Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.

Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка PACS: 07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все) DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/ 000537855600007 2-s2.0-85084758667 2020PhyU...63...83P Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН 190 92–106 (2020) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия AU Полковников, В. Н. AU Салащенко, Н. Н. AU Свечников, М. В. AU Чхало, Н. И. PB Успехи физических наук PY 2020 JO Успехи физических наук JF Успехи физических наук JA Усп. физ. наук VL 190 IS 1 SP 92-106 UR https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623 Поступила: 18 июля 2019, одобрена в печать: 22 мая 2019 English citation: Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Svechnikov M V, Chkhalo N I “Beryllium-based multilayer X-ray optics” Phys. Usp. 63 83–95 (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623