Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

PACS: 73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ 000267730600002 2-s2.0-68249146273 2009PhyU...52..225V Цитата: Воробьева А И "Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления" УФН 179 243–253 (2009) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления AU Воробьева, А. И. PB Успехи физических наук PY 2009 JO Успехи физических наук JF Успехи физических наук JA Усп. физ. наук VL 179 IS 3 SP 243-253 UR https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 English citation: Vorob’eva A I “Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes” Phys. Usp. 52 225–234 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243