RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 12, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

←  →

Конференции и симпозиумы


Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

, , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.

Текст pdf (1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка
PACS: 07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
000537855600007
2-s2.0-85084758667
2020PhyU...63...83P
Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН 190 92–106 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 18 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Svechnikov M V, Chkhalo N I “Beryllium-based multilayer X-ray optics” Phys. Usp. 63 83–95 (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623

Список литературы (107) Статьи, ссылающиеся на эту (50) Похожие статьи (20) ↓

  1. Н.И. Чхало, И.В. Малышев и др. «Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения» УФН 190 74–91 (2020)
  2. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 323–334 (2019)
  3. В.Н. Ораевский, И.И. Собельман и др. «Комплексные исследования Солнца со спутника КОРОНАС-Ф. Новые результаты» УФН 172 949–959 (2002)
  4. В.Е. Курочкин «Методы и приборы иммунного экспресс-анализа. Новый подход к решению проблемы» УФН 176 994–999 (2006)
  5. И.Ю. Еремчев, М.Ю. Еремчев, А.В. Наумов «Многофункциональный люминесцентный наноскоп дальнего поля для исследования одиночных молекул и квантовых точек (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 312–322 (2019)
  6. Е.А. Хазанов «Термооптика магнитоактивной среды: изоляторы Фарадея для лазеров с высокой средней мощностью» УФН 186 975–1000 (2016)
  7. С.П. Вятчанин «Параметрическая колебательная неустойчивость в лазерных гравитационных антеннах» УФН 182 324–327 (2012)
  8. Е.Г. Максимов, И. Божович и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук «Комнатная сверхпроводимость» (4 октября 2007 г.)» УФН 178 175–179 (2008)
  9. И. Божович «Эксперименты с атомарно гладкими тонкими пленками сверхпроводящих купратов: сильное электрон-фононное взаимодействие и другие сюрпризы» УФН 178 179–190 (2008)
  10. В.П. Лукин «Атмосферная адаптивная оптика» УФН 173 887–893 (2003)
  11. С.А. Богачёв, А.С. Ульянов и др. «Микровспышки и нановспышки в короне Солнца» УФН 190 838–858 (2020)
  12. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин, Н.Н. Салащенко «Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии» УФН 177 777 (2007)
  13. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» УФН 177 777–780 (2007)
  14. В.Б. Брагинский, В.С. Ильченко, М.Л. Городецкий «Оптические микрорезонаторы с модами типа шепчущей галереи» УФН 160 (1) 157–159 (1990)
  15. В.И. Панов «Сканирующая туннельная микроскопия и спектроскопия поверхности» УФН 155 155–158 (1988)
  16. А.А. Чернов «Элементарные процессы роста кристаллов из растворов» УФН 153 678–681 (1987)
  17. В.М. Агранович «Современные проблемы спектроскопии поверхности» УФН 143 489–492 (1984)
  18. Ю.В. Стенькин «Проект LHAASO: первые результаты и перспективы» УФН 192 1048–1053 (2022)
  19. А.М. Быков, Р.А. Сурис «Гамма-кванты и нейтрино из космоса: что видим сейчас и что нужно, чтобы увидеть больше (Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 21 апреля 2023 г.)» УФН 194 369–370 (2024)
  20. О.И. Кораблёв «Спектроскопия Марса с космических аппаратов: новые методы, новые результаты» УФН 183 762–769 (2013)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение