Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

PACS: 73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ 000267730600002 2-s2.0-68249146273 2009PhyU...52..225V Цитата: Воробьева А И "Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления" УФН 179 243–253 (2009) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS) MedlineRefWorks Русский English PT Journal Article TI Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления AU Воробьева А И FAU Воробьева АИ DP 10 Mar, 2009 TA Усп. физ. наук VI 179 IP 3 PG 243-253 RX 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 URL https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ SO Усп. физ. наук 2009 Mar 10;179(3):243-253 English citation: Vorob’eva A I “Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes” Phys. Usp. 52 225–234 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243