Выпуски

 / 

2009

 / 

Февраль

  

Приборы и методы исследований


Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов

,
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», пл. акад. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

Текст pdf (1,1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179
PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/
000267067000003
2-s2.0-68249138511
2009PhyU...52..165G
Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atomsPhys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179

Список литературы (24) Статьи, ссылающиеся на эту (22) Похожие статьи (11) ↓

  1. Б.А. Гурович, Д.И. Долгий и др. «Управляемая трансформация электрических, магнитных и оптических свойств материалов ионными пучками» 171 105–117 (2001)
  2. Г.В. Мурастов, А.А. Липовка и др. «Лазерное восстановление оксида графена: локальное управление свойствами материала» 193 1173–1204 (2023)
  3. Я.С. Гринберг, Ю.А. Пашкин, Е.В. Ильичёв «Наномеханические резонаторы» 182 407–436 (2012)
  4. В.И. Крауз, Ю.В. Мартыненко и др. «Наноструктуры в установках управляемого термоядерного синтеза» 180 1055–1080 (2010)
  5. И.В. Антонова «Современные тенденции развития технологий выращивания графена методом химического осаждения паров на медных подложках» 183 1115–1122 (2013)
  6. В.Г. Курт, Е.Н. Миронова «Методы исследования локальной межзвёздной среды» 183 963–972 (2013)
  7. А.Д. Погребняк, А.А. Багдасарян и др. «Многокомпонентные нанокомпозитные покрытия с адаптивным поведением в поверхностной инженерии» 187 629–652 (2017)
  8. М.А. Проскурнин, В.Р. Хабибуллин и др. «Фототермическая и оптоакустическая спектроскопия: современное состояние и перспективы» 192 294–340 (2022)
  9. В.И. Гвоздев, Г.А. Кузаев и др. «Физические основы моделирования объемных интегральных схем СВЧ и КВЧ» 162 (3) 129–160 (1992)
  10. В.А. Беляков, В.Е. Дмитриенко «Поляризационные явления в рентгеновской оптике» 158 679–721 (1989)
  11. И.Б. Боровский, Р.В. Ведринский и др. «EXAFS-спектроскопия — новый метод структурных исследований» 149 275–324 (1986)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение