|
||||||||||||||||||
Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовленияБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, ул. П. Бровки 6, Минск, 220013, Беларусь Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.
|
||||||||||||||||||
|