Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

  

Конференции и симпозиумы


Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения

, , , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10—200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2—10 нм). Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, оптика дифракционного качества, интерферометрия, асферическая поверхность, ионное травление, шероховатость, рентгеновская микроскопия, астрономия, литография
PACS: 06.30.−k
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038601
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/
Цитата: Чхало Н И, Малышев И В, Пестов А Е, Полковников В Н, Салащенко Н Н, Торопов М Н "Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения" УФН 190 74–91 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 4 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Chkhalo N I, Malyshev I V, Pestov A E, Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Toropov M N “Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applicationsPhys. Usp. 63 67–82 (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038601

Список литературы (162) Статьи, ссылающиеся на эту (2) Похожие статьи (16) ↓

  1. В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко и др. «Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия» 190 92–106 (2020)
  2. С.А. Богачёв, А.С. Ульянов и др. «Микровспышки и нановспышки в короне Солнца» 190 838–858 (2020)
  3. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин, Н.Н. Салащенко «Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии» 177 777 (2007)
  4. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» 177 777–780 (2007)
  5. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» 189 323–334 (2019)
  6. «Рентгеновская оптика: как и что увидим (Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 22 мая 2019 г.)» 190 73–73 (2020)
  7. О.С. Сажина, М.В. Сажин и др. «Поиск космических струн методами оптической астрономии и радиоастрономии» 181 1109–1114 (2011)
  8. Ю.Е. Лозовик, А.М. Попов «Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок» 177 786–799 (2007)
  9. В.Л. Инденбом, Ф.Н. Чуховский «Рентгеновская оптика» 104 331–332 (1971)
  10. М.Р. Гильфанов «Рентгеновские двойные и звездообразование» 183 752–761 (2013)
  11. О.И. Кораблёв «Спектроскопия Марса с космических аппаратов: новые методы, новые результаты» 183 762–769 (2013)
  12. А.М. Черепащук «Оптические исследования рентгеновских двойных систем» 181 1097–1104 (2011)
  13. В.И. Балыкин «Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур» 177 780–786 (2007)
  14. И.А. Буфетов, Е.М. Дианов «Оптический разряд в волоконных световодах» 175 100 (2005)
  15. И.А. Буфетов, Е.М. Дианов «Объединенная научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук и Объединенного физического общества Российской Федерации (29 сентября 2004 г.)» 175 100–103 (2005)
  16. Г.С. Жданов, М.Н. Либенсон, Г.А. Марциновский «Оптика внутри дифракционного предела: принципы, результаты, проблемы» 168 801–804 (1998)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение