Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/ 000267067000003 2-s2.0-68249138511 2009PhyU...52..165G Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS) MedlineRefWorks Русский English PT Journal Article TI Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов AU Гурович Б А FAU Гурович БА AU Приходько К Е FAU Приходько КЕ DP 10 Feb, 2009 TA Усп. физ. наук VI 179 IP 2 PG 179-195 RX 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179 URL https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/ SO Усп. физ. наук 2009 Feb 10;179(2):179-195 English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atoms” Phys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179