Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов

Б.А. Гурович, К.Е. Приходько
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», пл. акад. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

Текст pdf (1,1 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179

PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/
Web of Science

000267067000003
Scopus

2-s2.0-68249138511
ADS NASA

2009PhyU...52..165G
Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atoms” Phys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179

Список литературы (24) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (23) Похожие статьи (12)

Гурович Б А и др. УФН 171 105 (2001); Gurovich B A et al. Phys. Usp. 44 95 (2001)
Gurovich B A et al. Microelectron. Eng. 69 358 (2003)
Гурович Б А, Домантовский А Г, Маслаков К И, Приходько К Е Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования (10) 67 (2004)
Gurovich B A et al. in Nanostructured Magnetic Materials and Their Applications (Eds B Aktas, L Tagirov, F Mikailov) (Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 2004) p. 13
Гурович Б А, Домантовский А Г, Маслаков К И, Приходько К Е Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования (5) 25 (2008); Gurovich B A, Domantovskii A G, Maslakov K I, Prikhod'ko K E J.Surf. Invest. X-Ray, Synchr. Neutron. Tech. 2 352 (2008)
Gurovich B et al. Proc. SPIE 6260 626005 (2006)
Приходько К Е Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение 3 36 (2002)
Ziegler J F, Biersack J P, Ziegler M D The Stopping and Range of Ions in Matter (Morrisville, NC: Lulu Press Co., 2008); http://www.srim.org
Гурович Б А и др. ФТП 38 1074 (2004); Gurovich B A et al. Semiconductors 38 1036 (2004)
Domantovskii A G, Gurovich B A, Maslakov K I Crystallogr. Rep. 51 (Suppl. 1) S196 (2006)
International Technology RoadMap for Semiconductors. Process Integration, Devices and Structures (2007) p. 6; http://www.itrs.net/Links/2007ITRS/2007_Chapters/2007_PIDS.pdf
Kelly B T Irradiation Damage to Solids (Oxford: Pergamon Press, 1966); Келли Б Радиационное повреждение твердых тел (М.: Атомиздат, 1970)
Джафаров Т Д Радиационно-cтимулированная диффузия в полупроводниках (М.: Энергоатомиздат, 1991)
Akasaka N et al. in Effects of Radiation on Materials: 21st Symp. (ASTM Special Technical Publ., Vol. 1447, Eds M L Grossbeck et al.) (West Conshohocken, PA: ASTM Intern., 2004) p. 516
Смирнов Л С Физические процессы в облученных полупроводниках (Новосибирск: Наука, 1977)
Maury F et al. Radiat. Effects Defects Solids 38 53 (1978)
Gurovich B A Prikhodko K E Radiat. Effects Defects Solids 154 39 (2001)
Приходько К Е, Гурович Б А Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах (4) 34 (2000)
Hren J J, Goldstein J I, Joy D C (Eds) Introduction to Analytical Electron Microscopy (New York: Plenum Press, 1979); Грен Дж, Гольдштейн Дж И, Джой Д К (Ред.) Основы аналитической электронной микроскопии (М.: Металлургия, 1990)
Barnard R S, Ph.D. Thesis (Cleveland, OH: Case Western Reserve Univ., 1977)
Pells G P, Phillips D C UKAEA Res. Rep. AERE-R9138 (1978)
Gurovich B et al. in Magnetic Nanostructures (Springer Ser. in Materials Science, Vol. 94, Eds B Aktas, L Tagirov, F Mikailov) (Berlin: Springer, 2007) p. 47
Гурович Б А и др. Нано- и микросистемная техника (4) 2 (2007)
Гурович Б А и др. Прикладная физика (1) 44 (2008)