X-ray lithography in synchrotron radiation beams

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
URL: https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
Citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N "X-ray lithography in synchrotron radiation beams" Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979)

BibTex

BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

%0 Journal Article
%T X-ray lithography in synchrotron radiation beams
%A Yu. M. Aleksandrov
%A A. D. Krivospitskii
%A M. N. Yakimenko
%I Physics-Uspekhi
%D 1979
%J Phys. Usp.
%V 22
%N 5
%P 383-384
%U https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
%U https://doi.org/10.1070/PU1979v022n05ABEH005503

Оригинал: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н «Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения» УФН 128 180–181 (1979); DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180