Выпуски

 / 

2007

 / 

Июль

  

Конференции и симпозиумы


Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур


Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация

31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 01.10.Fv, 81.07.−b, 81.16.−c, 81.16.Ta (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200707i.0780
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/i/
Цитата: Балыкин В И "Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур" УФН 177 780–786 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Balykin V I “Parallel fabrication of nanostructures via atom projectionPhys. Usp. 50 744–749 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006322

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение