X-ray lithography in synchrotron radiation beams

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
URL: https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
Citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N "X-ray lithography in synchrotron radiation beams" Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

PT Journal Article
TI X-ray lithography in synchrotron radiation beams
AU Aleksandrov Yu M
FAU Aleksandrov YM
AU Krivospitskii A D
FAU Krivospitskii AD
AU Yakimenko M N
FAU Yakimenko MN
DP 10 May, 1979
TA Phys. Usp.
VI 22
IP 5
PG 383-384
RX 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
URL https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
SO Phys. Usp. 1979 May 10;22(5):383-384

Оригинал: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н «Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения» УФН 128 180–181 (1979); DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180