RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2009

 / 

сентябрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид


Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

В настоящем обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении границ раздела кремний/диэлектрик (Si/SiO2, Si/SiOxNy) и диэлектрик/диэлектрик (Si3N4/SiO2) в структурах, которые являются основой кремниевых приборов.

Текст pdf (1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200909a.0921
PACS: 61.43.−j, 61.66.Fn, 68.35.Dv, 71.55.Jv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200909a.0921
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/9/a/
000274047000001
2-s2.0-76149089186
2009PhyU...52..869G
Цитата: Гриценко В А "Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид" УФН 179 921–930 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gritsenko V A “Structure of silicon/oxide and nitride/oxide interfaces” Phys. Usp. 52 869–877 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200909a.0921

Список литературы (43) Статьи, ссылающиеся на эту (30) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.А. Гриценко «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» УФН 178 727–737 (2008)
  2. Т.В. Перевалов, В.А. Гриценко «Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью» УФН 180 587–603 (2010)
  3. В.А. Гриценко «Горячие электроны в оксиде кремния» УФН 187 971–979 (2017)
  4. И.М. Лифшиц «О структуре энергетического спектра и квантовых состояниях неупорядоченных конденсированных систем» УФН 83 617–663 (1964)
  5. А.И. Гусев «Нестехиометрия и сверхструктуры» УФН 184 905–945 (2014)
  6. И.В. Кукушкин, С.В. Мешков, В.Б. Тимофеев «Плотность состояний двумерных электронов в поперечном магнитном поле» УФН 155 219–264 (1988)
  7. В.Т. Долгополов «Двумерная система сильновзаимодействующих электронов в кремниевых (100) структурах» УФН 189 673–690 (2019)
  8. М.П. Тонконогов «Диэлектрическая спектроскопия кристаллов с водородными связями. Протонная релаксация» УФН 168 29–54 (1998)
  9. В.Л. Кузьмин, В.П. Романов «Когерентные эффекты при рассеянии света в неупорядоченных системах» УФН 166 247–278 (1996)
  10. В.П. Будаев «Стохастическая кластеризация поверхности при интенсивном взаимодействии плазмы с материалами» УФН 196 899–937 (2026)
  11. Л.Н. Демьянец «Высокотемпературные сверхпроводники: получение монокристаллов» УФН 161 (1) 71–142 (1991)
  12. Л.В. Спивак «Синергические эффекты деформационного отклика в термодинамически открытых системах металл – водород» УФН 178 897–922 (2008)
  13. Д.К. Белащенко «Механизмы диффузии в неупорядоченных системах (компьютерное моделирование)» УФН 169 361–384 (1999)
  14. Н.П. Кобелев, В.А. Хоник «Новые представления о природе образования металлических стёкол, их структурной релаксации и кристаллизации» УФН 193 717–736 (2023)
  15. Б.А. Клумов «Универсальные структурные свойства трёхмерных и двумерных расплавов» УФН 193 305–330 (2023)
  16. А.И. Головашкин «Высокотемпературные сверхпроводящие керамики (обзор экспериментальных данных)» УФН 152 553–573 (1987)
  17. В.А. Кизель, Ю.И. Красилов, В.И. Бурков «Экспериментальные исследования гиротропии кристаллов» УФН 114 295–349 (1974)
  18. А.И. Гусев «Ближний порядок и диффузное рассеяние в нестехиометрических соединениях» УФН 176 717–743 (2006)
  19. Л.А. Головань, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров «Оптические свойства нанокомпозитов на основе пористых систем» УФН 177 619–638 (2007)
  20. А.И. Гусев, С.З. Назарова «Магнитная восприимчивость нестехиометрических соединений переходных d-металлов» УФН 175 681–704 (2005)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение