Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

  

Конференции и симпозиумы


Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения

, , , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10—200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2—10 нм). Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, оптика дифракционного качества, интерферометрия, асферическая поверхность, ионное травление, шероховатость, рентгеновская микроскопия, астрономия, литография
PACS: 06.30.−k
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038601
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/
Цитата: Чхало Н И, Малышев И В, Пестов А Е, Полковников В Н, Салащенко Н Н, Торопов М Н "Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения" УФН 190 74–91 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 4 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Chkhalo N I, Malyshev I V, Pestov A E, Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Toropov M N “Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applicationsPhys. Usp. 63 (1) (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038601

Список литературы (162) Похожие статьи (15) ↓

  1. В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко и др. «Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия» 190 92–106 (2020)
  2. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин, Н.Н. Салащенко «Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии» 177 777 (2007)
  3. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» 177 777–780 (2007)
  4. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» 189 323–334 (2019)
  5. «Рентгеновская оптика: как и что увидим (Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 22 мая 2019 г.)» 190 73–73 (2020)
  6. О.С. Сажина, М.В. Сажин и др. «Поиск космических струн методами оптической астрономии и радиоастрономии» 181 1109–1114 (2011)
  7. Ю.Е. Лозовик, А.М. Попов «Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок» 177 786–799 (2007)
  8. В.Л. Инденбом, Ф.Н. Чуховский «Рентгеновская оптика» 104 331–332 (1971)
  9. М.Р. Гильфанов «Рентгеновские двойные и звездообразование» 183 752–761 (2013)
  10. О.И. Кораблёв «Спектроскопия Марса с космических аппаратов: новые методы, новые результаты» 183 762–769 (2013)
  11. А.М. Черепащук «Оптические исследования рентгеновских двойных систем» 181 1097–1104 (2011)
  12. В.И. Балыкин «Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур» 177 780–786 (2007)
  13. И.А. Буфетов, Е.М. Дианов «Оптический разряд в волоконных световодах» 175 100 (2005)
  14. И.А. Буфетов, Е.М. Дианов «Объединенная научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук и Объединенного физического общества Российской Федерации (29 сентября 2004 г.)» 175 100–103 (2005)
  15. Г.С. Жданов, М.Н. Либенсон, Г.А. Марциновский «Оптика внутри дифракционного предела: принципы, результаты, проблемы» 168 801–804 (1998)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение