Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

PACS: 73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ 000267730600002 2-s2.0-68249146273 2009PhyU...52..225V Цитата: Воробьева А И "Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления" УФН 179 243–253 (2009) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes A1 Vorob’eva,A.I. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2009 FD 10 Mar, 2009 JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JO Usp. Fiz. Nauk VO 179 IS 3 SP 243-253 DO 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 LK https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ English citation: Vorob’eva A I “Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes” Phys. Usp. 52 225–234 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243