X-ray lithography in synchrotron radiation beams

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
URL: https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
Citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N "X-ray lithography in synchrotron radiation beams" Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

RT Journal
T1 X-ray lithography in synchrotron radiation beams
A1 Aleksandrov,Yu.M.
A1 Krivospitskii,A.D.
A1 Yakimenko,M.N.
PB Physics-Uspekhi
PY 1979
FD 10 May, 1979
JF Physics-Uspekhi
JO Phys. Usp.
VO 22
IS 5
SP 383-384
DO 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
LK https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/

Оригинал: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н «Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения» УФН 128 180–181 (1979); DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180