RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 12, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

←  →

Конференции и симпозиумы


Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

, , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.

Текст pdf (1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка
PACS: 07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
000537855600007
2-s2.0-85084758667
2020PhyU...63...83P
Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН 190 92–106 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 18 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Svechnikov M V, Chkhalo N I “Beryllium-based multilayer X-ray optics” Phys. Usp. 63 83–95 (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623

Список литературы (107) Статьи, ссылающиеся на эту (50) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Sakhonenkov S S, Bugaev A V et al Surfaces and Interfaces 55 105467 (2024)
  2. Filatova E O, Karataev A V et al Applied Surface Science 672 160839 (2024)
  3. Akhasakhalyan A A, Garakhin S A et al Tech. Phys. 69 468 (2024)
  4. Garakhin S A, Zabrodin I G et al Tech. Phys. 69 870 (2024)
  5. Filatova E O, Sakhonenkov S S et al Applied Surface Science 644 158791 (2024)
  6. Chumak V S, Peredkov S et al J. Micromech. Microeng. 34 045008 (2024)
  7. Kuzin S V, Bogachev S A et al Tech. Phys. 69 595 (2024)
  8. Smertin R, Chkhalo N et al Opt. Lett. 49 3690 (2024)
  9. Shaposhnikov R A, Zuev S Yu et al Tech. Phys. 69 713 (2024)
  10. Chkhalo N I, Polkovnikov V N et al Tech. Phys. 69 818 (2024)
  11. Соломонов А В, Сахоненков С С, Филатова Е О Kristallografiâ 69 84 (2024)
  12. Solomonov A V, Sakhonenkov S S, Filatova E O Crystallogr. Rep. 69 58 (2024)
  13. Gaisin A U, Filatova E O Phys. Chem. Chem. Phys. 26 780 (2024)
  14. Polkovnikov V N, Chkhalo N I et al Opt. Lett. 49 4577 (2024)
  15. Garakhin S A, Lopatin A Yu et al Tech. Phys. 69 1568 (2024)
  16. Kumar N, Nezhdanov A V et al Indian J Phys 97 4205 (2023)
  17. Smertin R M, Barysheva M M et al J. Surf. Investig. 17 1350 (2023)
  18. Kuzin S, Bogachev S et al Appl. Opt. 62 8462 (2023)
  19. Kumar N, Panda K et al Surfaces and Interfaces 42 103414 (2023)
  20. Kozakov A T, Kumar N et al Bull Mater Sci 46 (1) (2023)
  21. Kumar N, Pleshkov R S et al Phys. Chem. Chem. Phys. 25 1205 (2023)
  22. Antysheva G D, Kumar N et al J. Surf. Investig. 17 1319 (2023)
  23. Chkhalo N I, Salashchenko N N J. Surf. Investig. 17 307 (2023)
  24. Antysheva G D, Kumar N et al Poverhnostʹ. Rentgenovskie, sinhrotronnye i nejtronnye issledovaniâ (12) 3 (2023)
  25. Filatova E O, Sakhonenkov S S et al Applied Surface Science 611 155743 (2023)
  26. Smertin R M, Barysheva M M et al Poverhnostʹ. Rentgenovskie, sinhrotronnye i nejtronnye issledovaniâ (12) 39 (2023)
  27. Kumar N, Nezhdanov A V et al J. Phys. D: Appl. Phys. 55 175302 (2022)
  28. Sakhonenkov S S, Filatova E SSRN Journal (2022)
  29. Kumar N, Nezhdanov A V et al Phys. Chem. Chem. Phys. 24 15951 (2022)
  30. Kalmykov S G, Butorin P S et al J. Phys. D: Appl. Phys. 55 105203 (2022)
  31. Kumar N, Pleshkov R S et al Surfaces and Interfaces 28 101656 (2022)
  32. Kumar N, Antisheva G D et al J. Phys. D: Appl. Phys. 55 245301 (2022)
  33. Chkhalo N I, Garakhin S A et al J Appl Crystallogr 55 1455 (2022)
  34. Sakhonenkov S S, Filatova E O Applied Surface Science 606 154961 (2022)
  35. Smertin R M, Chkhalo N I et al Opt. Express 30 46749 (2022)
  36. Sakhonenkov S S, Filatova E O Applied Surface Science 571 151265 (2022)
  37. Gaisin A U, Karataev A V et al Phys. Chem. Chem. Phys. 23 23978 (2021)
  38. Kozakov A T, Kumar N et al Applied Surface Science 566 150616 (2021)
  39. Polkovnikov V N, Shaposhnikov R A et al Bull. Lebedev Phys. Inst. 48 406 (2021)
  40. Kumar N, Kozakov A T et al Thin Solid Films 717 138449 (2021)
  41. Polkonikov V, Chkhalo N et al Applied Sciences 11 6385 (2021)
  42. Kumar N, Nezhdanov A V et al Surfaces and Interfaces 25 101270 (2021)
  43. Kumar N, Pleshkov R S et al J. Phys. Chem. C 125 2729 (2021)
  44. Kumar N, Pleshkov R S et al Phys. Chem. Chem. Phys. 23 23303 (2021)
  45. Kumar N, Kozakov A T et al Phys. Chem. Chem. Phys. 23 15076 (2021)
  46. Vodop’yanov A V, Garakhin S A et al Quantum Electron. 51 700 (2021)
  47. Kumar N, Nezhdanov A V et al Intermetallics 125 106872 (2020)
  48. Kuzin S V, Reva A A et al Tech. Phys. 65 1736 (2020)
  49. Pleshkov R S, Zuev S Yu et al Tech. Phys. 65 1786 (2020)
  50. Smertin R M, Polkovnikov V N et al Tech. Phys. 65 1800 (2020)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение