RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2009

 / 

Март

←  →

Из текущей литературы


Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления


Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, ул. П. Бровки 6, Минск, 220013, Беларусь

Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

Текст pdf (738 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243
PACS: 73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/
000267730600002
2-s2.0-68249146273
2009PhyU...52..225V
Цитата: Воробьева А И "Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления" УФН 179 243–253 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Vorob’eva A I “Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes” Phys. Usp. 52 225–234 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243

Список литературы (53) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (4) Похожие статьи (2)

  1. Li J et al. Appl. Phys. Lett. 75 367 (1999)
  2. Елецкий А В УФН 172 401 (2002); Eletskii A V Phys. Usp. 45 369 (2002)
  3. Jung H Y et al. Appl. Phys. Lett. 90 153114 (2007)
  4. Kim S J Письма в ЖТФ 31 (14) 34 (2005); Kim S J Tech. Phys. Lett. 31 597 (2005)
  5. Новиков Ю А, Раков А В, Тодуа П А Труды ИОФАН им. А.М. Прохорова 62 3 (2006)
  6. Endo M et al. Carbon 33 873 (1995)
  7. Sinnott S B et al. Chem. Phys. Lett. 315 25 (1999)
  8. Helveg S et al. Nature 427 426 (2004)
  9. Meyyapan M in Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology Vol. 1 (Ed. H S Nalwa) (Stevenson Ranch, Calif.: Am. Sci. Publ., 2004) p. 581
  10. Левашов Е А и др. в сб. Трудов Второй Всеросс. конф. по наноматериалам "НАНО 2007" (Новосибирск, 2007) с. 335
  11. Zhu W G, Kaxiras E Appl. Phys. Lett. 89 243107 (2006)
  12. McEuen P L, Fuhrer M S, Hongkun P IEEE Trans. Nanotechnol. 1 (1) 78 (2002)
  13. Ebbesen T W et al. Nature 382 54 (1996)
  14. Dresselhaus M S, Dresselhaus G, Avouris Ph (Eds) Carbon Nanotubes (Berlin: Springer, 2001)
  15. Wei B Q et al. Appl. Phys. Lett. 79 1172 (2001)
  16. Hashishin T, Tono Y, Tanaki J Jpn. J. Appl. Phys. 45 333 (2006)
  17. Jang W Y et al. Appl. Phys. Lett. 84 1177 (2004)
  18. Anantram M P, Datta S, Xue Y Phys. Rev. B 61 14219 (2000)
  19. Mingo N, Han J Phys. Rev. B 64 201401 (2001)
  20. Nihei M et al. Jpn. J. Appl. Phys. 43 1856 (2004)
  21. Li J et al. Appl. Phys. Lett. 82 2491 (2003)
  22. Rosen R et al. Appl. Phys. Lett. 76 1668 (2000)
  23. Lee R S et al. Nature 388 255 (1997)
  24. Kociak M et al. Phys. Rev. Lett. 86 2416 (2001)
  25. Tang Z K et al. Science 292 2462 (2001)
  26. Takesue I et al. Phys. Rev. Lett. 96 057001 (2006)
  27. Stampfer C et al. Nano Lett. 6 233 (2006)
  28. Dujardin E Appl. Phys. Lett. 87 193107 (2005)
  29. Bauerdick S et al. J. Vacuum Sci. Technol B 24 3144 (2006)
  30. Zhang Y et al. J. Phys. D 39 4878 (2006)
  31. Huang B R et al. J. Appl. Phys. 17 88 (2001)
  32. Won Bong Choi et al. in Carbon Nanotube for Nanoelectronics: Intern. Conf. IEEE-Nano 2003, August 12 - 14, San Francisco, CA, 2003
  33. Lee J-O et al. J. Phys. D 33 1953 (2000)
  34. Kawano T et al. Appl. Phys. Lett. 89 163510 (2006)
  35. Xing Y J et al. Appl. Phys. Lett. 87 263117 (2005)
  36. Erts D et al. J. Phys. Chem. B 110 820 (2006)
  37. Dohn S, Mølhave K, Bøggild P Sensor Lett. 3 300 (2005)
  38. Тарасов М и др. Письма в ЖЭТФ 84 325 (2006); Tarasov M et al. JETP Lett. 84 267 (2006)
  39. Naeemi A, Sarvari R, Meindl J D IEEE Electron Dev. Lett. 26 84 (2005)
  40. White C T, Todorov T N Nature 393 240 (1998)
  41. Nihei M et al. in Proc. IEEE Int. Interconnect Tech. Conf., 2005, Burlingame, CA p. 234
  42. Hjortstam O et al. Appl. Phys. A 78 1175 (2004)
  43. Jun L, Meyya M "Carbon nanotube interconnect" US Patent 7094679 (2006)
  44. Gstrein F et al. "Carbon nanotube interconnect contacts" US Patent 20060281306 (2006)
  45. Пустовалов К Новости науки и технологий (1(4)) (2006)
  46. Srivastava N, Banerjee K Proc. of the 21st Inter. VLSI Multilevel Interconnect Conf. (VMIC), Sept. 29 - Oct. 2 (Waikoloa, HI, 2004) p. 393
  47. Kreupl F et al. Microelectron. Eng. 64 399 (2002)
  48. Graham A P et al. Diamond Relat. Mater. 13 1296 (2004)
  49. Meyyappan M et al. Plasma Sources Sci. Technol. 12 205 (2003)
  50. Воробьева А И, Прудникова Е Л, Шулицкий Б Г Нано- и микросистемная техника (9) 39 (2007)
  51. Wong V T S, Li W J ISCAS (IEEE Int. Symp. Circuits Systems) 4 844 (2003)
  52. Wei B Q, Vajtai R, Ajayan P M Appl. Phys. Lett. 79 1172 (2001)
  53. Naeemi A, Sarvari R, Meindl J D in Proc. IEEE Int. Interconnect Tech. Conf. San Diego, California, 2006 p. 201
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение