Выпуски

 / 

2020

 / 

Январь

  

Конференции и симпозиумы


Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения

, , , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10—200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2—10 нм). Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, оптика дифракционного качества, интерферометрия, асферическая поверхность, ионное травление, шероховатость, рентгеновская микроскопия, астрономия, литография
PACS: 06.30.−k
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038601
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/
Цитата: Чхало Н И, Малышев И В, Пестов А Е, Полковников В Н, Салащенко Н Н, Торопов М Н "Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения" УФН 190 74–91 (2020)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
@article{Chkhalo:2020,
	author = {Н. И. Чхало and И. В. Малышев and А. Е. Пестов and В. Н. Полковников and Н. Н. Салащенко and М. Н. Торопов},
	title = {Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {2020},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {190},
	number = {1},
	pages = {74-91},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/},
	doi = {10.3367/UFNr.2019.05.038601}
}

Поступила: 4 июля 2019, 22 мая 2019

English citation: Chkhalo N I, Malyshev I V, Pestov A E, Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Toropov M N “Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applicationsPhys. Usp. 63 (1) (2020); DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038601

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение