Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

  

Конференции и симпозиумы


Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

, , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка
PACS: 07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН 190 92–106 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 18 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Svechnikov M V, Chkhalo N I “Beryllium-based multilayer X-ray opticsPhys. Usp. 63 (1) (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623

Список литературы (107) Похожие статьи (19) ↓

  1. Н.И. Чхало, И.В. Малышев и др. «Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения» 190 74–91 (2020)
  2. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» 189 323–334 (2019)
  3. В.Е. Курочкин «Методы и приборы иммунного экспресс-анализа. Новый подход к решению проблемы» 176 994–999 (2006)
  4. И.Ю. Еремчев, М.Ю. Еремчев, А.В. Наумов «Многофункциональный люминесцентный наноскоп дальнего поля для исследования одиночных молекул и квантовых точек (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» 189 312–322 (2019)
  5. Е.А. Хазанов «Термооптика магнитоактивной среды: изоляторы Фарадея для лазеров с высокой средней мощностью» 186 975–1000 (2016)
  6. С.П. Вятчанин «Параметрическая колебательная неустойчивость в лазерных гравитационных антеннах» 182 324–327 (2012)
  7. Е.Г. Максимов, И. Божович и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук «Комнатная сверхпроводимость» (4 октября 2007 г.)» 178 175–179 (2008)
  8. И. Божович «Эксперименты с атомарно гладкими тонкими пленками сверхпроводящих купратов: сильное электрон-фононное взаимодействие и другие сюрпризы» 178 179–190 (2008)
  9. В.П. Лукин «Атмосферная адаптивная оптика» 173 887–893 (2003)
  10. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин, Н.Н. Салащенко «Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии» 177 777 (2007)
  11. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» 177 777–780 (2007)
  12. В.Б. Брагинский, В.С. Ильченко, М.Л. Городецкий «Оптические микрорезонаторы с модами типа шепчущей галереи» 160 (1) 157–159 (1990)
  13. В.И. Панов «Сканирующая туннельная микроскопия и спектроскопия поверхности» 155 155–158 (1988)
  14. А.А. Чернов «Элементарные процессы роста кристаллов из растворов» 153 678–681 (1987)
  15. В.М. Агранович «Современные проблемы спектроскопии поверхности» 143 489–492 (1984)
  16. О.И. Кораблёв «Спектроскопия Марса с космических аппаратов: новые методы, новые результаты» 183 762–769 (2013)
  17. Ю.Г. Куденко «Нейтринный эксперимент T2K: первые результаты» 181 997–1004 (2011)
  18. Н.А. Арманд, Ю.В. Гуляев и др. «Результаты исследований солнечного ветра и ионосфер планет радиофизическими методами» 180 542–548 (2010)
  19. Д.Е. Преснов, В.А. Крупенин, С.В. Лотхов «Одноэлектронные структуры на основе сверхмалых туннельных переходов Al/AlOx/Al: технология изготовления, экспериментальные результаты» 166 906–907 (1996)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение