Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2–60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (10²⁰ — 10²³ Вт см⁻²) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.

PACS: 41.50.+h, 42.79.−e, 95.55.Ka (все) DOI: 10.3367/UFNr.0182.201207c.0727 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/7/c/ 000309960400003 2-s2.0-84867566149 Цитата: Барышева М М, Пестов А Е, Салащенко Н Н, Торопов М Н, Чхало Н И "Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов" УФН 182 727–747 (2012) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов A1 Барышева,М.М. A1 Пестов,А.Е. A1 Салащенко,Н.Н. A1 Торопов,М.Н. A1 Чхало,Н.И. PB Успехи физических наук PY 2012 FD 10 Jul, 2012 JF Успехи физических наук JO Усп. физ. наук VO 182 IS 7 SP 727-747 DO 10.3367/UFNr.0182.201207c.0727 LK https://ufn.ru/ru/articles/2012/7/c/ Поступила: 27 июня 2011, одобрена в печать: 17 августа 2011 English citation: Barysheva M M, Pestov A E, Salashchenko N N, Toropov M N, Chkhalo N I “Precision imaging multilayer optics for soft X-rays and extreme ultraviolet bands” Phys. Usp. 55 681–699 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727