Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

  

Конференции и симпозиумы


Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

, , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка
PACS: 07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН 190 92–106 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 18 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Svechnikov M V, Chkhalo N I “Beryllium-based multilayer X-ray opticsPhys. Usp. 63 83–95 (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623

Список литературы (107) ↓ Похожие статьи (19)

  1. Schuster M, Gobel H J. Phys. D 28 A270 (1995)
  2. Underwood J H, Barbee T W (Jr.) Nature 294 429 (1981)
  3. Störmer M et al J. Synchrotron Rad. 25 116 (2018)
  4. Störmer M et al Rev. Sci. Instrum. 87 051804 (2016)
  5. Bilderback D H et al J. Synchrotron Rad. 7 53 (2000)
  6. Takacs P Z Synchrotron Radiat. News 2 24 (1989)
  7. Chkhalo N I et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 359 121 (1995)
  8. Zhang L et al J. Phys. Conf. Ser. 425 052029 (2013)
  9. Windt D L, Bellotti J A Appl. Opt. 48 4932 (2009)
  10. Jonnard P et al Proc. SPIE 7360 73600O (2009)
  11. Windt D L et al Proc. SPIE 5168 1 (2004)
  12. Li H et al Proc. SPIE 7995 79951E (2010)
  13. Bogachev S A et al Appl. Opt. 55 2126 (2016)
  14. Wu W-J et al Chinese Phys. Lett. 28 086801 (2011)
  15. Бейгман И Л, Пирожков А С, Рагозин Е Н Письма в ЖЭТФ 74 167 (2001); Beigman I L, Pirozhkov A S, Ragozin E N JETP Lett. 74 149 (2001)
  16. Kuhlmann T et al Proc. SPIE 4782 196 (2002)
  17. Вишняков Е А и др Квантовая электроника 42 143 (2012); Vishnyakov E A et al Quantum Electron. 42 143 (2012)
  18. Okajima T et al Appl. Opt. 41 5417 (2002)
  19. Shestov S V et al Proc. SPIE 9144 91443G (2019)
  20. Yamashita K et al Appl. Opt. 37 8067 (1998)
  21. Hecquet C et al Appl. Phys. A 95 401 (2009)
  22. Барышева М М и др Квантовая электроника 49 380 (2019); Barysheva M M et al Quantum Electron. 49 380 (2019)
  23. Wonisch A et al Appl. Opt. 45 4147 (2006)
  24. Пирожков А С, Рагозин Е Н УФН 185 1203 (2015); Pirozhkov A S, Ragozin E N Phys. Usp. 58 1095 (2015)
  25. Гарахин С А и др Квантовая электроника 47 378 (2017); Garakhin S A et al Quantum Electron. 47 378 (2017)
  26. Kortright J B, Underwood J H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 291 272 (1990)
  27. Andreev S S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 543 340 (2005)
  28. Кузин С В и др Изв. РАН. Сер. физ. 75 91 (2011)
  29. Montcalm C et al Proc. SPIE 3331 42 (1998)
  30. Sae-Lao B, Montcalm C Opt. Lett. 26 468 (2001)
  31. Tsarfati T et al Thin Solid Films 518 1365 (2009)
  32. Andreev S S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 603 80 (2009)
  33. Platonov Y et al Proc. SPIE 8076 80760N (2011)
  34. Panessa-Warren B J X-Ray Microscopy. Proc. of the Intern. Symp., Gottingen, Fed. Rep. of Germany, September 14 - 16, 1983 (Eds G Schmahl, D Rudolph) (Berlin: Springer-Verlag, 1984) p. 268
  35. Kirz J, Jacobsen C, Howells M Q. Rev. Biophys. 28 33 (1995)
  36. Барышева М М и др УФН 182 727 (2012); Barysheva M M et al Phys. Usp. 55 681 (2012)
  37. Виноградов А В и др Письма в ЖТФ 13 129 (1987)
  38. Renner O et al Rev. Sci. Instrum. 63 1478 (1992)
  39. Takahashi J et al Rev. Sci. Instrum. 60 2024 (1989)
  40. Skulina K M et al Appl. Opt. 34 3727 (1995)
  41. Mirkarimi P B et al Appl. Opt. 39 1617 (2000)
  42. Singh M, Braat J J M Appl. Opt. 39 2189 (2000)
  43. Bajt S J. Vac. Sci. Technol. A 18 557 (2000)
  44. Soufli R et al Proc. SPIE 3767 251 (1999)
  45. Ахсахалян А Д и др Поверхность (1) 5 (2017)
  46. Салащенко Н Н, Чхало Н И Вестник РАН 78 450 (2008); Salashchenko N N, Chkhalo N I Herald Russ. Acad. Sci. 78 279 (2008)
  47. Churilov S S et al Phys. Scr. 80 045303 (2009)
  48. Wagner C, Harned N Nature Photon. 4 24 (2010)
  49. Otsuka T et al Appl. Phys. Lett. 97 231503 (2010)
  50. Tsarfati T et al Altern. Lithogr. Technol. 7271 72713V (2009)
  51. Chkhalo N I et al Appl. Phys. Lett. 102 011602 (2013)
  52. Chkhalo N I, Salashchenko N N AIP Adv. 3 082130 (2013)
  53. Braun S et al Jpn. J. Appl. Phys. 41 4074 (2002)
  54. Bajt et al S Opt. Eng. 41 1797 (2002)
  55. Nyabero S L et al J. Appl. Phys. 112 054317 (2012)
  56. Yamamoto M et al J. Jpn. Soc. Precis. Eng. 52 1843 (1986)
  57. Corso A J et al Opt. Express 19 13963 (2011)
  58. Nii H et al J. Synchrotron Rad. 5 702 (1998)
  59. Hu M-H et al Opt. Express 18 20019 (2010)
  60. Зуев С Ю и др Изв. РАН. Сер. физ. 74 58 (2010); Zuev S Yu et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 74 50 (2010)
  61. Полковников В Н и др Письма в ЖТФ 45 (2) 26 (2019); Polkovnikov V N et al Tech. Phys. Lett. 45 85 (2019)
  62. Fernández-Perea M et al Opt. Express 20 24018 (2012)
  63. Zuppella P et al Proc. SPIE 8076 807608 (2011)
  64. Aquila A et al Opt. Express 17 22102 (2009)
  65. Galtayries A et al Surf. Interface Anal. 42 653 (2010)
  66. Henke B L, Gullikson E M, Davis J C At. Data Nucl. Data Tables 54 181 (1993)
  67. Bibishkin M S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 543 333 (2005)
  68. Andreev S S et al J. Synchrotron Rad. 10 358 (2003)
  69. Chkhalo N I, Salashchenko N N, Zorina M V Rev. Sci. Instrum. 86 016102 (2015)
  70. Барышева М М и др Изв. РАН. Сер. физ. 75 71 (2011)
  71. Асадчиков В Е и др Приборы и техника эксперимента (3) 99 (2005)
  72. Svechnikov M et al J. Appl. Cryst. 50 1428 (2017)
  73. Волков Ю О и др Кристаллография 58 146 (2013); Volkov Yu O et al Crystallogr. Rep. 58 160 (2013)
  74. Lee P Appl. Opt. 22 1241 (1983)
  75. Виноградов А В, Кожевников И В Труды ФИАН 196 62 (1989)
  76. Névot L, Croce P Rev. Phys. Appl. 15 761 (1980)
  77. Stearns D G J. Appl. Phys. 65 491 (1989)
  78. Kozhevnikov I V Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 498 482 (2003)
  79. Holý V, Baumbach T Phys. Rev. B 49 10668 (1994)
  80. Andreev S et al Open Phys. 1 191 (2003)
  81. Bibishkin M S et al Proc. SPIE 5401 8 (2004)
  82. Гарахин С А и др Квантовая электроника 47 385 (2017); Garakhin S A et al Quantum Electron. 47 385 (2017)
  83. Schäfers F et al J. Synchrotron Rad. 23 67 (2016)
  84. Sokolov A et al Rev. Sci. Instrum. 87 052005 (2016)
  85. Langford R M, Petford-Long A K J. Vac. Sci. Technol. A 19 2186 (2001)
  86. Чхало Н И и др Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXII Международного симпозиума, 12 - 15 марта 2018 г., Нижний Новгород (Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2018) с. 494
  87. Svechnikov M V et al Opt. Express 26 33718 (2018)
  88. Дроздов М Н и др Письма в ЖТФ 38 (24) 75 (2012)
  89. Ber B et al Thin Solid Films 540 96 (2013)
  90. Tolstoguzov A B J. Anal. Chem. 65 1370 (2010)
  91. Drozdov M N et al Thin Solid Films 577 11 (2015)
  92. Drozdov M N et al Thin Solid Films 661 65 (2018)
  93. Nechay A N et al AIP Adv. 8 075202 (2018)
  94. Дроздов М Н и др Поверхность (5) 50 (2010)
  95. Stamm U et al Proc. SPIE 5037 119 (2003)
  96. Rakowski R et al Appl. Phys. B 101 773 (2010)
  97. Banine V Y et al J. Phys. D 44 253001 (2011)
  98. Pirati A et al Proc. SPIE 10143 101430G (2017)
  99. Yakshin A E et al Proc. SPIE 6517 65170I (2007)
  100. Chkhalo N I et al Thin Solid Films 631 106 (2017)
  101. Chkhalo N I et al Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures Workshop, Univ. Twente, The Netherlands, 2016; Chkhalo N I et al https://www.utwente.nl/mesaplus/xuv/workshops/archive/pxrnm-work-shop-2016/program/chkhalo-structural-and-reflective-characteris-tics-of-mo-be-multilayer-with-barrier-layers.pdf
  102. Chkhalo N I et al Opt. Lett. 42 5070 (2017)
  103. Зуев С Ю и др Поверхность (3) 5 (2019)
  104. Chkhalo N I et al J. Nanosci. Nanotechnol. 19 546 (2019)
  105. Polkovnikov V N et al Opt. Lett. 44 263 (2019)
  106. Meltchakov E et al Proc. SPIE 8168 816819 (2011)
  107. Ахсахалян А А и др Поверхность (1) 14 (2019)

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение