Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/ 000267067000003 2-s2.0-68249138511 2009PhyU...52..165G Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов AU Гурович, Б. А. AU Приходько, К. Е. PB Успехи физических наук PY 2009 JO Успехи физических наук JF Успехи физических наук JA Усп. физ. наук VL 179 IS 2 SP 179-195 UR https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0179.200902d.0179 English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atoms” Phys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179