Выпуски

 / 

2009

 / 

Февраль

  

Приборы и методы исследований


Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов

,
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», пл. акад. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

Текст pdf (1,1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179
PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/
000267067000003
2-s2.0-68249138511
2009PhyU...52..165G
Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atomsPhys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179

Список литературы (24) Статьи, ссылающиеся на эту (23) ↓ Похожие статьи (12)

  1. Prikhodko K E, Dement’eva M M Tech. Phys. 69 1010 (2024)
  2. Nies C-L, Nolan M J. Phys. Mater. 6 035008 (2023)
  3. Gurovich B A, Goncharov B V et al Phys. Solid State 63 1366 (2021)
  4. Gurovich B A, Prikhod’ko K E et al Phys. Solid State 62 1585 (2020)
  5. Gurovich B A, Goncharov B V et al IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 699 012016 (2019)
  6. Gurovich B A, Prikhodko K E et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 435 224 (2018)
  7. Dementyeva M M, Prikhodko K E et al IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 256 012020 (2017)
  8. Prikhodko K, Gurovich B, Dement’eva M IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 130 012046 (2016)
  9. Gurovich B A, Prihod’ko K E et al Nanotechnol Russia 10 530 (2015)
  10. Prikhodko K E Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 365 207 (2015)
  11. Gurovich B A, Tarkhov M A et al Nanotechnol Russia 9 386 (2014)
  12. Gurovich B A, Prikhod’ko K E et al J. Exp. Theor. Phys. 116 916 (2013)
  13. Gurovich B A, Prikhodko K E et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 307 207 (2013)
  14. Gurovich B A, Prikhod’ko K E et al Nanotechnol Russia 7 93 (2012)
  15. Bogomolov D B, Gorodestkii A E, Alimov V Kh J. Synch. Investig. 6 578 (2012)
  16. Gurovich B A, Prikhod’ko K E et al Nanotechnol Russia 7 28 (2012)
  17. Gurovich B A, Prikhod’ko K E et al 29 (2) (2011)
  18. Blinkin A A, Derevyanko V V et al Phys. Solid State 53 245 (2011)
  19. Gurovich B A, Prikhod’ko K E et al J. Synch. Investig. 5 30 (2011)
  20. Gutorov K M, Vizgalov I V et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 74 188 (2010)
  21. Gurovich B A, Prikhodko K E et al Journal of Magnetism and Magnetic Materials 322 3060 (2010)
  22. Melnichuk I A, Bogunets A A, Starshinov I N J. Synch. Investig. 4 464 (2010)
  23. Gurovich B A, Domantovskii A G, Maslakov K I J. Synch. Investig. 4 722 (2010)

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение