RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2017

 / 

Сентябрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Горячие электроны в оксиде кремния

 а, б, в
а Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
б Новосибирский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
в Новосибирский государственный технический университет, просп. Карла Маркса 20, Новосибирск, 630092, Российская Федерация

Аморфный оксид кремния SiO2 является ключевым диэлектриком в технологии и конструкции кремниевых приборов. Оксид кремния используется, в частности, в качестве туннельного диэлектрика в приборах флэш-памяти. Пробивное поле SiO2 превышает 107 В/см. В сильных электрических полях в SiO2 разыгрываются явления, которые не наблюдаются в кристаллических полупроводниках. В относительно слабых электрических полях (104 — 106 В/см) функция распределения электронов определяется рассеянием электронов на продольных оптических фононах. В полях >106 В/cм функция распределения определяется рассеянием электронов на акустических фононах.

Текст pdf (355 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2016.12.038008
Ключевые слова: оксид кремния, горячие электроны, рассеяние, оптические фононы
PACS: 72.20.Ht, 72.20.Jv, 72.80.Sk, 73.40.Sx (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2016.12.038008
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2017/9/c/
000417704200003
2-s2.0-85040973769
2017PhyU...60..902G
Цитата: Гриценко В А "Горячие электроны в оксиде кремния" УФН 187 971–979 (2017)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 2 сентября 2016, доработана: 7 декабря 2016, 8 декабря 2016

English citation: Gritsenko V A “Hot electrons in silicon oxide” Phys. Usp. 60 902–910 (2017); DOI: 10.3367/UFNe.2016.12.038008

Список литературы (44) Статьи, ссылающиеся на эту (9) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.А. Гриценко «Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид» УФН 179 921–930 (2009)
  2. Т.В. Перевалов, В.А. Гриценко «Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью» УФН 180 587–603 (2010)
  3. В.А. Гриценко «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» УФН 178 727–737 (2008)
  4. Ф.Ф. Комаров «Нано- и микроструктурирование твёрдых тел быстрыми тяжёлыми ионами» УФН 187 465–504 (2017)
  5. А.М. Злобин, П.С. Зырянов «Горячие электроны полупроводников в квантующем магнитном поле» УФН 104 353–377 (1971)
  6. Б.П. Захарченя, Д.Н. Мирлин и др. «Спектр и поляризация фотолюминесценции горячих электронов в полупроводниках» УФН 136 459–499 (1982)
  7. Б.Х. Байрамов, В.А. Войтенко, И.П. Ипатова «Рассеяние света флуктуациями электронной плотности в многодолинных полупроводниках и металлах» УФН 163 (5) 67–114 (1993)
  8. А.Ф. Волков, Ш.М. Коган «Физические явления в полупроводниках с отрицательной дифференциальной проводимостью» УФН 96 633–672 (1968)
  9. Б.П. Антонюк, В.Б. Антонюк «Самоорганизация возбуждений в германосиликатных волоконных световодах и ее роль в генерации второй гармоники» УФН 171 61–78 (2001)
  10. И.В. Кукушкин, С.В. Мешков, В.Б. Тимофеев «Плотность состояний двумерных электронов в поперечном магнитном поле» УФН 155 219–264 (1988)
  11. С.П. Андреев «Спектры и кинетика систем с магнитопримесными состояниями при конечном радиусе потенциала» УФН 143 213–238 (1984)
  12. Г.М. Гуро «Характеристические времена электронных процессов в полупроводниках» УФН 72 711–740 (1960)
  13. В.С. Вавилов «Излучательная рекомбинация в полупроводниках» УФН 68 247–260 (1959)
  14. А.А. Балакин, Г.М. Фрайман «Э­лектрон-ионные столкновения в сильных электромагнитных полях» УФН 187 1289–1328 (2017)
  15. Ф.Г. Басс, Ю.Г. Гуревич «Нелинейная теория распространения электромагнитных волн в плазме твердого тела и газового разряда» УФН 103 447–468 (1971)
  16. Е.Л. Столярова «Полупроводниковые детекторы ядерных излучений» УФН 81 641–668 (1963)
  17. Ю.Е. Перлин «Современные методы теории многофононных процессов» УФН 80 553–595 (1963)
  18. Е.Ю. Кокориш, Н.Н. Шефталь «Дислокации в полупроводниковых кристаллах» УФН 72 479–494 (1960)
  19. М.В. Фок «Электролюминесценция» УФН 72 467–478 (1960)
  20. В.И. Карась, В.И. Соколенко «Неравновесная кинетика электрон-фононной подсистемы кристалла при действии переменных электрических и магнитных полей как основа электро- и магнитопластического эффектов» УФН 188 1155–1177 (2018)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение