RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2020

 / 

январь

←  →

Конференции и симпозиумы


Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения

, , , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10—200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2—10 нм). Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.

Текст pdf (1,8 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038601
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, оптика дифракционного качества, интерферометрия, асферическая поверхность, ионное травление, шероховатость, рентгеновская микроскопия, астрономия, литография
PACS: 06.30.−k
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038601
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/
000537855600006
2-s2.0-85085103717
2020PhyU...63...67C
Цитата: Чхало Н И, Малышев И В, Пестов А Е, Полковников В Н, Салащенко Н Н, Торопов М Н "Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения" УФН 190 74–91 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 4 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Chkhalo N I, Malyshev I V, Pestov A E, Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Toropov M N “Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applications” Phys. Usp. 63 67–82 (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038601

Список литературы (162) Статьи, ссылающиеся на эту (26) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко и др. «Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия» УФН 190 92–106 (2020)
  2. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 323–334 (2019)
  3. С.А. Богачёв, А.С. Ульянов и др. «Микровспышки и нановспышки в короне Солнца» УФН 190 838–858 (2020)
  4. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин, Н.Н. Салащенко «Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии» УФН 177 777 (2007)
  5. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» УФН 177 777–780 (2007)
  6. А.Л. Лысенко, Д.Д. Фредерикс и др. «Рентгеновское и гамма-излучение солнечных вспышек» УФН 190 878–894 (2020)
  7. В.В. Левин, А.В. Кривченко и др. «Детекторы и интегральные схемы орбитальных телескопов» УФН 194 404–415 (2024)
  8. С.А. Асеев, Е.А. Рябов «Исследование структурной динамики веществ методами сверхбыстрой электронной дифракции и микроскопии (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 306–311 (2019)
  9. В.С. Эдельман «Развитие сканирующей туннельной микроскопии» УФН 161 (3) 168–171 (1991)
  10. «Рентгеновская оптика: как и что увидим (Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 22 мая 2019 г.)» УФН 190 73–73 (2020)
  11. В.В. Власюк, И.В. Афанасьева и др. «Крупноформатные системы регистрации изображений на базе твердотельных детекторов в оптической астрономии» УФН 194 432–445 (2024)
  12. Г.А. Вишнякова, А.А. Головизин и др. «Ультрахолодные лантаноиды: от оптических часов до квантовых симуляторов» УФН 186 176–182 (2016)
  13. А.М. Черепащук «Оптические исследования рентгеновских двойных систем» УФН 181 1097–1104 (2011)
  14. О.С. Сажина, М.В. Сажин и др. «Поиск космических струн методами оптической астрономии и радиоастрономии» УФН 181 1109–1114 (2011)
  15. В.И. Балыкин «Атомная оптика и нанотехнология» УФН 179 297–305 (2009)
  16. А.Н. Рябцев, С.С. Чурилов «Спектроскопия ионизованных атомов для астрофизики и нанотехнологии» УФН 179 305–309 (2009)
  17. А.Г. Забродский «Физика, микро- и нанотехнологии портативных топливных элементов» УФН 176 444–449 (2006)
  18. А.А. Бухараев «Исследование с помощью сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии поверхностей, модифицированных ионными и лазерными пучками» УФН 166 210–213 (1996)
  19. Е.А. Екимов, М.В. Кондрин «Нетрадиционный синтез нано- и микрокристаллических алмазов при высоких статических давлениях» УФН 189 208–216 (2019)
  20. Н.И. Шакура, Д.А. Колесников и др. «Аккреционные процессы в астрофизике» УФН 189 1202–1212 (2019)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение