RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2009

 / 

Сентябрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид


Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

В настоящем обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении границ раздела кремний/диэлектрик (Si/SiO2, Si/SiOxNy) и диэлектрик/диэлектрик (Si3N4/SiO2) в структурах, которые являются основой кремниевых приборов.

Текст pdf (1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200909a.0921
PACS: 61.43.−j, 61.66.Fn, 68.35.Dv, 71.55.Jv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200909a.0921
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/9/a/
000274047000001
2-s2.0-76149089186
2009PhyU...52..869G
Цитата: Гриценко В А "Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид" УФН 179 921–930 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gritsenko V A “Structure of silicon/oxide and nitride/oxide interfaces” Phys. Usp. 52 869–877 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200909a.0921

Список литературы (43) Статьи, ссылающиеся на эту (26) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.А. Гриценко «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» УФН 178 727–737 (2008)
  2. В.А. Гриценко «Горячие электроны в оксиде кремния» УФН 187 971–979 (2017)
  3. Т.В. Перевалов, В.А. Гриценко «Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью» УФН 180 587–603 (2010)
  4. И.М. Лифшиц «О структуре энергетического спектра и квантовых состояниях неупорядоченных конденсированных систем» УФН 83 617–663 (1964)
  5. А.И. Гусев «Нестехиометрия и сверхструктуры» УФН 184 905–945 (2014)
  6. Л.Н. Демьянец «Высокотемпературные сверхпроводники: получение монокристаллов» УФН 161 (1) 71–142 (1991)
  7. В.А. Кизель, Ю.И. Красилов, В.И. Бурков «Экспериментальные исследования гиротропии кристаллов» УФН 114 295–349 (1974)
  8. А.И. Гусев «Ближний порядок и диффузное рассеяние в нестехиометрических соединениях» УФН 176 717–743 (2006)
  9. Р.А. Андриевский «Тугоплавкие соединения: новые подходы и результаты» УФН 187 296–310 (2017)
  10. Г.В. Козлов, В.У. Новиков «Кластерная модель аморфного состояния полимеров» УФН 171 717–764 (2001)
  11. Б.А. Клумов «Универсальные структурные свойства трёхмерных и двумерных расплавов» УФН 193 305–330 (2023)
  12. В.Т. Долгополов «Двумерная система сильновзаимодействующих электронов в кремниевых (100) структурах» УФН 189 673–690 (2019)
  13. Л.В. Спивак «Синергические эффекты деформационного отклика в термодинамически открытых системах металл-водород» УФН 178 897–922 (2008)
  14. Ю.М. Романовский, А.Н. Тихонов «Молекулярные преобразователи энергии живой клетки. Протонная АТФ-синтаза — вращающийся молекулярный мотор» УФН 180 931–956 (2010)
  15. А.И. Гусев, С.З. Назарова «Магнитная восприимчивость нестехиометрических соединений переходных d-металлов» УФН 175 681–704 (2005)
  16. Р. Фольк, Ю. Головач, Т. Яворский «Критические показатели трехмерной слабо разбавленной замороженной модели Изинга» УФН 173 175–200 (2003)
  17. В.В. Бражкин, А.Г. Ляпин «Универсальный рост вязкости металлических расплавов в мегабарном диапазоне давлений: стеклообразное состояние внутреннего ядра Земли» УФН 170 535–551 (2000)
  18. Д.К. Белащенко «Механизмы диффузии в неупорядоченных системах (компьютерное моделирование)» УФН 169 361–384 (1999)
  19. А.И. Гусев «Высокоэнергетический размол нестехиометрических соединений» УФН 190 371–395 (2020)
  20. М.П. Тонконогов «Диэлектрическая спектроскопия кристаллов с водородными связями. Протонная релаксация» УФН 168 29–54 (1998)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение