Выпуски

 / 

2009

 / 

Февраль

  

Приборы и методы исследований


Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов

,
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», пл. акад. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

Текст pdf (1,1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179
PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/
000267067000003
2-s2.0-68249138511
2009PhyU...52..165G
Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atomsPhys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179

Список литературы (24) Статьи, ссылающиеся на эту (23) Похожие статьи (12) ↓

  1. Б.А. Гурович, Д.И. Долгий и др. «Управляемая трансформация электрических, магнитных и оптических свойств материалов ионными пучками» УФН 171 105–117 (2001)
  2. Я.С. Гринберг, Ю.А. Пашкин, Е.В. Ильичёв «Наномеханические резонаторы» УФН 182 407–436 (2012)
  3. Г.В. Мурастов, А.А. Липовка и др. «Лазерное восстановление оксида графена: локальное управление свойствами материала» УФН 193 1173–1204 (2023)
  4. И.Б. Боровский, Р.В. Ведринский и др. «EXAFS-спектроскопия — новый метод структурных исследований» УФН 149 275–324 (1986)
  5. В.И. Крауз, Ю.В. Мартыненко и др. «Наноструктуры в установках управляемого термоядерного синтеза» УФН 180 1055–1080 (2010)
  6. И.В. Антонова «Современные тенденции развития технологий выращивания графена методом химического осаждения паров на медных подложках» УФН 183 1115–1122 (2013)
  7. В.Г. Курт, Е.Н. Миронова «Методы исследования локальной межзвёздной среды» УФН 183 963–972 (2013)
  8. А.Д. Погребняк, А.А. Багдасарян и др. «Многокомпонентные нанокомпозитные покрытия с адаптивным поведением в поверхностной инженерии» УФН 187 629–652 (2017)
  9. М.А. Проскурнин, В.Р. Хабибуллин и др. «Фототермическая и оптоакустическая спектроскопия: современное состояние и перспективы» УФН 192 294–340 (2022)
  10. В.В. Лидер «Рентгеновская рефракционная интроскопия» УФН 194 345–359 (2024)
  11. В.И. Гвоздев, Г.А. Кузаев и др. «Физические основы моделирования объемных интегральных схем СВЧ и КВЧ» УФН 162 (3) 129–160 (1992)
  12. В.А. Беляков, В.Е. Дмитриенко «Поляризационные явления в рентгеновской оптике» УФН 158 679–721 (1989)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение