021)
  11. В.М. Петров, П.М. Агрузов и др. «Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития» УФН 191 760–780 (2021)
  12. И.Ю. Ерёмчев, Д.В. Прокопова и др. «Трёхмерная флуоресцентная наноскопия одиночных квантовых излучателей на основе оптики спиральных пучков света» УФН 192 663–673 (2022)
  13. В.В. Лидер «Рентгеновская рефракционная интроскопия» УФН 194 345–359 (2024)
  14. А.И. Проценко, А.Е. Благов и др. «Реализация метода QEXAFS с использованием адаптивных элементов рентгеновской оптики» УФН 191 88–92 (2021)
  15. Д.В. Казанцев, Е.А. Казанцева «Безапертурная ближнепольная микроскопия упругого рассеяния света» УФН 194 630–673 (2024)
  16. В.А. Беляков, В.Е. Дмитриенко «Поляризационные явления в рентгеновской оптике» УФН 158 679–721 (1989)
  17. В.А. Аркадьев, А.И. Коломийцев и др. «Широкополосная рентгеновская оптика с большой угловой апертурой» УФН 157 529–537 (1989)
  18. И.С. Осадько «Микроскоп ближнего поля как инструмент для исследования наночастиц» УФН 180 83–87 (2010)
  19. А.Д. Погребняк, А.Г. Пономарев и др. «Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов» УФН 182 287–321 (2012)
  20. А.Б. Медведев, Р.Ф. Трунин «Ударное сжатие пористых металлов и силикатов» УФН 182 829–846 (2012)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение