Issues

 / 

1979

 / 

May

  

Meetings and conferences


X-ray lithography in synchrotron radiation beams

Fulltext pdf (260 KB)
Fulltext is also available at DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
URL: https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
Citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N "X-ray lithography in synchrotron radiation beams" Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Оригинал: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н «Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения» УФН 128 180–181 (1979); DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180

Cited by (1) ↓ Similar articles (20)

  1. Asadchikov V E, Bedin S A et al J. Surf. Investig. 15 S7 (2021)

© 1918–2024 Uspekhi Fizicheskikh Nauk
Email: ufn@ufn.ru Editorial office contacts About the journal Terms and conditions