Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

  

Конференции и симпозиумы


Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

, , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка
PACS: 07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН 190 92–106 (2020)
BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
TY JOUR
TI Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия
AU Полковников, В. Н.
AU Салащенко, Н. Н.
AU Свечников, М. В.
AU Чхало, Н. И.
PB Успехи физических наук
PY 2020
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 190
IS 1
SP 92-106
UR https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623

Поступила: 18 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Svechnikov M V, Chkhalo N I “Beryllium-based multilayer X-ray opticsPhys. Usp. 63 (1) (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение