Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления

Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

Текст pdf (738 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243

PACS: 73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/
Web of Science

000267730600002
Scopus

2-s2.0-68249146273
ADS NASA

2009PhyU...52..225V
Цитата: Воробьева А И "Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления" УФН 179 243–253 (2009)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Vorob'eva:2009,
	author = {А. И. Воробьева},
	title = {Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {2009},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {179},
	number = {3},
	pages = {243-253},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/},
	doi = {10.3367/UFNr.0179.200903b.0243}
}

English citation: Vorob’eva A I “Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes” Phys. Usp. 52 225–234 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243