RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2012

 / 

Июль

←  →

Приборы и методы исследований


Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов

, , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2–60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (1020 — 1023 Вт см−2) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.

Текст pdf (2,3 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727
PACS: 41.50.+h, 42.79.−e, 95.55.Ka (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201207c.0727
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/7/c/
000309960400003
2-s2.0-84867566149
Цитата: Барышева М М, Пестов А Е, Салащенко Н Н, Торопов М Н, Чхало Н И "Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов" УФН 182 727–747 (2012)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 27 июня 2011, 17 августа 2011

English citation: Barysheva M M, Pestov A E, Salashchenko N N, Toropov M N, Chkhalo N I “Precision imaging multilayer optics for soft X-rays and extreme ultraviolet bands” Phys. Usp. 55 681–699 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727

Список литературы (126) Статьи, ссылающиеся на эту (53) Похожие статьи (20) ↓

  1. А.С. Пирожков, Е.Н. Рагозин «Апериодические многослойные структуры в оптике мягкого рентгеновского излучения» 185 1203–1214 (2015)
  2. В.В. Лидер «Рентгеновская микроскопия» 187 201–219 (2017)
  3. В.В. Лидер «Рентгеновская флуоресцентная визуализация» 188 1081–1102 (2018)
  4. А.С. Бугаев, П.А. Ерошкин и др. «Маломощные рентгеновские трубки (современное состояние)» 183 727–740 (2013)
  5. И.Б. Боровский, Р.В. Ведринский и др. «EXAFS-спектроскопия — новый метод структурных исследований» 149 275–324 (1986)
  6. В.В. Лидер «Рентгеновские интерферометры Тальбота и Тальбота—Лау» 193 1047–1070 (2023)
  7. В.В. Лидер «Рентгеновские кристаллические интерферометры» 184 1217–1236 (2014)
  8. В.Ю. Хомич, В.А. Шмаков «Крупногабаритные зеркала в силовой оптике» 189 263–270 (2019)
  9. В.М. Петров, П.М. Агрузов и др. «Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития» 191 760–780 (2021)
  10. Е.Н. Рагозин, Е.А. Вишняков и др. «Спектрометры для мягкого рентгеновского диапазона на основе апериодических отражательных решёток и их применение» 191 522–542 (2021)
  11. И.Ю. Ерёмчев, Д.В. Прокопова и др. «Трёхмерная флуоресцентная наноскопия одиночных квантовых излучателей на основе оптики спиральных пучков света» 192 663–673 (2022)
  12. А.И. Проценко, А.Е. Благов и др. «Реализация метода QEXAFS с использованием адаптивных элементов рентгеновской оптики» 191 88–92 (2021)
  13. В.А. Беляков, В.Е. Дмитриенко «Поляризационные явления в рентгеновской оптике» 158 679–721 (1989)
  14. В.А. Аркадьев, А.И. Коломийцев и др. «Широкополосная рентгеновская оптика с большой угловой апертурой» 157 529–537 (1989)
  15. В.В. Лидер «Рентгеновская рефракционная интроскопия» 194 345–359 (2024)
  16. И.С. Осадько «Микроскоп ближнего поля как инструмент для исследования наночастиц» 180 83–87 (2010)
  17. А.Д. Погребняк, А.Г. Пономарев и др. «Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов» 182 287–321 (2012)
  18. А.Б. Медведев, Р.Ф. Трунин «Ударное сжатие пористых металлов и силикатов» 182 829–846 (2012)
  19. А.Е. Дубинов, Л.А. Мытарева «Маскировка материальных тел методом волнового обтекания» 180 475–501 (2010)
  20. А.А. Каминский, Л. Богати и др. «Новые нелинейно-лазерные эффекты в α-кварце: генерация двухоктавной гребенки стоксовых и антистоксовых частот и каскадный лазинг в спектральной области второй и третьей гармоник» 178 935–946 (2008)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение