X-ray lithography in synchrotron radiation beams

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503
URL: https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
Citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N "X-ray lithography in synchrotron radiation beams" Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

TY JOUR
TI X-ray lithography in synchrotron radiation beams
AU Aleksandrov, Yu. M.
AU Krivospitskii, A. D.
AU Yakimenko, M. N.
PB Physics-Uspekhi
PY 1979
JO Physics-Uspekhi
JF Physics-Uspekhi
JA Phys. Usp.
VL 22
IS 5
SP 383-384
UR https://ufn.ru/en/articles/1979/5/h/
ER https://doi.org/10.1070/PU1979v022n05ABEH005503

Оригинал: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н «Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения» УФН 128 180–181 (1979); DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180